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1
입사빔이 조사된 샘플에서 출력되는 제1 검출 신호를 수신하고, 상기 제1 검출 신호를 분배하여 반사 신호 및 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 분배기; 및상기 반사 신호 및 상기 제2 검출 신호를 수신하고, 상기 수신된 반사 신호에 응답하여 상기 제2 검출 신호로부터 라만 신호를 추출하도록 구성된 신호 처리기를 포함하는 분광 장치
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2
제 1 항에 있어서,상기 제1 검출 신호는 상기 반사 신호, 상기 라만 신호, 및 잡음 신호를 포함하고,상기 반사 신호는 상기 라만 신호 및 상기 잡음 신호보다 먼저 상기 분배기에 도달하는 분광 장치
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3
제 1 항에 있어서,상기 신호 처리기는 상기 라만 신호의 수명 시간 정보를 포함하고, 상기 수신된 반사 신호를 기반으로 결정된 타이밍부터 상기 수명 시간 동안 상기 제2 검출 신호로부터 상기 라만 신호를 추출하도록 더 구성된 분광 장치
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4
제 1 항에 있어서,상기 입사빔의 조사를 제어하는 제어 신호를 출력하도록 구성된 제어기; 및상기 제어 신호를 수신하고, 상기 수신된 제어 신호에 응답하여 펄스 레이저 빔을 포함하는 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 펄스 레이저를 더 포함하는 분광 장치
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5
제 1 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기;연속파 레이저 빔을 출력하도록 구성된 연속파 레이저; 및상기 연속파 레이저 빔 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 연속파 레이저 빔을 상기 직교 코드로 변조한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 변조기 더 포함하되,상기 신호 처리기는 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 수신된 반사 신호에 응답하여 상기 제2 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조하여 상기 라만 신호를 추출하도록 더 구성된 분광 장치
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6
제 1 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기;상기 직교 코드를 수신하고, 상기 수신된 직교 코드를 기반으로 제어 신호를 출력하도록 구성된 제어기;상기 제어 신호를 수신하고, 상기 제어 신호에 응답하여 고주파 펄스 레이저 빔을 포함하는 시분해 빔을 출력하도록 구성된 광원; 및상기 시분해 빔을 수신하고, 상기 시분해 빔을 증폭한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 파워 증폭기를 더 포함하되,상기 신호 처리기는 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 수신된 반사 신호에 응답하여 상기 제2 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조하여 상기 라만 신호를 추출하도록 더 구성된 분광 장치
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| 7 |
7
입사빔을 샘플에 조사하고, 트리거 빔을 출력하도록 구성된 다채널 레이저 조사 장치;상기 트리거 빔을 수신하고, 지연된 트리거 빔을 출력하도록 구성된 지연기; 및상기 입사빔이 조사된 상기 샘플에서 출력되는 제1 검출 신호 및 상기 지연된 트리거 빔을 수신하고, 상기 지연된 트리거 빔에 응답하여 상기 제1 검출 신호로부터 라만 신호를 추출하도록 구성된 검출기를 포함하는 분광 장치
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8
제 7 항에 있어서,상기 지연기는 상기 라만 신호가 상기 검출기에 도달하는데 소요되는 시간만큼 상기 트리거 빔을 지연시킨 상기 지연된 트리거 빔을 출력하도록 더 구성된 분광 장치
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9
제 7 항에 있어서,상기 검출기는:상기 제1 검출 신호를 수신하고, 상기 제1 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터; 및상기 제2 검출 신호 및 상기 지연된 트리거 빔을 수신하고, 상기 지연된 트리거 빔에 응답하여 상기 제2 검출 신호로부터 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 신호 처리기를 포함하는 분광 장치
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10
제 7 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기를 더 포함하되,상기 다채널 레이저 조사 장치는: 제1 주파수를 갖는 연속파 레이저 빔 및 상기 제1 주파수와 다른 제2 주파수를 갖는 트리거 빔을 출력하도록 구성된 다채널 연속파 레이저; 및상기 연속파 레이저 빔 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 연속파 레이저 빔을 상기 직교 코드로 변조한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 변조기를 포함하고,상기 검출기는:상기 제1 검출 신호를 수신하고, 상기 제1 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터;상기 제2 검출 신호 및 상기 지연된 트리거 빔을 수신하고, 상기 지연된 트리거 빔을 기반으로 복조 타이밍을 결정하는 트리거 신호를 출력하고, 상기 제2 검출 신호를 기반으로 복조 가능한 전기적인 신호로 변환된 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 수신 제어기; 및상기 변환된 제2 검출 신호, 상기 트리거 신호, 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 트리거 신호에 응답하여 상기 변환된 제2 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조함으로써 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 복조기를 포함하는 분광 장치
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11
제 7 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기를 더 포함하되,상기 다채널 레이저 조사 장치는: 제1 펄스 폭 및 제1 주파수 정보를 포함하는 제1 제어 신호를 출력하고, 상기 제1 펄스 폭 및 제1 주파수와 다른 제2 펄스 폭 및 제2 주파수 정보를 포함하는 제2 제어 신호를 출력하도록 구성된 다채널 제어기;상기 제1 및 제2 제어 신호를 수신하고, 상기 제1 제어 신호를 기반으로 상기 제1 펄스 폭 및 제1 주파수를 갖는 펄스 레이저 빔을 포함하는 시분해 빔을 출력하고, 상기 제2 제어 신호를 기반으로 상기 제2 펄스 폭 및 제2 주파수를 갖는 펄스 레이저 빔을 포함하는 상기 트리거 빔을 출력하도록 구성된 광원; 및상기 시분해 빔을 수신하고, 상기 시분해 빔을 증폭한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 파워 증폭기를 포함하고,상기 검출기는:상기 제1 검출 신호를 수신하고, 상기 제1 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터;상기 제2 검출 신호 및 상기 지연된 트리거 빔을 수신하고, 상기 지연된 트리거 빔을 기반으로 복조 타이밍을 결정하는 트리거 신호를 출력하고, 상기 제2 검출 신호를 기반으로 복조 가능한 전기적인 신호로 변환된 제2 검출 신호를 출력하도록 구성된 수신 제어기; 및상기 변환된 제2 검출 신호, 상기 트리거 신호, 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 트리거 신호에 응답하여 상기 변환된 제2 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조함으로써 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 복조기를 포함하는 분광 장치
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12
일련의 오버헤드 시작 비트들 및 일련의 오버헤드 종료 비트들을 포함하는 오버헤드 신호를 출력하도록 구성된 오버헤드 신호 생성기;검출 코드를 포함하고, 상기 오버헤드 신호를 수신하고, 상기 검출 코드 및 상기 오버헤드 신호를 기반으로 상기 오버헤드 시작 비트들에 대응하는 제1 오버헤드 시작 구간, 상기 오버헤드 종료 비트들에 대응하는 제1 오버헤드 종료 구간, 및 상기 검출 코드에 대응하는 조사 구간을 순차적으로 포함하는 입사빔을 샘플에 조사하도록 구성된 레이저 조사 장치; 및상기 입사빔이 조사된 상기 샘플로부터 상기 오버헤드 시작 비트들에 대응하는 제2 오버헤드 시작 구간, 상기 오버헤드 종료 비트들에 대응하는 제2 오버헤드 종료 구간, 및 상기 검출 코드에 대응하는 검출 구간을 순차적으로 포함하는 제3 검출 신호를 수신하고, 상기 제2 오버헤드 시작 구간 및 상기 제2 오버헤드 종료 구간에서 수신된 상기 제3 검출 신호를 기반으로 상기 제3 검출 신호를 처리할 타이밍을 결정하고, 상기 결정된 타이밍에 상기 제3 검출 신호로부터 라만 신호를 추출하도록 구성된 검출기를 포함하는 분광 장치
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13
제 12 항에 있어서,상기 검출기는 상기 제2 오버헤드 시작 구간의 상기 제3 검출 신호를 수신한 시간을 제2 오버헤드 시작 시간으로 결정하고, 상기 제2 오버헤드 종료 구간의 상기 제3 검출 신호를 수신한 시간을 제2 오버헤드 종료 시간으로 결정하며, 상기 제2 오버헤드 종료 시간으로부터 상기 제2 오버헤드 종료 시간 및 상기 제2 오버헤드 시작 시간의 차이만큼 더 경과한 시간을 상기 제3 검출 신호를 처리할 상기 타이밍으로 결정하도록 더 구성된 분광 장치
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14
제 12 항에 있어서,상기 검출기는:상기 제3 검출 신호를 수신하고, 상기 제3 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제4 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터; 및 상기 제4 검출 신호를 수신하고, 상기 결정된 타이밍에 상기 제4 검출 신호로부터 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 신호 처리기를 포함하는 분광 장치
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제 14 항에 있어서,상기 레이저 조사 장치는:상기 검출 코드를 포함하고, 상기 오버헤드 신호를 수신하며, 상기 검출 코드 및 상기 오버헤드 신호를 기반으로 상기 입사빔의 조사를 제어하는 제어 신호를 출력하도록 구성된 제어기; 및상기 제어 신호를 수신하고, 상기 수신된 제어 신호에 응답하여 펄스 레이저 빔을 포함하는 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 펄스 레이저를 포함하는 분광 장치
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제 12 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기를 더 포함하되,상기 레이저 조사 장치는: 연속파 레이저 빔을 출력하도록 구성된 연속파 레이저; 및상기 연속파 레이저 빔, 상기 직교 코드, 및 상기 오버헤드 신호를 수신하고, 상기 직교 코드를 기반으로 상기 검출 코드의 값을 결정하며, 상기 검출 코드 및 상기 오버헤드 신호를 기반으로 상기 연속파 레이저 빔을 변조한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 변조기를 포함하고,상기 검출기는:상기 제3 검출 신호를 수신하고, 상기 제3 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제4 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터;상기 제4 검출 신호를 수신하고, 상기 제2 오버헤드 시작 구간 및 상기 제2 오버헤드 종료 구간의 상기 제4 검출 신호를 기반으로 복조 타이밍을 결정하는 트리거 신호를 출력하고, 상기 제4 검출 신호를 기반으로 복조 가능한 전기적인 신호로 변환된 제4 검출 신호를 출력하도록 구성된 수신 제어기; 및상기 변환된 제4 검출 신호, 상기 트리거 신호, 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 트리거 신호에 응답하여 상기 변환된 제4 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조함으로써 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 복조기를 포함하는 분광 장치
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17
제 12 항에 있어서,직교 코드를 생성하도록 구성된 직교 코드 생성기를 더 포함하되,상기 레이저 조사 장치는: 상기 직교 코드 및 상기 오버헤드 신호를 수신하고, 상기 직교 코드를 기반으로 상기 검출 코드의 값을 결정하며, 상기 검출 코드 및 상기 오버헤드 신호를 기반으로 제어 신호를 출력하도록 구성된 제어기;상기 제어 신호를 수신하고, 상기 제어 신호에 응답하여 고주파 펄스 레이저 빔을 포함하는 시분해 빔을 출력하도록 구성된 광원; 및상기 시분해 빔을 수신하고, 상기 시분해 빔을 증폭한 상기 입사빔을 상기 샘플에 조사하도록 구성된 파워 증폭기를 포함하고,상기 검출기는:상기 제3 검출 신호를 수신하고, 상기 제3 검출 신호에서 반사 신호를 차단한 제4 검출 신호를 출력하도록 구성된 필터;상기 제4 검출 신호를 수신하고, 상기 제2 오버헤드 시작 구간 및 상기 제2 오버헤드 종료 구간의 상기 제4 검출 신호를 기반으로 복조 타이밍을 결정하는 트리거 신호를 출력하고, 상기 제4 검출 신호를 기반으로 복조 가능한 전기적인 신호로 변환된 제4 검출 신호를 출력하도록 구성된 수신 제어기; 및상기 변환된 제4 검출 신호, 상기 트리거 신호, 및 상기 직교 코드를 수신하고, 상기 트리거 신호에 응답하여 상기 변환된 제4 검출 신호를 상기 직교 코드로 복조함으로써 상기 라만 신호를 추출하도록 구성된 복조기를 포함하는 분광 장치
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