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광원;밀폐된 내부 공간에, 상기 광원에 의해 광 소결되는 대상체가 마련되는 스테이지를 제공하는 챔버 바디; 및상기 챔버 바디의 일 측에 마련되며, 불활성 가스 및 활성 가스 중 선택되는 어느 하나의 가스 분위기 형성을 위해, 가스 제공부와 연결되는 가스 유입구;를 포함하는 광 소결 장치
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제1 항에 있어서, 상기 챔버 바디는, 상기 밀폐된 챔버 바디 내부 공간을 진공 분위기로 조성하기 위해 진공 펌프와 연결되는 펌프 흡입구를 더 포함하는, 광 소결 장치
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제1 항에 있어서, 상기 챔버 바디는, 상기 가스 분위기에서 가스 배출을 위한 가스 배출구를 더 포함하는, 광 소결 장치
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제1 항에 있어서, 상기 광원은, 상기 챔버 바디 내부 또는 챔버 바디 외부에 마련되는 것을 포함하는, 광 소결 장치
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광 소결되는 대상체를 챔버 바디 내부의 스테이지에 위치시키는 단계;상기 대상체가 마련된 챔버 바디를 밀폐시키고, 상기 챔버 바디의 내부 공간을 불활성 가스 및 활성 가스 중 선택되는 어느 하나의 가스 분위기로 형성하는 단계; 및광원으로부터 상기 대상체를 향하여 광을 조사하여, 상기 대상체를 광 소결시키는 단계;를 포함하는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제5 항에 있어서,상기 스테이지에 위치시키는 단계에서 상기 대상체는, 일종 이상의 금속으로 이루어지고,상기 가스 분위기로 형성하는 단계에서 상기 가스 분위기는, 산소 분위기이며,상기 광 소결시키는 단계에서 상기 대상체는, 금속 산화물로 소결되는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제6 항에 있어서, 상기 금속 산화물은, 상기 대상체 보다 많은 O1-를 포함하는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제6 항에 있어서, 상기 대상체는, 일종 이상의 희토류를 더 포함하는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제6 항에 있어서, 상기 산소 분위기의 산소 분압은, 1x10-2 torr 이상 및 1x102 torr 이하인, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제6 항에 있어서, 상기 광 소결시키는 단계에서 광 소결 에너지는, 1 J/Cm2 이상 및 500 J/Cm2 이하인, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제5 항에 있어서,상기 가스 분위기로 형성하는 단계에 앞서,상기 챔버 바디의 내부 공간을 진공 분위기로 조성하는 단계를 더 포함하는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제11 항에 있어서,상기 스테이지에 위치시키는 단계에서 상기 대상체는, 이종 이상의 금속으로 이루어지고,상기 가스 분위기로 형성하는 단계에서 상기 가스 분위기는, 불활성 가스 분위기이며,상기 광 소결시키는 단계에서 상기 대상체는, 합금으로 소결되는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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제11 항에 있어서,상기 스테이지에 위치시키는 단계에서 상기 대상체는, 이종 이상의 세라믹 베이스로 이루어지고,상기 가스 분위기로 형성하는 단계에서 상기 가스 분위기는, 산소 분위기이며,상기 광 소결시키는 단계에서 상기 대상체는, 세라믹으로 소결되는, 광 소결 장치를 이용한 광 소결 방법
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