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초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법, 및 이로써얻어진 Mo 스퍼터링 타겟

  • 기술번호 : KST2015140946
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법, 및 이로써 얻어진 Mo 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 원료 분말로 나노 크기의 Mo 분말을 이용하여 스퍼터링 타겟을 제조시, 고온에서 단시간 및 저온에서 장시간에 걸친 2단 소결 공정을 수행하는 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법, 및 이로써 얻어진 Mo 스퍼터링 타겟에 관한 것이다. 상기 방법은 나노 분말 소결 시 발생하는 급격한 입자 성장을 억제하여 500 nm 이하의 초미세 결정립을 가지는 스퍼터링 타겟의 제조를 가능케 한다. 스퍼터링 타겟, 초미세 결정립, 2단 소결
Int. CL C23C 14/34 (2006.01.01) B22F 3/00 (2006.01.01) C23C 14/14 (2006.01.01) C23C 14/02 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) H01L 21/203 (2006.01.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020070120255 (2007.11.23)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0936016-0000 (2009.12.31)
공개번호/일자 10-2009-0053410 (2009.05.27) 문서열기
공고번호/일자 (20100111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영도 대한민국 서울 송파구
2 김길수 대한민국 서울 성동구
3 김세훈 대한민국 서울 은평구
4 김해곤 대한민국 서울 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수영 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, *층(역삼동, 대아빌딩)(특허법인 신우)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김영도 서울특별시 송파구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0844448-47
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0049493-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0418953-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0659612-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0659611-78
8 등록결정서
Decision to grant
2009.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0534111-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
ⅰ) 입자 크기가 20∼200nm인 Mo 나노 분말을 성형하여 성형체를 제조하고, ⅱ) 상기 성형체를 5∼15 ℃/min의 승온 속도로 1000∼1100 ℃까지 1차 소결하고, ⅲ) 1차 소결된 소결체를 900∼950 ℃ 에서 2차 소결하는 단계를 거쳐 제조되는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
3 3
삭제
4 4
제2항에 있어서, 상기 Mo 나노 분말은 MoO3 원료 분말을 볼과 볼밀장치에 주입한 후 아르곤 분위기 하에 볼밀링한 후 환원하는 단계를 거쳐 제조되는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 볼밀링은 볼과 MoO3 원료 분말을 14:1∼:18:1의 장입비 (중량비)로 혼입하여 수행하는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
6 6
제4항에 있어서, 상기 볼밀링은 100∼500 rpm의 속도로 1∼24 시간 동안 수행하는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
7 7
제4항에 있어서, 상기 환원은 볼밀 공정 후 얻어진 분말을 수소분위기에서 700∼900℃ 온도까지 승온시킨 후, 유지시간 없이 그대로 냉각하는 공정을 수행하는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
8 8
제2항에 있어서, 상기 성형체의 제조는 200∼300 MPa의 압력 하에 등방 일축 성형하여 수행하는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
9 9
제2항에 있어서, 상기 2차 소결은 3∼20시간 동안 수행하는 것인 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟의 제조방법
10 10
제2항의 방법에 의해 제조되는 초미세 결정립 Mo 스퍼터링 타겟
11 11
삭제
12 12
제10항에 있어서, 상기 Mo 스퍼터링 타겟은 밀도가 84∼95%, 비커스 경도가 2
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국학술진흥재단 한국학술진흥재단 2006년도 기초연구과제(기초과학분야) 금속 및 준안정 산화물 복합분말을 이용한 미세결정립소결체의 제조