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샘플에 대해 전처리를 수행하는 (a)단계;챔버 내에 수용된 상기 샘플의 표면에 타이타늄(Ti) 및 질화타이타늄(TiN) 코팅막으로 중간층을 형성하는 (b)단계; 및상기 중간층 상에 DLC(Diamond-like Carbon) 코팅막으로 최종층을 형성하는 (c)단계;를 포함하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제1항에 있어서,상기 (a)단계는,상기 샘플을 세척용액에 세척하는 (a-1)단계; 및상기 샘플을 챔버에 장입하고, 이온소스를 이용하여 플라즈마 에칭을 수행하는 (a-2)단계;를 포함하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제1항에 있어서,상기 (b)단계는,스퍼터링 방식을 통해 수행되며, 스퍼터 타겟에 500~700V의 전압을 가하여 5~8x10-3torr에서 증착을 수행하여 상기 중간층을 형성하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제3항에 있어서,상기 (b)단계는,200~300℃의 온도 분위기에서 30분~1시간 동안 수행되는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제1항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 챔버 내에 처리가스를 주입하고, 플라즈마 밀도를 증가시켜 상기 최종층을 형성하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제5항에 있어서,상기 처리가스는 아세틸렌 가스, 메탄 가스 및 벤젠 가스 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제6항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 처리가스를 400~800sccm의 유량으로 공급하는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제7항에 있어서,상기 (c)단계는,200~400℃의 온도 분위기에서 수행되는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제1항에 있어서,상기 (c)단계는,선형이온원을 이용하여 상기 최종층의 증착을 보조하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제9항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 선형이온원을 1000~1500V의 전압 및 1
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제10항에 있어서,상기 (c)단계는,바이어스 전압(Bias Voltage)을 -500V~-700V로 설정하여 상기 최종층을 증착하는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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제11항에 있어서,상기 (c)단계는,바이어스 전압(Bias Voltage)을 -700V로 설정하여 상기 최종층을 증착하는 것으로 하는 신체삽입용 의료기기의 코팅막 증착방법
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