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에지 패턴, 슬랜티드 에지 패턴 및 라인 패턴 중 어느 하나로 이루어지는 직각 좌표 형태의 영상을 형성시켜 주는 검사 차트;상기 검사 차트로 광을 출사하는 광원;상기 광원에 의해 렌즈 모듈이 투영한 상기 검사 차트의 영상을 촬영하여, 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하기 위한 검사 영상을 생성하는 촬상부; 및상기 검사 영상 상의 특정 위치에서 변조 전달 함수를 측정하여 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는 검사부를 포함하는 렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 에지 패턴 및 슬랜티드 에지 패턴은복수의 검사 셀을 정의하는 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴이 수직 및 수평 방향으로 교대로 배치되어 격자 무늬 형태로 이루어지는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 2 항에 있어서,상기 슬랜티드 에지 패턴은상기 에지 패턴이 일정 각도로 기울어진 형태로 이루어지는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 2 항에 있어서,상기 라인 패턴은흑색 바탕에 복수의 백색 라인이 수직 및 수평 방향으로 교차 배치되어 그물 무늬 형태로 이루어지며, 그 교차 영역 마다 복수의 검사 셀이 정의되는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 2 항에 있어서,상기 검사부는상기 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴의 경계에서 변조 전달 함수를 측정하여 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 4 항에 있어서,상기 검사부는상기 흑색 바탕 및 상기 복수의 백색 라인의 경계에서 변조 전달 함수를 측정하여 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 검사부는상기 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴의 경계 또는 상기 흑색 바탕 및 상기 복수의 백색 라인의 경계에서 스텝 응답을 구하고, 상기 스텝 응답을 미분하여 임펄스 응답을 구하고, 상기 임펄스 응답을 푸리에 변환하여 상기 변조 전달 함수를 측정하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 렌즈 모듈 및 촬상부 사이에 배치되며, 상기 렌즈 모듈이 투영한 영상을 확대하여 1차 결상면에 결상하는 제1 렌즈부 및 상기 1차 결상면에 결상된 영상을 축소하여 2차 결상면에 결상하는 제2 렌즈부를 포함하는 광학계를 더 포함하는 렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 검사 차트는광 투과율이 중심부 보다 주변부가 더 높은렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원은상기 검사 차트에 대응하는 크기로 이루어지며, 출사하는 광량이 중심부 보다 주변부가 더 많은렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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11
제 1 항에 있어서,상기 광원 및 검사 차트 사이에 배치되며, 광 투과율이 중심부 보다 주변부가 더 높은 필터를 더 포함하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 검사부는 상기 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴의 경계 또는 상기 흑색 바탕 및 상기 복수의 백색 라인의 경계의 위치를 측정하여 상기 렌즈 모듈의 배율을 보정하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 4 항에 있어서,상기 렌즈 모듈은 복수의 검사점이 설정되고,상기 검사부는상기 복수의 검사점이 상기 복수의 검사 셀의 중심과 일치된 상태에서 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 13 항에 있어서,상기 검사부는상기 검사점과 이웃하는 상기 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴의 경계에서 변조 전달 함수를 측정하거나, 상기 검사점과 이웃하는 흑색 바탕 및 상기 복수의 백색 라인의 경계에서 변조 전달 함수를 측정하여 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 14 항에 있어서,상기 복수의 검사점 중 중심 검사점이 상기 검사 셀의 중심과 일치되도록 상기 렌즈 모듈을 이동하는 이동부를 더 포함하는 렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 15 항에 있어서,상기 검사부는상기 중심 검사점 이외의 나머지 검사점의 중심 좌표 값을 상기 검사 영상 상에서 이동하여 상기 검사 셀의 중심과 각각 일치시키는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 16 항에 있어서,상기 검사 차트는상기 복수의 검사 셀의 중심에 중심 마크가 표시되는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 17 항에 있어서,상기 이동부는상기 중심 마크를 인식하여 상기 렌즈 모듈을 이동하고,상기 검사부는상기 중심 마크를 인식하여 상기 검사점의 중심 좌표 값을 조정하는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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렌즈 모듈로 투영되어 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하기 위한 검사 차트로서,에지 패턴, 슬랜티드 에지 패턴 및 라인 패턴 중 어느 하나로 이루어지는 직각 좌표 형태의 영상이 형성되며,상기 에지 패턴 및 슬랜티드 에지 패턴은, 복수의 검사 셀을 정의하는 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴이 수직 및 수평 방향으로 교대로 배치되어 격자 무늬 형태로 이루어지고,상기 슬랜티드 에지 패턴은, 상기 에지 패턴에 대해 일정 각도로 기울어진 형태로 이루어지고,상기 라인 패턴은, 흑색 바탕에 복수의 백색 라인이 수직 및 수평 방향으로 교차 배치되어 그물 무늬 형태로 이루어지며, 그 교차 영역 마다 복수의 검사 셀이 정의되는 렌즈 모듈의 해상력 검사 차트
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제 19 항에 있어서,상기 검사 차트는상기 복수의 검사 셀의 중심에 중심 마크가 표시되는렌즈 모듈의 해상력 검사 장치
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제 20 항에 있어서,상기 복수의 흑색 패턴 및 백색 패턴의 경계 또는 상기 흑색 바탕 및 상기 복수의 백색 라인의 경계에서 변조 전달 함수를 측정하여, 상기 렌즈 모듈의 해상력을 검사하는렌즈 모듈의 해상력 검사 차트
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제 20 항에 있어서,상기 검사 차트는광 투과율이 중심부 보다 주변부가 더 높은렌즈 모듈의 해상력 검사 차트
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