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(a) 유전체 전구체 및 무기물 입자를 포함하는 혼합물 1을 공자전 혼합기, 초음파 분산기, 고속 교반기 및 나노 밀(nano mill)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상으로 혼합하여 혼합물 2를 제조하는 단계;(b) 상기 혼합물 2를 롤 밀(roll mill)로 혼합하여 혼합물 3을 제조하는 단계; 및(c) 상기 혼합물 3을 기재에 코팅하고, 상기 유전체 전구체를 경화시켜 유전체와 상기 유전체에 분산된 상기 무기물 입자를 포함하는 복합 유전체층을 제조하는 단계;를 포함하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,단계 (a)의 상기 혼합이 공자전 혼합기로 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 롤 밀(roll mill)이 3롤 밀을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 롤 밀(roll mill)의 하나의 롤과 인접한 다른 하나의 롤 사이의 갭(gap)이 0
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제4항에 있어서,상기 롤이 지르코니아(ZrO2), 스테인리스 스틸, 알루미나(Al2O3), 크롬 플레이트(Chrome plate), 실리콘 카바이드(SiC) 및 실리콘 나이트라이드(Si3N4)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 공자전 혼합기가 상기 유전체 전구체와 상기 무기물 입자를 공전방향과 자전방향으로 동시에 회전시켜 상기 무기물 입자를 상기 유전체 전구체에 분산시키는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 자전방향의 속도가 0 내지 2200 RPM 이고, 상기 공전방향의 속도가 0 내지 2000 RPM 인 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유전체 전구체가 실리콘 전구체를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 실리콘 전구체가 폴리디메틸실록산(PDMS) 올리고머를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 혼합물 1이 경화제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 유전체 전구체가 에코플렉스(Ecoflex) 및 실가드(Sylgard)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 무기물 입자가 바륨타이타나이트 (BaTiO3), 타이타늄옥사이드(TiO2), 실리콘옥사이드 (SiO2), 알루미늄옥사이드 (Al2O3), 티탄산 지르콘산 연(PZT, leat zirconate titanate) 및 스트론튬 타이타나이트(SrTiO3)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복합 유전체층은 100 중량부의 상기 혼합물 1을 기준으로 상기 무기물 입자 1 내지 50중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 무기물 입자의 크기가 1 nm 내지 200 nm인 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복합 유전체층의 유전상수가 2
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제1항에 있어서,상기 복합 유전체층의 두께가 10 내지 300μm인 것을 특징으로 하는 복합 유전체층의 제조방법
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(a) 유연기판을 준비하는 단계;(b) 상기 유연기판 상에 제1 전극 및 제2 전극을 포함하는 전극을 패터닝하여 전극이 패터닝된 유연기판을 제조하는 단계; 및(c) 상기 전극이 패터닝된 유연기판 상에 혼합물을 코팅하고 경화시켜 복합 유전체층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 혼합물은 유전체 전구체 및 무기물 입자를 포함하는 것인, 전기접착식 그리퍼의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 단계 (a) 이후에, 상기 유연기판의 표면을 플라즈마 처리하면서 플라즈마로 표면처리된 유연기판을 제조하는 단계(a')를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전기접착식 그리퍼의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 유연기판이 폴리디메틸실록산(PDMS), 천연고무, 스티렌-부타디엔 고무(SBR), 스티렌-이소프렌-스티렌(SIS), 폴리우레탄(polyurethane), 스티렌-부타디엔-스티렌(SBS), 스티렌-에틸렌부틸렌-스티렌(SEBS), 폴리에틸아크릴레이트, 폴리부틸아크릴레이트, 폴리헥실아크릴레이트, Ecoflex, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리락틱그리코릭에시드(PLGA) 및 폴리스타이렌(PS)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기접착식 그리퍼의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 패터닝이 실크 스크린 인쇄, 잉크젯 프린팅, 3D 프린팅, 마이크로 컨택 패터닝, 포토리소그래피 및 소프트리소그래피로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 방법으로 패터닝되는 것을 특징으로 하는 전기접착식 그리퍼의 제조방법
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