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마이크로 엘립소미터

  • 기술번호 : KST2021010011
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 엘립소메트리에 관한 것이다. 상기 마이크로 엘립소메트리는, 광원; 상기 광원을 편광시키는 편광생성기; 상기 편광생성기를 거친 상기 광원을 분할하는 광분할기; 상기 광분할기를 거친 빔을 샘플에 조사되도록 하는 대물렌즈; 상기 대물렌즈를 거쳐 샘플로부터 반사된 빔의 초점을 후초점면으로 맞추는 렌즈부; 상기 후초점면을 통과한 빔의 편광을 해석하는 편광해석기; 상기 편광해석기의 후단에 배치되어 상기 후초점면의 이미지를 획득하는 디텍터; 상기 디텍터에 의해 획득된 이미지를 신호 처리하여 샘플의 물리적 정보를 추출하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 21/21 (2006.01.01) G01J 4/04 (2006.01.01) G02B 27/28 (2020.01.01)
CPC G01N 21/21(2013.01) G01J 4/04(2013.01) G02B 27/283(2013.01)
출원번호/일자 1020200030389 (2020.03.11)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2289480-0000 (2021.08.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박희재 서울특별시 서초구
2 최가람 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-0259765-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0016263-42
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0073032-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2021-0352714-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0352715-55
8 등록결정서
Decision to grant		 2021.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0592884-61
9 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2021.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2021-5205564-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원;상기 광원을 편광시키는 편광생성기;상기 편광생성기를 거친 상기 광원을 분할하는 광분할기;상기 광분할기를 거친 빔을 샘플에 조사되도록 하는 대물렌즈;상기 샘플로부터 반사된 빔이 상기 대물렌즈를 거쳐 형성하는 후초점면에 초점을 맞추는 렌즈부;상기 후초점면을 통과한 빔의 편광을 해석하는 편광해석기;상기 편광해석기의 후단에 배치되어 상기 후초점면의 이미지를 획득하는 디텍터;상기 디텍터에 의해 획득된 이미지를 신호 처리하여 샘플의 물리적 정보를 추출하는 신호처리부; 및상기 광원으로부터 복수의 단파장 빛을 필터링하도록, 상기 광원과 상기 디텍터 사이에 마련되는 다중대역필터를 포함하고, 상기 필터링된 복수의 단파장 빛은 서로 합쳐진 형태로 진행하여 상기 디텍터로 들어가며, 상기 디텍터는 상기 각 단파장 빛을 검출하도록 상기 각 단파장 빛에 대응하는 복수의 센서필터를 포함하여, 상기 각 단파장에 대한 샘플의 편광 특성 및 입사각에 대한 정보를 동시에 분석하는 것을 특징으로 하는 마이크로 엘립소메트리
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 편광생성기를 통과하고 상기 편광해석기로 들어오는 광 경로 상에 마련되는 적어도 하나의 위상지연자를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 엘립소메트리
4 4
제1항에 있어서, 상기 다중대역필터는 상기 광원을 적어도 3가지 파장의 단파장 빛으로 필터링하는 것을 특징으로 하는 마이크로 엘립소메트리
5 5
제1항에 있어서, 상기 렌즈부는, 상기 디텍터와 상기 후초점면 사이에 마련된 것을 특징으로 하는 마이크로 엘립소메트리
6 6
제1항에 있어서, 상기 편광생성기 및 상기 광분할기는 상기 광원의 편광 및 분할을 함께 수행하는 편광빔스플리터에 통합된 것을 특징으로 하는 마이크로 엘립소메트리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.