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광원에서 출발한 빛이 시료의 특정 영역만을 조사할 있도록 공간적으로 변조되는 공간 광 변조기;상기 공간 광 변조기에서 변조된 빛의 방향을 바꾸며 상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 통과하는 제1빔스플리터;상기 제1빔스플리터에서 굴절된 빛을 시료의 특정 영역으로 집광시키는 대물렌즈;상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 상기 제1빔스플리터에서 분리되어 입사된 후 방향을 바꾸는 제2빔스플리터;상기 제2빔스플리터에서 입사된 반사광에 의해 시료의 표면 이미지를 획득하는 제1카메라;상기 대물렌즈의 후 초점면(back focal plane)의 특정 영역을 통과하는 반사광을 수광할 수 있도록 수광부가 설치된 광섬유; 및상기 광섬유에서 수광된 빛의 강도를 측정하여 전기 신호로 출력하는 분광기;를 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 상기 대물렌즈와 상기 광섬유 사이에 배치되며, 상기 대물렌즈의 후 초점면의 이미지를 미리 정해진 위치에 그대로 전송하는 제1광학계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 제1광학계에 의해 전송된 이미지를 획득하는 제2카메라; 및상기 제1광학계와 상기 제1카메라 사이에 배치되며, 상기 제1광학계에서 전송된 반사광을 상기 광섬유 및 상기 제2카메라 방향으로 분리하는 제3빔스플리터;를 더 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 광섬유의 수광부는 이송 장치에 의해 2차원적으로 위치 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 공간 광 변조기는 DMD(Digtal Mirror Device), DLP(Digital Light Processing), LC(Liquid Crystal) 어레이, LCoS(Liquid Cell on Silicon), 가변 조리개(Variable Aperature) 중 어느 하나를 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 시료에 입사되는 빛의 편광 상태를 조절하는 편광 생성단; 및상기 시료에서 반사되는 빛의 편광 상태를 분석하는 편광 해석단이 구비된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제6항에 있어서,상기 편광 생성단은 상기 광원으로부터 입사된 빛을 편광시키는 편광 생성기(Polarizer)를 포함하며,상기 편광 해석단은 상기 시료에서 반사되는 빛의 편광 상태를 분석하는 편광 해석기(Analyzer)를 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 생성단은 상기 편광 생성기를 통해 편광된 빛의 위상을 지연시키는 위상 지연자(Retarder)를 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 해석단은 상기 시료에서 반사되는 빛의 편광 위상을 지연시키는 위상 지연자(Retarder)를 포함한 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제6항에 있어서,상기 편광 생성단 및 상기 편광 해석단은 물리적으로 움직이지 않도록 고정된 상태로 배치된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 생성기는 상기 광원과 상기 대물렌즈 사이에 배치되며,상기 편광 해석기는 상기 대물렌즈와 상기 광섬유 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 생성기는 상기 공간 광 변조기에 포함되도록 구성된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 생성기는 상기 제1빔스플리터에 포함되도록 구성된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 해석기는 상기 제1빔스플리터에 포함되도록 구성된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 생성기는 상기 제2빔스플리터에 포함되도록 구성된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 편광 해석기는, 상기 제1광학계에서 전송된 반사광을 상기 광섬유 및 상기 제1광학계에 의해 전송된 이미지를 획득하는 제2카메라 방향으로 분리하는 제3빔스플리터에 포함되도록 구성된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
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