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탄소나노튜브를 이용하는 열전방식의 수소센서

  • 기술번호 : KST2021010260
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 수소센서를 제공한다. 상기 수소센서는, 기판; 상기 기판 상에 상호 이격되어 위치하는 제1 전극 및 제2 전극; 상기 기판 상에 위치하되, 상기 제1전극 및 제2전극에 연결된 탄소나노튜브 열전소자; 및 상기 탄소나노튜브 열전소자 상에 위치하거나, 상기 기판 상에 상기 탄소나노튜브 열전소자와 이격하여 위치하는 촉매금속을 포함하고, 상기 탄소나노튜브 열전소자는 상기 제 1 전극에 연결되는 N형 반도체 영역; 상기 제2 전극에 연결되는 P형 반도체 영역 및 상기 N형 반도체 영역 및 상기 P형 반도체 영역 사이에 위치하는 온도감지영역을 포함하는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실시예에 따르면, 수소 가스가 촉매 금속과 반응하여 촉매금속이 산화되면서 발생한 열을 탄소나노튜브 열전소자가 전압으로 출력하므로 수소 가스의 누출 여부를 파악할 수 있다.
Int. CL G01N 27/407 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01)
CPC G01N 27/4075(2013.01) G01N 27/4074(2013.01) G01N 27/127(2013.01) B82Y 40/00(2013.01) B82Y 30/00(2013.01)
출원번호/일자 1020200009815 (2020.01.28)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0096722 (2021.08.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.01.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정대웅 대구광역시 달성군 대
2 김재건 대구광역시 달서구
3 이준엽 대구광역시 수성구
4 안희경 대구시 달성군 화원읍 비슬로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0087569-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0095065-94
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0414302-92
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.07.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0843136-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2021-0843145-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 상호 이격되어 위치하는 제1 전극 및 제2 전극;상기 기판 상에 위치하되, 상기 제1전극 및 제2전극에 연결된 탄소나노튜브 열전소자; 및상기 탄소나노튜브 열전소자 상에 위치하거나, 상기 기판 상에 상기 탄소나노튜브 열전소자와 이격하여 위치하는 촉매금속을 포함하고,상기 탄소나노튜브 열전소자는 상기 제 1 전극에 연결되는 N형 반도체 영역; 상기 제2 전극에 연결되는 P형 반도체 영역 및 상기 N형 반도체 영역 및 상기 P형 반도체 영역 사이에 위치하는 온도감지영역을 포함하는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 수소센서
2 2
제1항에 있어서,상기 기판은 Al2O3, SiO2 또는Si를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서
3 3
제1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 탄소나노튜브 방적사 형태인 것을 특징으로 하는 수소센서
4 4
제1항에 있어서,상기 N형 반도체 영역은 상기 탄소나노튜브 일영역에 N형 도펀트로 도핑되어 형성되는 것을 특징으로 하는 수소센서
5 5
제1항에 있어서,상기 P형 반도체 영역은 상기 탄소나노튜브 타영역에 P형 도펀트로 도핑되어 형성되는 것을 특징으로 하는 수소센서
6 6
제1항에 있어서,상기 촉매 금속은 팔라듐 또는 백금을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서
7 7
제1항에 있어서,상기 촉매 금속이 상기 탄소나노튜브 열전소자 상에 위치하는 경우, 상기 촉매 금속과 상기 온도감지영역 사이에 절연층이 위치하는 것을 특징으로 하는 수소센서
8 8
제7항에 있어서,상기 절연층은 고분자물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서
9 9
제1항에 있어서,상기 촉매금속이 수소기체와 반응하여 산화되면서 열이 발생되고, 상기 발생된 열에 의해 상기 탄소나노튜브 열전소자에서 기전력이 발생하여 상기 수소기체를 감지하는 것을 특징으로 하는 수소센서
10 10
제1항의 수소센서를 포함하는 웨어러블 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국생산기술연구원 개인기초연구사업 세부사업: 기본연구 MEMS 기반의 반도체식/변색성 하이브리드 타입의 수소 센서 개발