맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법 및 이에 의한 투명전극

  • 기술번호 : KST2021011033
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시 예는 금속층이 형성된 기판 상에 나노섬유 패턴을 형성하고 이온밀링 후 나노섬유 패턴을 제거함으로써 투명전극을 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조된 투명전극을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법은, 투명한 소재로 형성되는 기판 상에 금속을 증착시켜 금속층이 형성되는 제1단계; 상기 금속층의 표면 상에 폴리머를 포함하는 전기방사용액을 전기방사하여 나노섬유의 패턴이 형성되는 제2단계; 상기 나노섬유의 패턴이 형성된 상기 금속층의 표면에 이온 빔을 조사하여 상기 금속층을 연마함으로써, 상기 나노섬유의 패턴을 따라 형성되고 상기 나노섬유의 표면 일부를 감싸는 형상으로 형성되는 표면금속층이 형성되는 제3단계; 및 상기 표면금속층과 결합된 상기 나노섬유를 제거하여, 상기 표면금속층으로 형성되는 패턴인 금속나노패턴을 형성하는 제4단계;를 포함한다.
Int. CL G02F 1/1343 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01)
CPC G02F 1/13439(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020200032563 (2020.03.17)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0116818 (2021.09.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.17)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한희 대전시 유성구
2 안치원 대전시 유성구
3 김영태 대전시 서구
4 하경렬 전라북도 익산시 선화로 **길 **
5 서다래 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0280221-56
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0056028-56
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0240243-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-0580106-07
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0580086-71
9 등록결정서
Decision to grant		 2021.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0687319-92
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명한 소재로 형성되는 기판 상에 금속을 증착시켜 금속층이 형성되는 제1단계;상기 금속층의 표면 상에 폴리머를 포함하는 전기방사용액을 전기방사하여 나노섬유의 패턴이 형성되는 제2단계;상기 나노섬유의 패턴이 형성된 상기 금속층의 표면에 이온 빔을 조사하여 상기 금속층을 연마함으로써, 상기 나노섬유의 패턴을 따라 형성되고 상기 나노섬유의 표면 일부를 감싸는 형상으로 형성되는 표면금속층이 형성되는 제3단계; 및상기 표면금속층과 결합된 상기 나노섬유를 제거하여, 상기 표면금속층으로 형성되는 패턴인 금속나노패턴을 형성하는 제4단계;를 포함하고,상기 금속층의 두께와 전기방사용액의 전기방사 시간이 조절되어, 면저항 또는 투과도가 제어되는 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 금속층은 Pd, Au, Cu, Ag, Pt, Cr, Ti, SiO2, ITO, FTO, AZO 및 ZnO으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 금속층의 두께는 5 내지 500 nm(나노미터)인 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 제2단계에서, 상기 전기방사용액은, 용매에 상기 폴리머를 2 내지 12의 중량%(wt%)로 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 제4단계에서, 반응성 이온 식각(RIE: Reactive ion Etching) 또는 습식 식각에 의해 상기 나노섬유를 제거함으로써, 상기 나노섬유의 외형에 대응하는 요입홈을 구비하는 상기 표면금속층에 의해 상기 금속나노패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 제4단계에서, 기계적 방법에 의해 상기 나노섬유를 제거함으로써, 평판형으로 형성되는 상기 표면금속층에 의해 상기 금속나노패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노섬유 기반 금속 나노패터닝에 의한 투명전극 제조방법
7 7
투명한 소재로 형성되는 기판; 및금속으로 상기 기판 상에 형성되며 소정의 패턴으로 금속나노패턴을 형성하는 표면금속층;을 포함하고,상기 기판 상에 금속이 증착되어 형성되는 금속층의 표면 상에 폴리머를 포함하는 전기방사용액이 전기방사되어 나노섬유의 패턴이 형성된 후, 상기 나노섬유가 제거됨으로써 상기 표면금속층이 형성되는 것을 특징으로 하는 투명전극
8 8
청구항 7에 있어서,상기 금속나노패턴의 면저항은, 단위 면적 당 2
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 나노종합기술원 과학기술국제화사업 → 글로벌 R 기반구축사업 → 해외우수연구기관유치사업 나노종합기술원-드렉셀-SMU FIRST 나노기술 Co-op센터
2 없음 나노종합기술원 나노종합기술원 Open Innovation Lab Project Bumpless Direct Contact 기반의 혁신형 디스플레이 검사소자 개발
3 과학기술정보통신부 나노종합기술원 원천기술개발사업 ＞나노·소재 기술개발사업 ＞ 선행공정·플랫폼기술연구개발사업 초소형 나노구조용 나노금속도금 공정 및 평가 플랫폼 개발
4 과학기술정보통신부 나노종합기술원 원천기술개발사업 ＞ 나노·소재 기술개발사업 ＞ 나노안전성기술지원센터 국가 나노안전성 기반 나노소재 표준분석을 위한 플랫폼 구축