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잉크젯 인쇄를 이용한 구리 전극 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015119263
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적으로 고성능 구리(Cu) 전극 패턴을 형성할 수 있는 저비용의 신속한 공정 기법과 상기 기법으로 만들어진 고성능 구리 전극 패턴, 그리고 상기 구리 전극 패턴을 포함하는 전자소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 구리 전극 공정 기법은 기존의 단순 잉크젯 인쇄(inkjet printing)에서 발전된 것으로, 구리 전구체(Cu precursor) 잉크(ink)와 환원제(reducing agent) 잉크를 개별적으로 같은 지점에 인쇄하여 기판상에서 화학반응을 유도함으로써 고성능 구리의 제조와 전극 패턴이 동시에 이루어지는 기술이다.
Int. CL C09D 11/00 (2006.01) B41J 2/015 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020120014588 (2012.02.14)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0093205 (2013.08.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.14)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경철 대한민국 대전 유성구
2 김국주 대한민국 대전 유성구
3 안성일 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0116217-49
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0041764-53
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0490184-84
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0844072-81
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0932428-28
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1040981-56
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-1040979-64
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0215408-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리 전구체 잉크와 환원제 잉크를 각각 기판 상에 개별적으로 동일 패턴으로 인쇄하여,상기 구리 전구체 잉크와 상기 환원제 잉크의 반응에 의해 상기 기판 상에 구리 전극 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 기판 상에 상기 구리 전구체 잉크와 상기 환원제 잉크의 인쇄를 위하여, 잉크젯 인쇄 수단의 서로 다른 두 노즐을 통해 각각의 잉크를 분사하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 기판 상에 상기 구리 전구체 잉크와 상기 환원제 잉크의 인쇄를 위하여, 스크린 인쇄 또는 스프레이 인쇄 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 기판은 유리, 반도체 웨이퍼, 유연한 플라스틱, 또는 종이인 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 구리 전구체 잉크는, 용매에 녹아 구리 이온을 생성하는 황산구리, 수산화구리, 또는 아세트산구리를 포함하는 물질을 녹여 제조된 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 구리 전구체 잉크는, 물, 에탄올, 메탄올, 아세톤, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 또는 부탄다이올 중 하나 또는 이들 2 이상의 혼합물로 이루어진 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 환원제 잉크는, 히드라진(hydrazine), 아스코르브산(ascorbic acid), 철(iron), 염산(hydrochloric acid), 또는 차아인산나트륨(sodium hypophosphite) 중 하나 또는 이들 2 이상의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 환원제 잉크는, 물, 에탄올, 메탄올, 아세톤, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 또는 부탄다이올 중 하나 또는 이들 2 이상의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 기판 상에 상기 구리 전구체 잉크와 상기 환원제 잉크의 인쇄 중 상기 기판의 온도는 50℃ 내지 200℃ 이내인 것을 특징으로 하는 구리 전극 형성 방법
10 10
구리 전구체 잉크와 환원제 잉크를 각각 기판 상에 개별적으로 동일 패턴으로 인쇄하여,상기 구리 전구체 잉크와 상기 환원제 잉크의 반응에 의해 상기 기판 상에 박막 또는 패턴 형태로 형성된 구리 전극
11 11
구리 전극을 갖는 전자소자로서, 상기 구리 전극은, 기판 상에 구리 전구체 잉크와 환원제 잉크가 각각 동일 패턴으로 인쇄되어 상호 반응을 통해 형성된 것을 특징으로 하는 전자소자
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패밀리정보가 없습니다
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