| 1 |
1
스탬프가 장착되어 고정되는 스탬프 고정부; 상기 스탬프 고정부의 하측에 이격되어 배치되며, 기판이 장착되어 고정되는 기판 고정부; 상기 기판 고정부가 장착되며, 상기 기판 고정부의 위치를 정렬시키는 기판 정렬 장치; 상기 기판 정렬 장치가 장착되며, 상기 기판 고정부 및 기판 정렬 장치를 상하방향으로 이동시키는 가압 장치; 상기 스탬프 고정부의 상측에 배치되며, 상기 스탬프 고정부에 장착된 스탬프 및 상기 기판 고정부에 장착된 기판의 위치를 측정하는 정렬 위치 측정 장치; 상기 스탬프 고정부의 상측에 배치되며, 상기 기판 고정부에 장착된 기판 상에 도포된 레지스트를 경화시키는 경화 장치; 를 포함하고, 상기 기판 고정부는, 상기 기판 정렬 장치에 결합된 베이스 블록; 상기 베이스 블록의 상측에 이격 배치되며, 기판이 고정되는 진공척; 및 상기 베이스 블록 및 진공척의 둘레 부분에 둘 이상이 배치되고, 상기 베이스 블록과 진공척을 연결하여 수평방향을 기준으로 한 진공척의 기울기가 조절되도록 안내하는 가이드 부재; 를 포함하여 이루어지며, 상기 가이드 부재는, 상기 베이스 블록과 진공척에 각각 일단부가 연결된 한 쌍의 판스프링; 및 상기 한 쌍의 판스프링의 타단부를 연결하는 연결 블록; 을 포함하여 이루어지는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 정렬 위치 측정 장치 및 경화 장치에 결합되어, 상기 정렬 위치 측정 장치 및 경화 장치 중 어느 하나를 선택적으로 상기 스탬프 고정부의 상부에 위치하도록 이동시키는 광학부 이송 스테이지를 더 포함하여 이루어지는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 스탬프 고정부, 가압 장치 및 광학부 이송 스테이지는 하나의 프레임에 결합되어, 스탬프 고정부; 기판 고정부; 기판 정렬 장치; 가압 장치; 정렬 위치 측정 장치; 경화 장치; 및 광학부 이송 스테이지가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 정렬 위치 측정 장치는, 수평방향으로 서로 이격되어 배치된 제1측정 장치 및 제2측정 장치; 상기 제1측정 장치에 결합되어 상기 제1측정 장치의 위치를 정렬시키는 제1이송 스테이지; 및 상기 제2측정 장치에 결합되어 상기 제2측정 장치의 위치를 정렬시키는 제2이송 스테이지; 를 포함하여 이루어지는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 스탬프 고정부 및 스탬프는 광 투과성 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 상기 경화 장치는 자외선을 조사하여 기판 상에 도포된 레지스트를 경화시키는 자외선 조사 장치인 것을 특징으로 하는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 스탬프 및 기판에는 각각 상기 정렬 위치 측정 장치를 이용해 식별 가능한 정렬 표식이 형성된 것을 특징으로 하는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 기판 고정부는, 상기 베이스 블록 및 진공척의 둘레 내측에 배치되며, 상기 베이스 블록과 진공척 사이에 양단이 지지된 복수의 탄성부재를 더 포함하여 이루어지는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 기판 정렬 장치는, 상기 기판 고정부의 X방향 위치를 정렬시키는 X방향 정렬부; 상기 기판 고정부의 Y방향 위치를 정렬시키는 Y방향 정렬부; 및 상기 기판 고정부의 Z축을 중심으로 회전되는 θ방향 위치를 정렬시키는 θ방향 정렬부; 를 포함하여 이루어지는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
