| 1 |
1
유기용매;상기 유기용매에 용해된 결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자; 및상기 유기용매 내에 분산된 탄소동소체;를 포함하는 하드 마스크 형성용 조성물로서,상기 조성물의 유기용매를 증발시킴으로써, 결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자 및 탄소 동소체를 포함하고, 플로린 계열의 플라즈마에 내에칭성을 갖는 하드 마스크를 형성할 수 있는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자는,폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리비닐알코올, 폴리비닐부티랄, 폴리아세탈, 폴리아릴레이트, 폴리아마이드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이미드, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르설폰, 폴리에테르케톤, 폴리프탈아마이드, 폴리에테르니트릴, 폴리에테르설폰, 폴리벤즈이미다졸, 폴리카보디이미드, 폴리실록산, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리메타크릴아마이드, 니트릴고무, 아크릴 고무, 폴리에틸렌테트라플루오라이드, 폴리부텐, 폴리펜텐, 에틸렌-프로필렌 공중합체, 에틸렌-부텐-디엔 공중합체, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체, 부틸고무, 폴리메틸펜텐, 폴리스티렌, 스티렌-부타디엔 공중합체, 수첨스티렌-부타디엔 공중합체, 수첨폴리이소프렌 및 수첨폴리부타디엔으로 구성된 군에서 선택되는 1종 이상인,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 탄소 동소체는,그래핀, 그래핀 옥사이드, 카본블랙, 탄소나노튜브 및 풀러렌 중 어느 하나인, 용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 탄소 동소체는,유기 용매에 가용성을 가지는 작용기에 의해 그래프팅된(grafting) 탄소 동소체임을 특징으로 하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 작용기는 알킬기, 페닐기, 치환기로서 알킬기를 포함하는 페닐기 또는 아로마틱 고리기를 포함하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 탄소 동소체는 일 방향으로의 길이가 500 nm 이하인 것을 특징으로 하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 유기 용매에 상기 탄소 동소체가 용이하게 분산되도록 하는 계면 활성제를 더 포함하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 형성할 수 있는 조성물
|
| 8 |
8
결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자가 유기 용매에 용해되고 상기 유기 용매 내에 탄소동소체가 분산된 용액을 준비하고,상기 용액의 용매를 증발시킴을 포함하여, 결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자 및 탄소 동소체를 포함하고, 플로린 계열의 플라즈마에 내에칭성을 갖는 하드 마스크를 형성할 수 있는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 제조하는 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 용액은 탄소동소체가 유기용매에 용이하게 분산되도록 하는 계면활성제를 더 포함하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 하드 마스크를 제조하는 방법
|
| 10 |
10
제1항에 따른 조성물의 용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크로써,상기 하드 마스크는 결정성 부분을 포함하는 결정성 고분자 및 탄소동소체를 포함하고, 플로린 계열의 플라즈마에 내에칭성을 가짐을 특징으로 하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 탄소 동소체는 그래핀, 그래핀 옥사이드, 카본블랙, 탄소나노튜브 또는 풀러렌 중 어느 하나인,용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 탄소 동소체는 이의 장축에 따라 일 방향으로 배향되어 있음을 특징으로 하는,용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,200 nm 내지 400 nm의 균일한 두께를 갖는, 용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,상기 탄소 동소체의 일 방향으로의 길이가 500 nm 이하인 것을 특징으로 하는, 용액 공정 후 용매의 증발만으로 제조된 하드 마스크
|
