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다층 박막이 코팅된 측정대상물의 형상을 측정하기 위한 장치에 있어서, 광을 출사시키는 광원을 갖는 조명광학모듈; 상기 조명광학모듈에서 출사된 광의 제1편광파를 반사시키고, 제2편광파를 투과시키는 편광빔스플리터; 상기 편광빔스플리터에 의해 반사된 제1편광파가 통과된 후, 상기 측정대상물에 반사된 반사광을 제2편광 반사파로 변환시키는 제1쿼터파장판; 상기 편광빔스플리터에 투과된 제2편광파가 통과된 후, 기준반사판에 반사된 반사광을 제1편광 반사파로 변환시키는 제2쿼터파장판; 상기 편광빔스플리터를 투과한 제2편광 반사파와, 상기 편광빔스플리터에 의해 반사된 제1편광 반사파가 통과되어 상기 제2편광 반사파와 상기 제1편광 반사파의 위상지연을 발생시켜 간섭신호를 생성하는 제3쿼터파장판; 상기 제3쿼터파장판을 통과한 후, 간섭신호가 입사되는 이미징 광학계; 상기 이미징 광학계를 통과한 간섭신호 패턴의 선택된 라인만을 투과시키는 슬릿; 상기 슬릿을 통과한 라인 간섭 신호를 분광 패턴으로 변환하는 영상분광기; 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 분광 영상을 획득, 측정하는 편광카메라; 및 상기 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 분광 영상으로부터 측정대상물의 형상을 측정, 분석하는 분석수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 편광카메라는 픽셀화된 편광판 마스크와, 2D센서 어레이로 구성되는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 2항에 있어서, 상기 픽셀화된 편광판 마스크는 전체 마스크에 대해 2x2 단위 셀의 반복된 패턴 어레이로 구성되며, 상기 2x2 단위 셀은 4개의 서로 다른 편광 축을 갖는 마이크로 편광자 패턴 어레이이고, 상기 2D 센서 어레이는 상기 마이크로 편광자 패턴 어레이 각각의 개별 편광요소에 정렬되어, 상기 편광카메라를 통해 4개의 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 분광 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 3항에 있어서, 상기 제2쿼터파장판과 상기 기준반사판 사이에 구비되는 셔터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 4항에 있어서, 상기 셔터가 개방되는 경우, 상기 편광카메라는 기준반사판과 측정대상물의 간섭신호에 대해 4개의 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 간섭신호 영상을 획득하고, 상기 분석수단은 4개의 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 간섭신호 영상을 기반으로 상기 측정대상물의 위상을 분석하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 5항에 있어서, 상기 셔터가 닫히는 경우, 상기 편광카메라는 측정대상물의 반사광에 대해 4개의 서로 다른 편광 축을 갖는 마이크로 편광자를 통해 4개의 측정대상물 반사광 이미지를 획득하고, 상기 편광카메라는 기준면의 반사광에 대해 4개의 서로 다른 편광 축을 갖는 마이크로 편광자를 통해 4개의 기준면 반사광 이미지를 획득하고,상기 분석수단은 4개의 측정대상물의 반사광 이미지와, 4개의 기준면의 반사광이미지 및 상기 기준면의 절대반사율을 기반으로 상기 측정대상물의 절대반사율을 분석하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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제 6항에 있어서, 상기 조명광학모듈과 상기 편광빔스플리터 사이에 구비되어 상기 제1편광과 상기 제2편광비율을 조절하는 선형편광기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정장치
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조명광학모듈의 광대역 광원에서 광이 출사되는 제1단계; 상기 조명광학모듈에서 출사된 제1편광파가 편광빔스플리터에 반사되고, 제2편광파가 투과되는 제2단계; 상기 편광빔스플리터에 의해 반사된 제1편광파가 제1쿼터파장판에 통과된 후, 상기 측정대상물에 반사된 반사광이 다시 상기 제1쿼터파장판을 통과하여 제2편광 반사파로 변환되는 제3단계; 상기 편광빔스플리터에 투과된 제2편광파가 제2쿼터파장판에 통과된 후, 기준반사판에 반사된 반사광이 다시 상기 제2쿼터파장판을 통과하여 제1편광 반사파로 변환되는 제4단계; 상기 편광빔스플리터를 투과한 제2편광 반사파와, 상기 편광빔스플리터에 의해 반사된 제1편광 반사파가 제3쿼터파장판을 통과하여 상기 제2편광 반사파와 상기 제1편광 반사파의 위상지연을 발생시켜 간섭신호를 생성하는 제5단계; 상기 제3쿼터파장판을 통과한 후, 간섭신호가 이미징광학계에 입사되는 제6단계; 슬릿에 의해 상기 이미징 광학계를 통과한 간섭신호 패턴의 선택된 라인만을 투과시키는 제7단계; 영상분광기를 통해 상기 슬릿을 통과한 라인 간섭 신호를 분광 패턴으로 변환하는 제8단계; 편광카메라를 통해 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 분광 영상을 획득, 측정하는 제9단계; 및분석수단을 통해 상기 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 분광 영상으로부터 측정대상물의 위상을 측정, 분석하는 제10단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정방법
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제 8항에 있어서, 상기 편광카메라는 픽셀화된 편광판 마스크와, 2D센서 어레이로 구성되고, 상기 픽셀화된 편광판 마스크는 전체 마스크에 대해 2x2 단위 셀의 반복된 패턴 어레이로 구성되며, 상기 2x2 단위 셀은 4개의 서로 다른 편광 축을 갖는 마이크로 편광자 패턴 어레이이고, 상기 2D 센서 어레이는 상기 마이크로 편광자 패턴 어레이 각각의 개별 편광요소에 정렬되어, 상기 획득, 측정하는 단계에서, 상기 편광카메라를 통해 4개의 마이크로 편광자 각각으로부터 서로 다른 위상천이 상태를 갖는 간섭신호 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정방법
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제 9항에 있어서, 상기 편광빔스플리터와 상기 기준반사판 사이에 설치된 셔터를 닫는 경우, 편광빔스플리터를 투과한 제2편광파는 상기 기준반사판에 입사되지 않으며, 상기 편광카메라는 측정대상물의 반사광에 대해 4개의 반사광 이미지를 획득하고, 기준면의 반사광에 대해 4개의 반사광 이미지를 획득하며, 상기 분석수단은 4개의 측정대상물의 반사광 이미지와, 4개의 기준면의 반사광이미지 및 상기 기준면의 절대반사율을 기반으로 상기 측정대상물의 절대반사율을 분석하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정방법
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제 8항에 있어서, 상기 조명광학모듈과 상기 편광빔스플리터 사이에 구비된 선형편광기에 의해 상기 제1편광과 상기 제2편광 비율이 조절되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동둔감 간섭법을 이용한 다층박막 두께 및 형상 측정방법
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