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소자의 전사 및 접합 방법

  • 기술번호 : KST2021012474
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 모재에 점착성 층을 도포하는 단계, 복수개의 소자를 배열하는 단계, 상기 배열된 소자를 모재에 부착하는 단계, 기판에 고분자 막을 도포하는 단계, 상기 복수개의 소자가 부착된 모재를 상기 기판에 정렬하는 단계, 레이저를 조사하여 상기 복수개의 소자를 기판에 접합하는 단계, 상기 모재를 상기 복수개의 소자가 접합된 기판과 분리하는 단계를 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/52 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 21/60 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210035840 (2021.03.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0127614 (2021.10.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200044832   |   2020.04.13
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.03.19)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주지호 세종특별자치시 나
2 엄용성 대전광역시 유성구
3 최광문 대전광역시 유성구
4 최광성 대전광역시 유성구
5 이찬미 세종특별자치시 시청대로**
6 장기석 세종특별자치시 시청

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2021-0324856-83
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번호 청구항
1 1
모재(carrier)에 점착성 층을 형성하는 단계, 상기 모재 및 상기 점착성 층은 적외선을 투과할 수 있도록 구성되고;배열된 복수개의 소자들을 상기 점착성 층(adhesive layer) 상에 부착하는 단계, 상기 복수개의 소자들(device)은 복수개의 제1 전극들을 각각(respectively) 포함하며;기판의 복수개의 제2 전극들 상에 고분자 막을 형성하는 단계;상기 점착성 층에 부착된 복수개의 제1 전극들과 상기 복수개의 제2 전극들이 각각 중첩되도록 상기 모재를 상기 기판과 정렬시키는 단계;상기 정렬된 모재를 상기 기판에 인접시키는 단계;상기 모재 상에 적외선을 조사하여, 상기 복수개의 소자들을 상기 제2 전극들과 각각 접합시키는 단계; 및상기 모재를 상기 복수개의 소자들이 접합된 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하되,상기 적외선 조사에 의해, 상기 복수개의 소자들과 상기 제2 전극들간의 접합력(bonding force)은 상기 점착성 층과 상기 복수개의 소자들간의 접합력보다 커지는 소자의 전사 및 접합 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 점착성 층은 상기 적외선이 50% 내지 99% 투과할 수 있는 고분자 소재를 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 고분자 소재는 폴리디메틸실록산을 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 복수개의 제1 전극들 상에 복수개의 솔더들을 각각 형성하는 단계를 더 포함하되,상기 적외선 조사에 의해, 상기 복수개의 솔더들이 리플로우 처리되어 상기 제2 전극들과 각각 접합되는 소자의 전사 및 접합 방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 고분자 막은, 상기 복수개의 솔더들이 리플로우 처리되는 동안 상기 복수개의 솔더들을 둘러싸며 이들을 캐핑하는 소자의 전사 및 접합 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 고분자 막은 열경화성 고분자 수지(thermo-curable polymer resin)를 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 적외선 조사 이후에 상기 모재 상에 자외선을 조사하는 것을 더 포함하되,상기 자외선 조사에 의해 상기 점착성 층의 점착도(adhesiveness)가 감소되는 소자의 전사 및 접합 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 고분자 막은 상기 자외선에 반응하는 광개시제(photoinitiator)를 더 포함하고,상기 고분자 막의 적어도 일부는 상기 점착성 층과 직접 접촉하며,상기 자외선 조사에 의해 상기 점착성 층과 상기 고분자 막 사이의 점착도가 감소하는 소자의 전사 및 접합 방법
9 9
제 7항에 있어서,상기 점착성 층은 상기 자외선에 반응하는 광개시제를 더 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
10 10
제 1항에 있어서,상기 복수개의 소자들 사이에서 노출된 상기 점착성 층의 표면 상에 제1 요철 구조를 형성하는 단계를 더 포함하되,상기 고분자 막은, 그의 표면에 상기 제1 요철 구조에 의해 전사된 제2 요철 구조를 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
11 11
제 1항에 있어서,상기 고분자 막은 솔더 분말을 포함하고,상기 적외선 조사에 의해, 상기 복수개의 제1 전극들과 상기 복수개의 제2 전극들 사이에서 상기 솔더 분말이 이들을 서로 접합시키는 소자의 전사 및 접합 방법
12 12
제 1항에 있어서,상기 모재는 투명 기판인 소자의 전사 및 접합 방법
13 13
제 1항에 있어서,상기 모재를 상기 기판으로부터 분리한 이후에, 상기 복수개의 소자들과 상기 기판 사이의 공간을 채우는 상기 고분자 막을 경화시키는 단계를 더 포함하는 소자의 전사 및 접합 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원(ETRI) 에너지기술개발사업 초소형 태양광 cell 기반 25% 이상 모빌리티형 박막 태양광 모듈 개발
2 산업통상자원부 (주)에스엔에프 산업기술혁신사업 유연 디스플레이소자용 열공정 기술 및 장치 개발
3 산업통상자원부 (주)비엔에프코퍼레이션 산업기술혁신사업 유연 LED 모듈용 레이저 기반 청정 접합소재 및 공정 기술 개발