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노광 각도가 조절된 근접장 패터닝을 이용한 나노구조의 조절 및 제작

  • 기술번호 : KST2021015847
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 나노 구조의 제조 방법은, 요철 구조를 갖는 위상 마스크와 감광성 필름을 접촉시키는 단계; 상기 위상 마스크의 요철 구조를 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및 상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사된다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 1/50 (2012.01.01)
CPC G03F 7/7035(2013.01) G03F 1/50(2013.01) G03F 7/70283(2013.01) G03F 7/703(2013.01) G03F 7/70408(2013.01)
출원번호/일자 1020200048876 (2020.04.22)
출원인 삼성전자주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0130531 (2021.11.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.04.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이지선 경기도 수원시 영통구
2 전석우 대전광역시 유성구
3 남상현 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0415631-95
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0504908-02
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2021.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-0364598-24
6 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2021.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-0364112-60
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.07.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0171095-14
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0728756-26
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2021-1247395-20
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1247362-24
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번호 청구항
1 1
요철 구조를 갖는 위상 마스크와 감광성 필름을 접촉시키는 단계;상기 위상 마스크의 요철 구조를 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고,상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사되는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 요철 구조는 일 방향으로 연장되는 돌출부들을 포함하는 1차원 격자 구조를 가지며, 상기 나노 구조는 수평 방향으로 연장되는 복수의 채널들을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서, 단면도 상에서 인접하는 채널들을 연결한 선은 직사각형을 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 광의 입사 각도는 하기의 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 위상 마스크는 상기 요철 구조가 형성된 경사면을 갖는 프리즘 형상을 가지며, 상기 감광성 필름은 상기 경사면 위에 배치되고, 상기 광은 프리즘의 하면을 통해 상기 감광성 필름에 입사되는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 위상 마스크는 PDMS를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 위상 마스크는 상기 요철 구조를 포함하는 격자부 및 상기 격자부와 결합된 필름부를 포함하고, 상기 격자부는 상기 필름부보다 큰 모듈러스를 갖는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
8 8
일면에 요철 구조를 갖는 감광성 필름을 준비하는 단계;상기 요철 구조가 형성된 입사면을 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고,상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사되는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 요철 구조는 일 방향으로 연장되는 돌출부들을 포함하는 1차원 격자 구조를 가지며, 상기 나노 구조는 수평 방향으로 연장되는 복수의 채널들을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
10 10
제9항에 있어서, 단면도 상에서 인접하는 채널들을 연결한 선은 직사각형을 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 광의 입사 각도는 하기의 식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
12 12
제8항에 있어서, 상기 요철 구조를 갖는 감광성 패턴을 준비하는 단계는,상기 요철 구조에 대응되는 가압면을 갖는 몰드를 상기 감광성 필름 위에 배치하는 단계; 및상기 몰드를 가압하여 상기 감광성 필름에 상기 요철 구조를 임프린팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20210335601 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2021335601 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업체 삼성전자(주) 산업체연구개발사업 삼성전자 DS부문 전략산학 과제(5차년도)(2019)
2 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 대면적 3차원 계층적 다공성 나노구조체의 친환경 응용 연구(4차년도)
3 과학기술정보통신부 한국과학기술원 원천기술개발사업 마약류 유해물질 감지 성능 향상을 위한 3차원 다공성 나노소재 제작 기술 개발(2019)