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내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022000109
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 공정의 실링에 이용되는 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조방법에 대한 것으로서, 지르코니아 입자를 과불소알킬기로 개질하여 내열성 입자 충전제를 과불소 고무 원료에 균일하게 분산시킴으로써 고온 공정에서도 성능이 감소하지 않는 과불소고무 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL C08L 27/18 (2006.01.01) C08F 214/26 (2006.01.01) C08J 3/24 (2006.01.01) C08K 9/06 (2006.01.01) C08K 5/02 (2006.01.01) C08K 5/5419 (2006.01.01) C08K 5/3492 (2006.01.01) C08K 5/14 (2006.01.01) C08K 3/22 (2006.01.01)
CPC C08L 27/18(2013.01) C08F 214/262(2013.01) C08J 3/24(2013.01) C08K 9/06(2013.01) C08K 5/02(2013.01) C08K 5/5419(2013.01) C08K 5/34924(2013.01) C08K 5/14(2013.01) C08K 3/22(2013.01) C08K 2003/2244(2013.01)
출원번호/일자 1020210081471 (2021.06.23)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2323568-0000 (2021.11.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20211105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.23)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박주현 대전광역시 유성구
2 임기환 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0723637-94
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0724269-63
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2021.06.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2021.07.23 수리 (Accepted) 9-1-2021-0010817-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0650219-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2021-0949846-63
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0949834-15
8 등록결정서
Decision to grant
2021.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0750352-56
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번호 청구항
1 1
과불소고무 원료 40 내지 90 중량%를 준비하는 단계;상기 과불소고무 원료에 충전제가(filler)가 침투될 수 있도록 롤(roll)에서 처리하는 단계;공가교제 2 내지 5 중량%를 첨가하는 단계;혼합물에 충전제 0
2 2
제 1 항에 있어서,상기 과불소고무 원료로 테트라플루오르에틸렌(tetrafluoroethylene,TFE), 퍼플루오로메틸비닐에테르(Perfluoromethyl-ether,PFMVE) 및 CMS(cure site monomer)를 포함한 3원 공중합체 고분자 화합물이 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 과불소고무 원료에 충전제가 침투될 수 있도록 롤에서 처리하는 단계를 통해 두께가 1mm 이하의 두께로 만드는 과정인,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 과불소알킬로 개질된 지르코니아 입자는,노나 플루오로-헥실 트리에톡시 실란(Nonafluoro-hexyl triethoxy silane), 노나플루오로-헥실 트리클로로 실란(Nonafluoro-hexyl trichloro silane), 노나플루오로-헥실 트리메톡시 실란(Nonafluoro-hexyl trimethoxy silane), 노나플루오로-헥실 다이메틸클로로 실란(Nonafluoro-hexyl dimethylchloro silane),(4-퍼플로로 옥틸페닐) 트리에톡시 실란((4-Perfluoro octylphenyl) triethoxy silane) 중 선택되는 1 종을 이용하여 이산화지르코늄(ZrO2)의 표면을 개질시킨 것인,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 이산화지르코늄 표면 개질은, 이산화지르코늄 표면의 하이드록실기가 에탄올을 용매로 하여 에스터화 반응에 의해 표면 개질이 이루어지는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 공가교제는 트리알릴 이소시아누레이트(triallyl isocyanurate;Taic)가 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 가류제는 사이클로헥사논퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카르보네이트, t-부틸퍼옥시라우릴레이트, t-부틸퍼옥시아세 테이트, 디-t-부틸디퍼옥시프탈레이트, t-디브틸퍼옥시말레인산, t-부틸큐밀퍼옥사이드, t-부틸하이드로퍼옥사이드, 디벤조일퍼옥사이드, 디큐밀퍼옥사이드, 1,3-비스(t-부틸퍼옥시이소프로필)벤젠, 메틸에틸케톤퍼옥사이드, 디-(2,4-디클로로벤조일)퍼옥사이드, 1,1-디(t-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸사이클로헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(벤조일퍼옥시)헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디-t-부틸퍼옥사이드, n-부틸-4,4-비스(t-부틸퍼옥시)발러레이트, α,α'-비스(t-부틸퍼옥시)디이소프로필벤젠, 다이-(2,4-다이클로로벤 조일)-퍼옥시다제(Di-(2,4-dichlorobenzoyl)-peroxide), 다이벤조일 퍼옥시다제(Dibenzoyl peroxide), 터트-부 틸 퍼옥시벤조에이트(tert-Butyl peroxybenzoate), 1,1-다이-(터트-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸시클로헥산 (1,1-di-(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane), 다이-(2-터트-부틸-퍼옥시이소프로필)-벤젠(di-(2-tert-butyl-peroxyisopropyl)-benzene), 2,5-다이메틸-2,5-다이-(터트-부틸퍼옥시)-헥산(2,5-Dimethyl-2,5-di-(tert-butylperoxy)-hexane), 다이-터트-부틸퍼옥시다제(Di-tert-butylperoxide), 2,5-다이메틸-2,5-다이(터트 -부틸퍼옥시-헥산-3(2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy)hexyne-3) 중 선택된 어느 하나 이상이 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 과불소고무 원료에 공가교제, 충전제 및 가류제를 첨가하는 시간은 30분 내지 1시간 내에 이루어지는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 프레스 성형은 180℃에서 10분간 이루어지는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
11 11
제 1 항에 있어서,상기 프레스 성형 이후 2차 가교를 위해 250℃에서 24시간 유지시키는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
12 12
제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법에 의해 제조된, 내열성이 향상된 과불소고무 복합체
13 13
40 내지 90 중량% 과불소고무;0
14 14
제 13 항에 있어서,상기 복합체는 60 내지 70℃의 온도에서 컴파운딩 후 프레스 성형 공정을 통해 성형된 것인,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
15 15
제 13 항에 있어서,상기 과불소고무 원료로 테트라플루오르에틸렌(tetrafluoroethylene,TFE), 퍼플루오로메틸비닐에테르(Perfluoromethyl-ether,PFMVE) 및 CMS(cure site monomer)를 포함한 3원 공중합체 고분자 화합물이 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
16 16
삭제
17 17
제 13 항에 있어서,상기 과불소알킬로 개질된 지르코니아 입자는,노나 플루오로-헥실 트리에톡시 실란(Nonafluoro-hexyl triethoxy silane), 노나플루오로-헥실 트리클로로 실란(Nonafluoro-hexyl trichloro silane), 노나플루오로-헥실 트리메톡시 실란(Nonafluoro-hexyl trimethoxy silane), 노나플루오로-헥실 다이메틸클로로 실란(Nonafluoro-hexyl dimethylchloro silane),(4-퍼플로로 옥틸페닐) 트리에톡시 실란((4-Perfluoro octylphenyl) triethoxy silane) 중 선택되는 1 종을 이용하여 이산화지르코늄(ZrO2)의 표면을 개질시킨 것인,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
18 18
제 17 항에 있어서,상기 이산화지르코늄 표면 개질은, 이산화지르코늄 표면의 하이드록실기가 에탄올을 용매로 하여 에스터화 반응에 의해 표면 개질이 이루어지는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
19 19
제 13 항에 있어서,상기 공가교제는 트리알릴 이소시아누레이트(triallyl isocyanurate;Taic)가 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
20 20
제 13 항에 있어서,상기 복합체의 프레스 성형은 180℃에서 10분간 이루어진 것인,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
21 21
제 13 항에 있어서,상기 가류제는 사이클로헥사논퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시이소프로필카르보네이트, t-부틸퍼옥시라우릴레이트, t-부틸퍼옥시아세 테이트, 디-t-부틸디퍼옥시프탈레이트, t-디브틸퍼옥시말레인산, t-부틸큐밀퍼옥사이드, t-부틸하이드로퍼옥사이드, 디벤조일퍼옥사이드, 디큐밀퍼옥사이드, 1,3-비스(t-부틸퍼옥시이소프로필)벤젠, 메틸에틸케톤퍼옥사이드, 디-(2,4-디클로로벤조일)퍼옥사이드, 1,1-디(t-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸사이클로헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(벤조일퍼옥시)헥산, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산, 디-t-부틸퍼옥사이드, n-부틸-4,4-비스(t-부틸퍼옥시)발러레이트, α,α'-비스(t-부틸퍼옥시)디이소프로필벤젠, 다이-(2,4-다이클로로벤 조일)-퍼옥시다제(Di-(2,4-dichlorobenzoyl)-peroxide), 다이벤조일 퍼옥시다제(Dibenzoyl peroxide), 터트-부 틸 퍼옥시벤조에이트(tert-Butyl peroxybenzoate), 1,1-다이-(터트-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸시클로헥산 (1,1-di-(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane), 다이-(2-터트-부틸-퍼옥시이소프로필)-벤젠(di-(2-tert-butyl-peroxyisopropyl)-benzene), 2,5-다이메틸-2,5-다이-(터트-부틸퍼옥시)-헥산(2,5-Dimethyl-2,5-di-(tert-butylperoxy)-hexane), 다이-터트-부틸퍼옥시다제(Di-tert-butylperoxide), 2,5-다이메틸-2,5-다이(터트 -부틸퍼옥시-헥산-3(2,5-dimethyl-2,5-di(tert-butylperoxy)hexyne-3) 중 선택된 어느 하나 이상이 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
22 22
제 13 항에 있어서,반도체 공정의 실링제로 이용되는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체
23 23
테트라플루오르에틸렌(tetrafluoroethylene,TFE), 퍼플루오로메틸비닐에테르(Perfluoromethyl-ether,PFMVE) 및 CMS(cure site monomer)를 포함한 3원 공중합체 고분자 화합물을 40 내지 90 중량%를 준비하는 단계;상기 3원 공중합체 고분자 화합물을 롤(roll)에서 처리하여 두께를 1mm 이하로 만드는 단계;공가교제로 트리알릴 이소시아누레이트(triallyl isocyanurate;Taic)를 2 내지 5 중량%를 첨가하는 단계;충전제로 노나 플루오로-헥실 트리에톡시 실란(Nonafluoro-hexyl triethoxy silane)로 표면 개질된 이산화지르코늄(ZrO2)을 0
24 24
제 23 항에 있어서,상기 과불소고무 원료에 공가교제, 충전제 및 가류제를 첨가하는 시간은 30분 내지 1시간 내에 이루어지는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
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제 23 항에 있어서,상기 프레스 성형 이후 2차 가교를 위해 250℃에서 24시간 유지시키는,내열성이 향상된 과불소고무 복합체의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 중앙대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업 이산화탄소 포집 및 전환용 전도성고분자 기반 하이브리드나노입자 연구