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유연성 기판 및 상기 유연성 기판 상의 나노입자 박막을 포함하는 센서로서, 상기 유연성 기판은 제1 폴리머 층 및 상기 제1 폴리머 층 상의 제2 폴리머 층을 포함하고, 상기 제2 폴리머 층은 상기 제1 폴리머 층에 비하여 열 팽창 계수가 높고, 온도에 따른 저항의 변화에 대해 안정한 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 폴리머 층의 열 팽창 계수가 상기 제1 폴리머 층의 열 팽창 계수에 비하여 8 내지 12배 더 큰, 센서
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3
제1항에 있어서, 상기 제1 폴리머 층은 열 팽창 계수가 4 ×10-5 m/(mK) 내지 9 ×10-5 m/(mK) 인, 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 폴리머 층은 열 팽창 계수가 3
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제1항에 있어서, 상기 제2 폴리머 층의 두께가 상기 제1 폴리머 층의 두께에 비하여 더 두꺼운, 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 폴리머 층은 두께가 25 ㎛ 내지 500 ㎛ 인, 센서
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7
제1항에 있어서, 상기 제2 폴리머 층은 두께가 1
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8
제1항에 있어서, 상기 제1 폴리머 층이 PET (폴리에틸렌 테레프탈레이트), PMMA (폴리메틸 메타크릴레이트), 및 SU-8 로 이루어진 군에서 선택되는, 센서
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9
제1항에 있어서, 상기 제2 폴리머 층이 PDMS (폴리디메틸실록산), Ecoflex, 및 폴리우레탄으로 이루어진 군에서 선택되는, 센서
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10
제1항에 있어서, 상기 나노입자 박막은 제1 표면 리간드를 포함하는 금속 나노입자와 제2 표면 리간드를 포함하는 반도체 나노입자를 포함하는, 센서
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11
제10항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 철(Fe), 및 팔라듐(Pd)에서 선택되는 적어도 1종의 나노입자인, 센서
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12
제10항에 있어서, 상기 반도체 나노입자는 인듐 주석 산화물(ITO), 불소 도핑 주석 산화물(FTO), 및 알루미늄 도핑 아연 산화물(AZO)에서 선택되는 적어도 1종의 나노입자인, 센서
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13
제10항에 있어서, 상기 나노입자 박막이 감지부 영역을 포함하고, 상기 감지부 영역에서 상기 제1 표면 리간드 및 상기 제2 표면 리간드는 각각 독립적으로, 황 이온(S2-), 염소 이온(Cl-), 브롬 이온(Br-), 티오시안산 이온(SCN-), 요오드 이온(I-), 이황화물 이온(HS-), 텔루륨 이온(Te2-), 수산화 이온(OH-), 사불화붕산 이온(BF4-), 육불화인산 이온(PF6-), EDT(ethandithiol)이온 (C2H4S22-), 및 MPA(Mercaptopropionic acid) 이온(C3H5O2S-) 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는, 센서
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제1항에 있어서, 상기 센서가 광 센서, 압력 센서, 위치 센서, 모션 센서, 화학 센서, 또는 속도 센서로 사용되는 센서
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제1항에 있어서, 온도의 변화에 따른 저항 변화율(△R/R0)K-1이 -5×10-5 내지 5×10-5 의 범위 이내인 센서
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유연성 기판을 제공하는 단계; 및 상기 유연성 기판을 나노입자 용액으로 코팅하여 나노입자 박막을 형성하는 단계를 포함하는 센서의 제조 방법으로서,상기 유연성 기판을 제공하는 단계가, 제1 폴리머 층을 형성하는 단계; 및 상기 제1 폴리머 층 상에 상기 제1 폴리머 층에 비하여 열 팽창 계수가 높은 제2 폴리머 층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 센서는 온도에 따른 저항의 변화에 대해 안정한 것인 방법
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