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측정 대상 소자가 제공되는 진공 챔버;상기 측정 대상 소자에 방사선을 조사하는 방사 부재;상기 진공 챔버 외부의 측정 부재를 상기 측정 대상 소자와 전기적으로 연결하는 배선부; 및상기 진공 챔버 일측에 제공되어 상기 진공 챔버 내부의 진공 상태를 유지하며 상기 진공 챔버 내부로 상기 배선부를 제공하는 피드 어댑터를 포함하고,상기 배선부는 상기 측정 대상 소자에 전력을 공급하는 동시에, 상기 방사 부재로부터 방사된 방사선에 노출되었을 때의 상기 측정 대상 소자의 전기적 특성 변화를 상기 측정 부재로 송출하는, 소자 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 피드 어댑터는피드 어댑터 입구와 피드 어댑터 출구를 갖는 피드 어댑터 케이스;상기 피드 어댑터 케이스의 상기 피드 어댑터 입구와 상기 피드 어댑터 출구 사이에 제공되며, 상기 피드 어댑터 입구에서 상기 피드 어댑터 출구 방향으로 연장된 피드 어댑터 홀더; 및상기 피드 어댑터 홀더를 관통하는 피드 어댑터 핀을 포함하는, 소자 성능 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 배선부는 내부 배선 및 외부 배선을 포함하고,상기 내부 배선은 상기 피드 어댑터 핀의 일측과 상기 측정 대상 소자를 연결하고,상기 외부 배선은 상기 피드 어댑터 핀의 타측과 상기 측정 부재를 연결하는, 소자 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 배선부의 적어도 일측에는 피벗운동에 의하여 상기 측정 대상 소자의 적어도 일부와 물리적으로 결합하는 엘리게이터 클립이 제공되는, 소자 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 측정 대상 소자는 기판 상에 제공된 소스 전극;상기 소스 전극과 이격되어 제공되는 드레인 전극;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 제공되어 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 연결하는 활성층; 및상기 활성층과 이격되어 제공되는 게이트 전극을 포함하는, 소자 성능 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 각각은 상기 배선부와 연결되고,상기 방사 부재는 상기 활성층에 방사선을 조사하는, 소자 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 측정 대상 소자와 상기 진공 챔버의 내벽 사이에 제공되는 카본 테이프 및 폴리이미드 테이프를 더 포함하는, 소자 성능 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 배선부는 상기 진공 챔버의 내벽을 따라 제공되는, 소자 성능 측정 장치
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진공 챔버 내에 측정 대상 소자를 제공하는 제1 단계;상기 측정 대상 소자의 전기적 특성을 측정하는 제2 단계; 및진공 상태에서 상기 측정 대상 소자에 방사 부재를 이용하여 방사선을 조사하는 제3 단계를 포함하고,상기 제2 단계는 상기 제3 단계 수행 전부터 수행 후까지 연속적으로 수행되는, 소자 성능 측정 방법
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제9항에 있어서,상기 측정 대상 소자는 기판 상에 제공된 소스 전극;상기 소스 전극과 이격되어 제공되는 드레인 전극;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 제공되어 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 연결하는 활성층; 및상기 활성층과 이격되어 제공되는 게이트 전극을 포함하고,상기 활성층에 방사선이 조사되었을 때 상기 활성층의 전기적 특성 변화를 조사하는, 소자 성능 측정 방법
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