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이종접합 기반 다중층 채널을 사용한 삼진 논리소자

  • 기술번호 : KST2022001538
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 삼진 논리소자는 제1 트랜지스터 및 제2 트랜지스터를 포함하고, 상기 제1 트랜지스터는, 제1 기판; 상기 제1 기판 상에 위치되는 제1 채널층; 및 상기 제1 채널층의 양단에 각각 위치되는 제1 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 상기 제2 트랜지스터는, 제2 기판; 상기 제2 기판 상에 위치되는 절연막; 상기 절연막 상에 하부반도체 물질층, 그래핀층, 상부반도체 물질층을 순서대로 적층하여 형성된 이종접합 기반 다중층 채널; 상기 절연막 상에서 상기 다중층 채널의 양 측에 위치되는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함하고, 상기 그래핀층의 일 단부가 상기 제2 드레인 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 상부반도체 물질층의 일 단부는 적어도 상기 제2 소스 전극에 전기적으로 연결되며 상기 하부반도체 물질층의 일 단부는 적어도 상기 제2 드레인 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 제1 트랜지스터와 제2 트랜지스터는 병렬로 연결되어 3진 논리 상태를 구현하도록 형성될 수 있다. 이러한 삼진 논리소자는 그래핀을 사용한 이종접합 기반 다중층 채널을 사용하여 3개의 상태 표현이 가능한 작동 성능이 우수한 3진 논리소자로 작동할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 27/088 (2006.01.01)
CPC H01L 29/78696(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 27/088(2013.01)
출원번호/일자 1020200094471 (2020.07.29)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0014629 (2022.02.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.10)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이가영 광주광역시 북구
2 장한별 광주광역시 북구
3 이동규 광주광역시 북구
4 이병훈 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0795318-10
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0960783-54
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.04.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0152010-65
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0729898-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.11.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1316902-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-1316911-98
8 등록결정서
Decision to grant
2021.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0942595-36
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번호 청구항
1 1
제1 트랜지스터 및 제2 트랜지스터를 포함하는 삼진 논리소자로서,상기 제1 트랜지스터는: 제1 기판; 상기 제1 기판 상에 위치되는 제1 채널층; 및 상기 제1 채널층의 양단에 각각 위치되는 제1 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고,상기 제2 트랜지스터는: 제2 기판; 상기 제2 기판 상에 위치되는 절연막; 상기 절연막 상에 하부반도체 물질층, 그래핀층, 상부반도체 물질층을 순서대로 적층하여 형성된 이종접합 기반 다중층 채널; 상기 절연막 상에서 상기 다중층 채널의 양 측에 위치되는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함하고, 상기 그래핀층의 일 단부가 상기 제2 드레인 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 상부반도체 물질층의 일 단부는 적어도 상기 제2 소스 전극에 전기적으로 연결되며 상기 하부반도체 물질층의 일 단부는 적어도 상기 제2 드레인 전극에 전기적으로 연결되고,상기 제1 트랜지스터와 제2 트랜지스터가 병렬로 연결되어 3진 논리 상태를 구현하는, 삼진 논리소자
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 기판과 제2 기판은 동일한 기판이며, 상기 제1 트랜지스터와 제2 트랜지스터는 상기 동일 기판을 공유하도록 형성되는, 삼진 논리 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 트랜지스터는 상기 이종접합 기반 다중층 채널의 전류 포화 상태를 이용하여 상기 3진 논리 상태 중 중간 상태를 구현하는, 삼진 논리소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 그래핀 층은 단일 그레인(single grain) 또는 멀티그레인(multi-grain)의 구조를 갖는 것인, 삼진 논리소자
5 5
제1항에 있어서,상기 그래핀층의 타 단부는 제2 소스 전극에 전기적으로 연결되지 않는, 삼진 논리소자
6 6
제1항에 있어서, 상기 이종접합 기반 다중층 채널은 상기 하부반도체 물질층과 상기 기판 사이, 및 상기 상부반도체 물질층의 상부에 각각 육각형질화붕소(Hexagonal boron nitride, hBN)를 포함하는 층을 더 포함하는, 삼진 논리소자
7 7
제1항에 있어서,상기 상부반도체 물질층은 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs), 게르마늄(Ge), 몰리브덴 디설파이드(MoS2), 몰리브덴 디셀레나이드(MoSe2), 몰리브덴 디텔루라이드(MoTe2), 텅스텐 디설파이드(WS2), 텅스텐 디셀레나이드(WSe2), 인듐 셀레나이드(InSe), 흑린 (black phosphorus), 및 텔루린 (tellurene) 중에서 적어도 하나의 선택된 재료로 형성되는 것인, 삼진 논리소자
8 8
제1항에 있어서,상기 하부반도체 물질층은 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs), 게르마늄(Ge), 몰리브덴 디설파이드(MoS2), 몰리브덴 디셀레나이드(MoSe2), 몰리브덴 디텔루라이드(MoTe2), 텅스텐 디설파이드(WS2), 텅스텐 디셀레나이드(WSe2), 인듐 셀레나이드(InSe), 흑린 (black phosphorus), 및 텔루린 (tellurene) 중에서 적어도 하나의 선택된 재료로 형성되는 것인, 삼진 논리소자
9 9
제10항에 있어서,상기 이종접합 기반 다중층 채널은 상기 하부 반도체 물질층과 상기 제2 기판 사이, 및 상기 상부반도체 물질층의 상부에 각각 육각형질화붕소(Hexagonal boron nitride, h-BN)를 포함하는 층을 더 포함하는, 삼진 논리소자
10 10
제1 트랜지스터 및 제2 트랜지스터를 포함하는 삼진 논리소자로서,상기 제1 트랜지스터는: 제1 기판; 상기 제1 기판 상이 위치되는 제1 채널층; 및 상기 제1 채널층의 양단에 각각 위치되는 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 포함하고,상기 제2 트랜지스터는: 제1 반도체 물질을 포함하는 제2 기판, 상기 제2 기판 상에 위치되는 그래핀층, 상기 그래핀층 상에 위치되는 제2 반도체 물질을 포함하는 층을 포함하는 이종접합 기반 다중층 채널; 상기 제2 반도체 물질을 포함하는 층 상에 위치되는 게이트 절연층; 상기 게이트 절연층 상에 위치되는 게이트 전극; 상기 제2 기판 상에서 상기 게이트 절연층의 양 측에 위치되는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함하고, 상기 제2 기판은 적어도 상기 제2 소스 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 그래핀층의 일 단부가 상기 제2 드레인 전극에 전기적으로 연결되며, 상기 제2 반도체 물질을 포함하는 층의 일단부가 상기 제2 소스 전극과 제2 드레인 전극 중 적어도 하나에 전기적으로 연결되고,상기 제1 트랜지스터와 제2 트랜지스터는 병렬로 연결되어 3진 논리 상태를 구현하는, 삼진 논리소자
11 11
제10항에 있어서,상기 제1 기판과 제2 기판은 동일한 기판이며, 상기 제1 트랜지스터와 제2 트랜지스터는 상기 동일 기판을 공유하도록 형성되는, 삼진 논리 소자
12 12
제10항에 있어서,상기 제2 트랜지스터는 상기 이종접합 기반 다중층 채널의 전류 포화 상태를 이용하여 상기 3진 논리 상태 중 중간 상태를 구현하는, 삼진 논리소자
13 13
제10항에 있어서, 상기 그래핀 층은 단일 그레인(single grain) 또는 멀티그레인(multi-grain)의 구조를 갖는 것인, 삼진 논리소자
14 14
제10항에 있어서,상기 그래핀층의 타 단부는 제2 소스 전극에 전기적으로 연결되지 않는, 삼진 논리소자
15 15
제10항에 있어서,상기 제1 반도체 물질은 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs), 및 게르마늄(Ge) 중 적어도 하나인 것인, 삼진 논리소자
16 16
제10항에 있어서,상기 제2 반도체 물질은 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs), 게르마늄(Ge), 몰리브덴 디설파이드(MoS2), 몰리브덴 디셀레나이드(MoSe2), 몰리브덴 디텔루라이드(MoTe2), 텅스텐 디설파이드(WS2), 텅스텐 디셀레나이드(WSe2), 인듐 셀레나이드(InSe), 흑린 (black phosphorus), 및 텔루린 (tellurene) 중 적어도 하나인 것인, 삼진 논리소자
17 17
제10항에 있어서,상기 게이트 절연층은 실리콘 옥사이드, 실리콘 나이트라이드, 하프늄 옥사이드, 알루미늄 옥사이드 중에서 적어도 하나로 형성되는, 삼진 논리소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 광주과학기술원 나노·소재원천기술개발사업 그래핀 배리스터 기반 삼진로직 소자 개발 및 집적공정 연구