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그래핀의 전사 방법

  • 기술번호 : KST2022001615
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 실시예는, 제1 기판 상에 그래핀층을 성장시키는 단계, 상기 그래핀층 상에 수용성 지지층을 형성하는 단계, 상기 수용성 지지층 상에 코팅층을 형성하는 단계, 상기 코팅층 상에 열박리 테이프를 부착하는 단계, 상기 제1 기판으로부터 그래핀층, 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 분리하는 단계, 상기 분리된 그래핀층, 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제2 기판으로 전사하는 단계, 그리고 상기 제2 기판으로부터 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제거하는 단계를 포함하는 그래핀의 전사 방법에 관한 것이다.
Int. CL C01B 32/194 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C01B 32/194(2013.01) B82Y 40/00(2013.01)
출원번호/일자 1020200094940 (2020.07.30)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0014994 (2022.02.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.07.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재현 경기도 부천시 소삼로
2 김승일 경기도 수원시 영통구
3 김한수

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0798601-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0214196-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0912402-07
5 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2022.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2022-0067646-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0067644-38
7 [출원서 등 보완]보정서
2022.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2022-0067645-84
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2022-0067643-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 기판 상에 그래핀층을 성장시키는 단계;상기 그래핀층 상에 수용성 지지층을 형성하는 단계;상기 수용성 지지층 상에 코팅층을 형성하는 단계;상기 코팅층 상에 열박리 테이프를 부착하는 단계;상기 제1 기판으로부터 그래핀층, 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 분리하는 단계;상기 분리된 그래핀층, 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제2 기판으로 전사하는 단계; 그리고상기 제2 기판으로부터 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제거하는 단계;를 포함하는 그래핀 전사 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 수용성 지지층은 삼산화 몰리브덴(MoO3), 삼산화 텅스텐(WO3), 염화 나트륨(NaCl), 산화 마그네슘(MgO), 산화 아연(ZnO) 및 산화 티타늄(TiO2) 중 적어도 하나를 이용하여 형성된 것인 그래핀 전사 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 수용성 지지층을 형성하는 단계 후에 열처리 단계를 더 포함하는 그래핀 전사 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 열처리 단계는 50℃ 내지 500℃ 범위에서 40분 내지 80분 동안 수행되는 그래핀 전사 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 코팅층은 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA), 폴리바이닐 알코올(PVA) 및 폴리에테르아미르(PEI) 중 적어도 하나를 이용하여 형성된 것인 그래핀 전사 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제2 기판으로부터 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제거하는 단계에서, 상기 열박리 테이프의 제거는, 100℃ 내지 150℃ 범위의 온도를 가하여 수행되는 그래핀 전사 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 제2 기판으로부터 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제거하는 단계에서, 상기 코팅층의 제거는, 유기 용매를 이용하여 수행되는 그래핀 전사 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 제2 기판으로부터 수용성 지지층, 코팅층 및 열박리 테이프를 제거하는 단계에서, 상기 수용성 지지층의 제거는, 물속에 침지시켜 수행되는 그래핀 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.