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(a) YCl3 또는 Y(NO3)3를 함유하는 용액 내에 담지된 모재 표면에 레이저빔을 조사하는 단계; 및(b) 상기 레이저빔이 조사된 영역에 하기 화학식 1로 표시되는 이트륨 산화물 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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(a) YCl3 또는 Y(NO3)3 화합물과 F- 이온을 함유하는 용액 내에 담지된 모재 표면에 레이저빔을 조사하는 단계; 및(b) 상기 레이저빔이 조사된 영역에 하기 화학식 2로 표시되는 이트륨 옥시불화물 또는 불화이트륨(YF3) 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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(a) 모재 표면의 적어도 일부에 YCl3 또는 Y(NO3)3를 함유하는 용액을 도포하는 단계;(b) 상기 용액이 도포된 영역에 레이저빔을 조사하여 하기 화학식 1로 표시되는 이트륨 산화물 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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(a) 모재 표면의 적어도 일부에 YCl3 또는 Y(NO3)3 화합물과 F- 이온을 함유하는 용액을 도포하는 단계;(b) 상기 용액이 도포된 영역에 레이저빔을 조사하여 하기 화학식 2로 표시되는 이트륨 옥시불화물 또는 불화이트륨(YF3) 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 모재는,산화 알루미늄, 질화 알루미늄, 스테인리스 스틸(stainless steel), 석영, 탄화 규소, 질화규소 또는 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 물질을 포함하는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b) 단계에서,상기 레이저빔이 조사된 영역이 용융되어 모재 내부에 코팅층이 형성되는,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이저빔을 조사하는 단계는, 상기 레이저빔을 소정의 거리만 일방향으로 스캐닝하는 단계를 1회 이상 반복하여 조사하는 것인, 내플라즈마 코팅막 형성방법
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8
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 레이저빔을 조사하는 단계는, 상기 레이저빔을 소정의 거리만큼 지그재그 방향으로 스캐닝하는 단계를 1회 이상 반복하여 조사하는 것인,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 용액의 농도는 0
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제 1 항에 있어서,상기 레이저빔의 펄스 출력 밀도는 1800 W/mm2 초과 6500 W/mm2 미만인,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 이트륨 산화물은,Y2O3, YO1
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제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 이트륨 옥시불화물은,YOF, Y6O5F8, Y5O4F7, Y7O6F9 및 Y17O14F23 로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 (a) 단계에서,상기 용액은 NaF, KF 및 NH4F 로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 화합물이 용해된 것인,내플라즈마 코팅막 형성방법
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제 13 항에 있어서,상기 용액 내에 NaF 또는 KF 화합물이 용해된 경우,상기 화합물이 1 ppb 이하로 함유된,내플라즈마 코팅막 형성방법
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