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멀티프로버의 채널 락킹장치

  • 기술번호 : KST2022003438
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 멀티프로버의 채널 락킹장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 채널 내 좌우측에 각각 배치되어 프로브카드, 웨이퍼, 개별척이 합체된 카트리지 어셈블리를 장입 또는 인출할 수 있는 한 쌍의 랙가이드, 상기 랙가이드의 상하이동을 유도하는 이송모듈, 상기 이송모듈을 구동시키는 구동모터를 포함하여 구성되는 멀티프로버의 채널 락킹장치에 있어서, 상기 각 랙가이드를 2분할하여 형성시키고, 분할된 상기 각 랙가이드에 모터 구동축을 배치하여 독립제어가 가능하도록 함으로써 상기 랙가이드의 한 변에 상기 카트리지 어셈블리와의 접촉점이 2개 형성되는 것을 기술적 요지로 한다.
Int. CL G01R 31/28 (2006.01.01) G01R 1/04 (2006.01.01)
CPC G01R 31/2865(2013.01) G01R 31/2887(2013.01) G01R 31/2889(2013.01) G01R 31/2808(2013.01) G01R 1/0466(2013.01)
출원번호/일자 1020200124807 (2020.09.25)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0041507 (2022.04.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정순종 서울특별시 종로구
2 신동진 경기도 화성시
3 구보근 부산광역시 사상구
4 김민수 부산광역시 북구
5 김인성 경상남도 창원시 성산구
6 임동환 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-1024418-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
채널 내 좌우측에 각각 배치되어 프로브카드, 웨이퍼, 개별척이 합체된 카트리지 어셈블리를 장입 또는 인출할 수 있는 한 쌍의 랙가이드, 상기 랙가이드의 상하이동을 유도하는 이송모듈, 상기 이송모듈을 구동시키는 구동모터를 포함하여 구성되는 멀티프로버의 채널 락킹장치에 있어서,상기 각 랙가이드를 2분할하여 형성시키고, 분할된 상기 각 랙가이드에 모터 구동축을 배치하여 독립제어가 가능하도록 함으로써 상기 랙가이드의 한 변에 상기 카트리지 어셈블리와의 접촉점이 2개 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티프로버의 채널 락킹장치
2 2
제1항에 있어서,상기 랙가이드는,길이방향을 따라 복수개의 접촉핀홀이 형성되어,상기 카트리지 어셈블리에 형성된 접촉핀과 상기 접촉핀홀의 결합으로 고정력과 락킹강도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 멀티프로버의 채널 락킹장치
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제1항에 있어서,상기 구동모터는,상기 이송모듈이 초기위치 또는 락킹위치까지 수평을 이룬 상태에서 동시에 상하 이동되도록 동시제어되는 동기화모드와 락킹위치에서 독립제어되는 비동기화모드로 제어되는 것을 특징으로 하는 멀티프로버의 채널 락킹장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 4.나노응용 전기기능 소재·부품 기술 개발 고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템 개발