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흡광용액에 위치하는 가공물에 레이저를 조사하여 상기 흡광용액을 가열시켜 상기 가공물을 가공하는 미세구조물 가공방법에서, 상기 가공물로 조사되는 상기 레이저의 전체 레이저 조사 경로를 설정하는 단계; 및상기 설정된 전체 레이저 조사 경로를 바탕으로 상기 가공물에 대한 가공을 수행하는 단계를 포함하고, 상기 전체 레이저 조사 경로는 선 단위로 설정되고, 상기 전체 레이저 조사 경로를 선 단위로 설정함에 있어, 상기 레이저의 조사 경로의 시점 및 종점의 확률분포함수를 생성하고, 임의로 선정된 시점 및 종점을 연결하는 후보 조사경로들에 대한 경로 점수를 계산하여, 조사경로를 선정하는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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흡광용액에 위치하는 가공물에 레이저를 조사하여 상기 흡광용액을 가열시켜 상기 가공물을 가공하는 미세구조물 가공방법에서, 상기 가공물로 조사되는 상기 레이저의 전체 레이저 조사 경로를 설정하는 단계; 및상기 설정된 전체 레이저 조사 경로를 바탕으로 상기 가공물에 대한 가공을 수행하는 단계를 포함하고, 상기 전체 레이저 조사 경로는 점 단위로 설정되고, 상기 전체 레이저 조사 경로를 점 단위로 설정함에 있어, 상기 레이저가 조사되는 조사 영역에 대하여 점 좌표를 추출하여 정의되는 점 좌표 번호를 랜덤화하고, 상기 랜덤화된 점 좌표를 상기 전체 레이저 조사 경로에 추가하되, 상기 조사 영역이 균일하지 않은 경우, 상대적으로 가공이 많이 수행되어야 하는 조사 영역에서는 상기 점 좌표를 상대적으로 많이 추출하고, 상대적으로 가공이 적게 수행되어야 하는 조사 영역에서는 상기 점 좌표를 상대적으로 적게 추출하는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제2항에 있어서, 상기 점 좌표를 추출하여 점 좌표 별로 번호를 정의하는 단계에서, 상기 점 좌표는 소정의 패턴으로 번호가 정의되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제3항에 있어서, 상기 랜덤화된 점 좌표를 전체 레이저 조사 경로에 추가함에 따라, 상기 전체 레이저 조사 경로는 랜덤화된 점 좌표의 순서로 변경되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제2항에 있어서, 상기 전체 레이저 조사 경로를 점 단위로 설정하는 단계는, 상기 가공물에 대하여 목표 형상을 정의하는 단계; 상기 목표 형상에 따라 설정되는 상기 레이저가 조사되는 조사 영역에 대하여, 점 좌표를 추출하여 점 좌표 별로 번호를 정의하는 단계; 상기 정의된 점 좌표 번호를 랜덤(random)화하는 단계; 및상기 랜덤화된 점 좌표를 상기 전체 레이저 조사 경로에 추가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제1항에 있어서, 상기 전체 레이저 조사 경로를 선 단위로 설정하는 단계는, 상기 가공물에 대하여 목표 형상을 정의하는 단계; 상기 목표 형상에 따라 설정되는 상기 레이저가 조사되는 조사 영역에 대하여, 상기 레이저의 조사 경로의 시점 및 종점의 확률분포함수를 생성하는 단계; 상기 시점 및 종점 중 임의의 시점 및 종점을 선정하여, 상기 선정된 시점 및 종점을 연결하는 후보 조사경로를 생성하는 단계; 상기 생성된 후보 조사경로에 대하여 경로 점수를 계산하는 단계; 상기 계산된 경로 점수 중 가장 낮은 경로 점수가 계산되는 조사경로를 선정하는 단계; 및상기 선정된 조사경로를 상기 전체 레이저 조사 경로에 추가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제6항에 있어서, 상기 레이저의 조사 경로의 시점 및 종점의 확률분포함수를 생성함에 따라, 상기 조사 경로의 시점 및 종점의 분포가 상기 조사 영역 전체에서 균일하게 분산되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제6항에 있어서, 상기 조사경로가 선정되어 전체 레이저 조사 경로에 추가됨에 따라, 상기 확률 분포함수를 생성한 후 상기 후보 조사경로를 생성하기 전에, 상기 조사 영역에 따라 정의되는 목표 조사 분포와 현재까지의 실제 조사 분포를 비교하는 단계를 더 포함하는 미세구조물 가공방법
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제8항에 있어서, 상기 경로 점수를 계산하는 단계에서, 상기 조사 영역에 따라 정의되는 목표 조사 분포와, 현재까지의 실제 조사 분포의 차이를 바탕으로 상기 경로 점수를 계산하는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제9항에 있어서, 상기 경로 점수(C)는 하기 식 (1)로 계산되고, 식 (1)이 경우, nf는 0이 아닌 필터 점의 개수, f는 경로 점수 계산 필터, N은 실제 조사분포와 목표 조사분포의 차이, m 및 n은 조사분포를 정의하는 2차원 행렬인 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제10항에 있어서, 상기 경로 점수 계산 필터는, 상기 생성된 후보 조사경로가 통과하는 영역의 값이, 상기 후보 조사경로가 통과하는 지점에 인접한 영역의 값보다 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 조사 영역 전체에 대한 상기 레이저 조사 횟수가 충분한지를 판단하는 단계를 더 포함하는 미세구조물 가공방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 목표형상은, 3차원 입체형상인 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가공물은, 투명한 세라믹 재료인 것을 특징으로 하는 미세구조물 가공방법
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