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노광 대상물이 탑재되는 지지부, 상기 노광 대상물을 노광하는 노광 헤드, 그리고상기 노광 헤드의 위치를 제어하는 헤드 위치 제어부를 포함하고,상기 노광 헤드는 헤드 본체,상기 헤드 본체에 설치되며 상기 노광 대상물에 빛을 조사하는 복수개의 LED 패널, 그리고 상기 복수개의 LED 패널에 각각 설치되며 상기 복수개의 LED 패널의 위치를 조절하는 패널 위치 제어부를 포함하고,상기 복수개의 LED 패널은 소정 간격 이격되어 위치하는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 LED 패널은 패널 기판,상기 패널 기판에 위치하며 빛을 발광하는 복수개의 LED 화소, 그리고상기 복수개의 LED 화소에 대응하여 위치하며 상기 빛을 조절하는 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제2항에서,상기 LED 화소는 마이크로 크기의 마이크로 LED를 포함하고, 상기 마이크로 LED는 상기 마이크로 렌즈 어레이를 이루는 마이크로 렌즈에 대응하는 디지털 노광 시스템
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제2항에서,상기 LED 패널은 마이크로 렌즈 어레이 외측에 위치하는 시준기를 더 포함하는 노광 시스템
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제2항에서,상기 패널 위치 제어부는 상기 LED 패널의 X 방향 위치를 제어하는 제1 제어부,상기 LED 패널의 Y 방향 위치를 제어하는 제2 제어부, 그리고상기 LED 패널의 θ방향 위치를 제어하는 제3 제어부를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 헤드 위치 제어부는 갠트리를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 노광 헤드는 복수개의 LED 패널에 대응하여 위치하는 헤드 광학계를 더 포함하는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 지지부 위에 설치되어 상기 노광 대상물을 고정하는 진공척을 더 포함하는 디지털 노광 시스템
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제8항에서,상기 복수개의 LED 패널을 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고,상기 정렬부는상기 진공척 위에 탑재되는 기준 포토 마스크, 그리고상기 진공척에 설치되어 상기 기준 포토 마스크와 상기 복수개의 LED 패널의 정렬 상태를 확인하는 정렬 현미경을 포함하는 디지털 노광 시스템
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제1항에서,상기 노광 헤드 아래로 상기 노광 대상물을 공급하는 롤투롤 공급부를 더 포함하고,상기 롤투롤 공급부는상기 지지부 위에 위치하며 상기 노광 대상물이 탑재되어 소정 방향으로 이송되는 이송 탑재부, 그리고상기 이송 탑재부를 이송시키는 이송 롤러를 포함하는 디지털 노광 시스템
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제10항에서,상기 복수개의 LED 패널을 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고,상기 정렬부는상기 이송 탑재부 위에 탑재되는 기준 포토 마스크, 그리고상기 지지부에 설치되어 상기 기준 포토 마스크와 상기 복수개의 LED 패널의 정렬 상태를 확인하는 정렬 현미경을 포함하는 디지털 노광 시스템
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