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진동센서의 교정을 위한 진동 발생장치에 있어서,상부면이 평탄하게 구성되는 테이블(100);전후방향으로 연장 형성되어 폭방향으로 나란하게 이격된 상태로 상기 테이블(100)의 상부에 한 쌍이 구비되는 이송 레일부(200);상부에 진동센서가 배치되도록 구성되어 상기 이송 레일부(200)를 따라 전후방향 슬라이딩 이동이 안내되도록 구비되는 시편 이송부(300); 및상기 진동센서의 검사에 필요한 주파수에 대응하는 속도로 상기 시편 이송부(300)가 동작되도록 제어하되, 상기 시편 이송부(300)의 동작 오차를 보상하도록 구성되는 제어부(500);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 1에 있어서,상기 이송 레일부(200)는,소정의 폭과 높이를 갖는 상태로 전후방향으로 연장 형성되는 가이드 레일(210); 및상기 가이드 레일(210)의 전단 및 후단에 구비되어 상기 시편 이송부(300)의 전후진을 제한하는 스탑퍼부(220);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 2에 있어서,상기 시편 이송부(300)는,한 쌍의 상기 가이드 레일(210)에 각각 전후방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 구비되는 무빙바디(310); 상면에 상기 진동센서가 안착 배치되도록 구성되되, 한 쌍의 무빙바디(310)가 서로 연결된 상태가 되도록 상기 무빙바디(310)의 상부에 구비되는 검체베드(320); 및상기 무빙바디(310)를 전후방향으로 이동시키는 구동부(330);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 3에 있어서,상기 무빙바디(310)는,하방이 개방되고 상기 가이드 레일(210)을 따라 전후방향으로 이동되도록 체결되는 이송몸체(311); 및 상기 이송몸체(311)의 내측에 복수 개가 구비되어 상기 가이드 레일(210)을 향하여 에어를 분사하도록 구성되는 에어 베어링부(312);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 4에 있어서,상기 이송몸체(311)는,상하면이 수평면에 평행하게 구성되는 상부플레이트(311a);상단이 상기 상부플레이트(311a)의 좌우방향 양단에 각각 결합되고, 타단이 하방으로 돌출된 상태로 구비되는 한 쌍의 측벽(311b); 및 상기 상부플레이트(311a)와 측벽(311b)이 결합된 전면을 따라 연장 구비되는 전후 프레임(311c);을 포함하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 5에 있어서,상기 가이드 레일(210)과 이송몸체(311)의 사이에는,자성을 갖는 재질로 이루어져, 상기 가이드 레일(210)의 좌우방향 양단에 전후방향으로 연장 형성되는 제 1위치 조절부(341); 및 마그네틱으로 이루어져, 상기 제 1위치 조절부(341)와 대응되는 상기 이송몸체(311)의 상부면 및 좌우방향 내측면에 구비되는 제 2위치 조절부(342);를 포함하는 리플 방지부(340)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 6에 있어서,상기 제 1위치 조절부(341)는,상기 가이드 레일(210)의 좌우방향 일측 상단에 구비되는 제 1조절바(341a); 및 상기 가이드 레일(210)의 좌우방향 타측 상단에 구비되는 제 2조절바(341b);를 포함하고,상기 제 2위치 조절부(342)는,상기 제 1조절바(341a)와 대응되는 상기 상부플레이트(311a)의 하면에 구비되는 제 1조절자석(342a); 및 상기 제 2조절바(341b)와 대응되는 상기 상부플레이트(311a)의 하면과 상기 측벽(311b)의 내측면에 구비되는 제 2조절자석(342b);을 포함 하는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 7에 있어서,상기 제 1조절바(341a)는, 상면이 쐐기형 단면을 갖도록 형성되고, 상기 제 1조절자석(342a)의 하면은 이에 대응되도록 형성되며, 상기 제 2조절바(341b)는, 상면과 측면 일측이 쐐기형 단면을 갖도록 형성되고, 상기 제 2조절자석(342b)의 하면과 측면 일측은 이에 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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청구항 6에 있어서,상기 에어 베어링부(312)와 상기 리플 방지부(340)는,상기 이송몸체와 가이드 레일의 사이의 갭(gap)이 10㎛이하인 상태가 되도록 동작되는 것을 특징으로 하는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치
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