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일정 크기의 폐쇄된 내부공간이 형성되는 본체, 상기 본체의 양 측면에 상기 본체와 분리되는 구조로 각각 대향되게 설치되어 어느 하나 이상이 상기 본체와 분리되면 상기 내부공간이 열리는 구조로 형성되는 제1도어부 및 제2도어부를 포함하는 진공챔버;상기 진공챔버의 내부공간에 지면과 평행하게 설치되고, 양면 중 타면은 형성되고 일면은 일부 또는 전부가 개구된 일정길이를 갖는 원통구조로 형성되며 상기 원통구조 내부에 코팅하고자 하는 분말이 위치하는 회전드럼;상기 회전드럼의 개구되지 않은 타면과 결합되어 상기 회전드럼을 지지하도록 상기 진공챔버의 제1도어부에 고정 설치되어 지면에 평행한 회전축을 기준으로 상기 회전드럼을 회전시키는 회전유닛;상기 회전드럼의 개구된 일면 측에서 상기 회전드럼 내부로 삽입되어 상기 분말이 코팅물질로 코팅되도록 코팅물질소스와 에너지를 공급하는데, 상기 회전유닛에 의해 회전드럼이 회전되는 경우에도 정지 상태를 유지하도록 상기 진공챔버의 제2도어부에 고정 설치되는 코팅유닛;상기 회전드럼 내로 공정 가스를 제공하기 위한 공정가스 공급유닛; 및 상기 진공챔버 내부를 진공 상태로 하며, 상기 공정가스 공급유닛에 의해 제공된 공정가스를 진공챔버로부터 배기시키기 위한 진공/배기 유닛; 을 포함하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 진공챔버는 상기 제1도어부가 설치되는 상기 본체의 일측 외부 상부에서 그 길이방향으로 지면과 평행하게 형성되는 제1가이드레일부재, 상기 제2도어부가 설치되는 상기 본체의 타측 외부 상부에서 그 길이방향으로 지면과 평행하게 형성되는 제2가이드레일부재, 상기 본체로부터 상기 제1도어부가 열리면 상기 제1가이드레일부재를 따라 상기 제1도어부가 이동가능하도록 상기 제1도어부의 외측상단부와 상기 제1가이드레일부재를 연결 및 고정하는 제1이동결합부재, 및 상기 제2도어부가 열리면 상기 제2가이드레일부재를 따라 상기 제2도어부가 이동가능하도록 상기 제2도어부의 외측상단부와 상기 제2가이드레일부재를 연결 및 고정하는 제2이동결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 2 항에 있어서,상기 제1이동결합부재 및 제2이동결합부재는 상기 제1가이드레일부재 및 제2가이드레일부재에 연결 및 고정된 상태에서 360ㅀ회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서, 상기 코팅유닛은 상기 회전드럼 내부에 삽입되어 상기 코팅물질소스와 에너지를 공급하는 코팅부재, 일단부는 상기 코팅부재와 연결되고 타단부는 상기 제2도어부에 고정되어 상기 코팅부재를 지지하는 지지부재, 및 상기 코팅부재가 상기 회전드럼 내부에 삽입된 상태에서 상기 회전드럼의 개구된 일면이 형성되는 위치에서 상기 개구된 일면의 직경 이하의 크기로 상기 지지부재에 설치되는 측면덮개부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 4 항에 있어서,상기 측면덮개부재가 상기 회전드럼의 일면에 고정되지 않으면, 그 중심부에 상기 지지부재 직경이상의 관통구가 형성되고 전체 직경은 상기 개구된 일면의 직경 이하인 테프론 소재의 원판형부재로 형성되어 원판형부재가 회전되지 않고, 상기 측면덮개부재가 상기 회전드럼의 일면에 고정되면, 그 중심부에 상기 지지부재 직경이상의 관통구가 형성되고 전체 직경은 상기 개구된 일면의 직경 이하인 볼베어링부재로 형성되어 관통구 외경에 위치한 부분만 회전되어,상기 회전유닛에 의해 상기 회전드럼이 회전되는 경우에도 상기 지지부재가 회전 없이 고정되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 4 항에 있어서,상기 코팅부재는 상기 지면에 대향되는 상부에 더스트커버 부재가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전유닛은 상기 제1도어부 외부에 설치되는 회전동력부; 및 그 일단부는 상기 회전동력부와 연결되고 그 타단부는 상기 진공챔버의 제1도어부를 관통하여 상기 회전드럼의 개구되지 않은 타면과 결합되어 상기 회전드럼을 지지하는 동시에 상기 회전동력부의 동력을 전달하여 상기 회전드럼을 회전시키는 회전축결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분말코팅장지
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제 7 항에 있어서,상기 회전축결합부는 상기 회전동력부와 연결되고 상기 제1도어부를 관통하여 상기 제1도어부의 내측면까지 형성되는 제1회전축부재 및 일단부는 상기 제1회전축부재와 연결되고 타단부는 상기 회전드럼의 타면의 중심부와 결합되는 제2회전축부재를 포함하고, 상기 제1회전축부재는 그 외부에 페로실이 형성되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전드럼은 금속으로 형성되고, 상기 회전유닛을 통해 RF 파워 50W 이상의 바이어스가 인가되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전드럼은 상기 원통구조의 내면에 수직하고 길이방향 전체에 일정 높이로 형성되는 빗살 모양의 바 부재가 1개 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 코팅유닛은 스퍼터링 방식의 코팅 물질소스 및 에너지 공급부와 기상증착(evaporation) 방식 또는 DLC 코팅을 위한 바이어스 인가에 의한 PECVD 방식의 코팅 물질 소스 및 에너지 공급부 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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제 11 항에 있어서,상기 코팅 물질 타겟은 도체 물질, 반도체 물질, 절연체 물질 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 분말코팅장치
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