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마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지로서,플랫폼의 이동 및 틸팅(tilting)을 위한 하나 이상의 Z축 선형 스테이지; 및상기 플랫폼의 이동 및 틸팅을 가이드하도록 구성된 하나 이상의 Z/Tilt 플렉셔(flexures)를 포함하고,상기 Z축 선형 스테이지는: 본체(body); 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 외 이송을 제한하는 Z축 가이드 플렉셔; 및 상기 Z축 선형 스테이지에 구동력을 인가하는 구동부를 포함하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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제 1 항에 있어서,상기 한 쌍의 Z축 가이드 플렉셔는,상기 본체의 상하에 쌍으로 배치되고, 각각의 Z축 가이드 플렉셔가 같은 Z축을 공유하여 틸트(tilt) 자유도를 서로 구속하도록 구성된,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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제 1 항에 있어서,구동력 커플링 플렉셔(force coupling flexures)를 더 포함하고,상기 구동력 커플링 플렉셔는,상기 Z축 선형 스테이지와 상기 플랫폼 사이에 배치되고, 상기 구동력 커플링 플렉셔 자체의 변형을 통해 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 구동력만을 상기 플랫폼으로 전달하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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제 1 항에 있어서,상기 Z/Tilt 플렉셔는,상기 플랫폼의 X-Y 평면 방향으로의 자유도를 구속하고, Z축 방향 이송 및 θx 및 θy 방향 틸팅만을 허용하도록 구성된,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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제 1 항에 있어서,상기 Z축 선형 스테이지는,상기 Z축 선형 스테이지의 위치 및 변위를 계측하는 로컬 센서(local sensor)를 더 포함하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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제 1 항에 있어서,상기 플랫폼의 위치 및 변위를 계측하는 글로벌 센서(global sensor)를 더 포함하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지
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마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템으로서,제어기(controller);플랫폼의 이동 및 틸팅(tilting)을 위한 하나 이상의 Z축 선형 스테이지; 및상기 플랫폼의 이동 및 틸팅을 가이드하도록 구성된 하나 이상의 Z/Tilt 플렉셔(flexures)를 포함하고,상기 Z축 선형 스테이지는: 본체(body), 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 외 이송을 제한하는 Z축 가이드 플렉셔 및 구동부를 포함하고, 상기 구동부는 상기 Z축 선형 스테이지에 구동력을 인가하고, 상기 한 쌍의 Z축 가이드 플렉셔는 상기 Z축 선형 스테이지가 Z축 방향으로만 이송되도록 가이드하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 Z축 가이드 플렉셔는 상기 본체의 상하에 쌍으로 배치되고, 구동력이 인가되는 경우 같은 Z축을 공유하며 스스로 변형됨으로써 상기 Z축 선형 스테이지를 가이드하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템
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제 7 항에 있어서,구동력 커플링 플렉셔(force coupling flexures)를 더 포함하고,상기 구동력 커플링 플렉셔는,상기 구동력 커플링 플렉셔 자체의 변형을 통해 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 구동력만을 상기 플랫폼으로 전달하고,상기 하나 이상의 Z/Tilt 플렉셔는,상기 플랫폼의 X-Y 평면 방향으로의 자유도를 구속하고, Z축 방향 이송 및 θx 및 θy 방향 틸팅 동작만을 허용하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템
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제 7 항에 있어서,상기 Z축 선형 스테이지는 로컬 센서(local sensor)를 더 포함하고,상기 로컬 센서는 상기 Z축 선형 스테이지의 위치 및 변위를 계측하여 상기 제어기에 제공하고,상기 제어기는 상기 로컬 센서로부터 제공된 상기 Z축 선형 스테이지의 위치 및 변위를 이용하여 상기 플랫폼의 위치를 계산함으로써 상기 Z축 선형 스테이지를 제어하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템
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제 7 항에 있어서,글로벌 센서(global sensor)를 더 포함하고,상기 글로벌 센서는 상기 플랫폼의 위치 및 변위를 계측하여 상기 제어기에 제공하고,상기 제어기는 상기 글로벌 센서로부터 제공된 상기 플랫폼의 위치 및 변위를 이용하여 상기 플랫폼의 위치를 직접 제어하는,마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 제어 시스템
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