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그래핀의 품질 평가 방법

  • 기술번호 : KST2022008977
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀의 품질 평가 방법에 관한 것으로, 공초점 레이저 주사 현미경을 이용하여 연속적으로 형성되는 그래핀의 품질을 실시간으로 평가할 수 있는 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL G01N 21/65 (2006.01.01) G01Q 60/12 (2010.01.01) G01N 29/24 (2006.01.01)
CPC G01N 21/65(2013.01) G01Q 60/12(2013.01) G01N 29/2418(2013.01)
출원번호/일자 1020200185690 (2020.12.29)
출원인 서울대학교산학협력단, 그래핀스퀘어 주식회사, 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0094456 (2022.07.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.29)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 그래핀스퀘어 주식회사 대한민국 서울특별시 금천구
3 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍병희 경기도 수원시 장안구
2 김동진 경기도 수원시 영통구
3 우윤성 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 피씨알 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***, **층(삼성동, 송암빌딩Ⅲ)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-1425137-54
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.07.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2021.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2021-5205564-29
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0225045-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0978567-45
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2022.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2022-0162499-65
7 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2022.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2022-0260962-70
8 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2022.04.04 수리 (Accepted) 4-1-2022-5079741-71
9 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2022.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2022-0376398-60
10 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2022.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2022-0508494-53
11 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2022.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2022-0074945-23
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2022-0621324-84
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0621325-29
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번호 청구항
1 1
공초점 레이저 주사 현미경을 이용한 그래핀의 품질 평가 방법으로서,촉매층 상에 형성된 그래핀층에 레이저 광을 조사하는 단계;상기 그래핀층으로부터 반사된 광의 신호를 검출하는 단계;상기 검출된 광 신호를 이용하여 상기 그래핀층의 평면 이미지를 형성하는 단계; 및상기 평면 이미지에서 상기 촉매층과 그래핀의 대조비를 분석하는 단계;를 포함하는 그래핀의 품질 평가 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 그래핀은 화학기상증착법으로 상기 촉매층 상에 형성되는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 촉매층은 Cu, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Mg, Mn, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, Fe, 황동, 청동, 스테인레스 스틸, 및 Ge 중 적어도 하나를 포함하는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 그래핀은 롤투롤 공정으로 상기 촉매층 상에 연속 형성된 것인 그래핀의 품질 평가 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 그래핀의 품질 평가 방법은 상기 그래핀의 연속 형성 중에 실시간으로 수행되는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 레이저 광은 400 nm 이상 550 nm 이하의 파장 값으로 조사되는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 대조비를 분석하는 단계는,상기 평면 이미지의 소정 영역의 그레이 스케일을 분석하여,상기 영역에서의 상기 촉매층과 상기 그래핀의 대조비를 산출하는 것을 포함하는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 그레이 스케일 분석은,상기 영역에서의 그레이 스케일 히스토그램 또는 그레이 스케일 프로파일을 획득하여 분석하는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 공초점 레이저 주사 현미경은 핀홀 없이 작동하는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 촉매층과 상기 그래핀의 대조비가 1
11 11
제 2 항에 있어서,상기 화학기상증착법은 700 ℃ 이상의 온도에서 수행되는 것인 그래핀의 품질 평가 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 그래핀스퀘어주식회사 사업화연계기술개발(R&D) 110x143 mm2급 극자외선 투과율 90 %이상의 이종소재로 구성된 극자외선펠리클 개발