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하기 화학식 1로 표시되는 화학증폭리간드를 포함하는 금속 칼코겐 화합물
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제 1항에 있어서,상기 화학식 1의 R1은 수소, C1-C6알킬 또는 C2-C6알케닐이고, R2는 C1-C6알킬렌 또는 C6-C12아릴렌인 것인, 금속 칼코겐 화합물
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제 1항에 있어서,상기 화학식 1의 M은 In 또는 Sn이고, X는 S 또는 Se인 것인, 금속 칼코겐 화합물
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제 1항에 있어서,상기 화학식 1로 표시되는 화합물은 광 조사에 의해 분해되는 성질을 가지는 것인, 금속 칼코겐 화합물
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제 4항에 있어서,상기 화학식 1은 광 조사에 의한 분해 후, 2차원 금속 칼코겐을 형성하는 것인, 금속 칼코겐 화합물
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제 1항에 따른 상기 화학식 1로 표시되는 금속 칼코겐 화합물 및 용매를 포함하는 포토레지스트 조성물
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제 6항에 있어서,상기 금속 칼코겐 화합물과 상기 용매는 1:10 내지 1:100 중량비로 포함되며, 상기 용매는 (NH4)2S와 물을 1:10 내지 1:20 중량비로 포함하는, 포토레지스트 조성물
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8
(a)제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 포토레지스트 조성물을 기판에 코팅하는 단계;(b)상기 기판의 필요 영역에 선택적으로 광 조사를 하여, 상기 필요 영역에 금속 칼코겐 박막을 형성하는 단계; 및(c)상기 기판에 현상 용액을 도포하고 현상하여, 패턴화된 금속 칼코겐 박막을 형성하는 단계를 포함하는, 패턴의 형성 방법
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제 8항에 있어서,상기 (a)단계의 포토레지스트 조성물을 기판에 코팅하는 방법은 스핀코팅(spin-coating), 바코팅(bar coating), 슬롯 다이(slot-die coating), 그라비아 프린팅(Gravureprinting), 잉크젯 프린팅(ink-jet printing) 및 스크린 프린팅(screen printing)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 공정을 포함하는, 패턴의 형성 방법
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10
제 8항에 있어서,상기 (b)단계를 통해 형성된 금속 칼코겐 박막은 비수용성 금속 칼코겐으로 이루어지는 박막인, 패턴의 형성 방법
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11
제 8항에 있어서,상기 (b)단계의 광의 파장은 400nm~5nm범위를 포함하는, 패턴의 형성 방법
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제 8항에 있어서, 상기 (c)단계의 현상 용액은 (NH4)2S 및 물을 0:100 내지 1:100 중량비로 포함하는, 패턴의 형성 방법
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