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기판상에 패터닝 공정을 수행하고, 상기 기판을 이송하기 위한 기판 고정 장치에 있어서,상기 기판이 안착하도록 상기 기판의 형상에 대응하는 오목한 안착부를 상부에 형성한 트레이; 및상기 트레이 하부를 흡착하여 고정하는 진공척; 을 포함하고,상기 안착부의 상기 기판이 맞닿는 안착면에는, 상기 트레이의 하부까지 관통하여 관통홀이 형성되되, 상기 기판의 공정이 이루어지는 부분을 회피하는 위치에 형성된,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 관통홀은 상기 안착면의 둘레에 소정의 간격을 두고 복수 개로 형성하는,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 기판은 복수 개의 단위형상으로 구성되는,기판 고정 장치
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제4 항에 있어서,상기 관통홀은 상기 안착면에서 상기 단위형상 각각의 둘레와 맞닿는 면에 소정의 간격을 두고 복수 개로 형성하는,기판 고정 장치
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제4 항에 있어서,상기 관통홀은 상기 안착면에서 상기 복수 개의 단위형상 사이와 맞닿는 면에 형성하는,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 기판은 복수 개의 단위형상으로 구성되되, 상기 단위형상에서 상기 안착면과 맞닿은 면은 상기 안착면 방향으로 볼록면을 형성하는, 기판 고정 장치
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제7 항에 있어서,상기 관통홀은 상기 안착면에서 상기 볼록면과 맞닿는 면에 형성하는,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 진공척은 상면에 상기 트레이 하부와 상기 관통홀에 진공을 형성하기 위한 복수 개의 진공홀을 형성한,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 진공척은 상면이 함몰되어 진공챔버를 형성하는,기판 고정 장치
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제1 항에 있어서,상기 진공척은 상면에 오목하게 함몰부를 형성하고, 상기 함몰부는 다공성 소재로 채워진,기판 고정 장치
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진공척과 기판 사이에 위치하며, 상기 기판을 수용하는 트레이로서,상기 기판이 안착되도록 상기 기판의 형상에 대응하는 오목한 형상의 안착부를 포함하고,상기 안착부에는 상기 진공척에 의한 진공상태를 상기 기판으로 전달하여 상기 기판을 고정하기 위한 관통홀이 형성되되, 상기 기판의 공정이 이루어지는 부분을 회피하는 위치에 형성된,트레이
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제12 항에 있어서,상기 진공척에는 공기를 흡입하는 진공홀이 형성되어 있고,상기 관통홀은 상기 트레이의 두께 방향으로 복수 형성되며,상기 관통홀 중 적어도 하나는 상기 진공척의 진공홀에 대응하는 위치에 형성되는, 트레이
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제12 항에 있어서,상기 관통홀은, 상기 안착부에서 상기 기판과 접하는 안착면의 둘레에 소정의 간격으로 복수 개로 형성하는, 트레이
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제12 항에 있어서,상기 관통홀은, 상기 안착부에서 상기 기판과 접하는 안착면에서 상기 기판의 단위형상 사이와 맞닿는 면에 가로세로 배열을 형성하는, 트레이
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