| 1 |
1
상부 챔버;상기 상부 챔버의 상부에 배치되는 용량 결합형 플라즈마 모듈;상기 용량 결합형 플라즈마 모듈의 측면에 배치되는 유도 결합형 플라즈마 모듈;상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나의 상부와 연결되어 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈로 흐르는 전류를 제어하는 전류 조절 모듈; 및 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나의 하부와 연결되어 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈에 인가되는 전압의 크기를 제어하는 전압 조절 모듈;을 포함하는 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 전류 조절 모듈의 일측은 상기 안테나의 상부와 연결되고, 상기 전류 조절 모듈의 타측은 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈에 전원을 공급하는 전원 모듈과 연결되는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 전압 조절 모듈의 일측은 상기 안테나의 하부와 연결되고,상기 전압 조절 모듈의 타측은, 상기 하이브리드 플라즈마 발생 장치의 접지부와 연결되는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 전류 조절 모듈은, 제1가변 커패시터를 포함하고,상기 전압 조절 모듈은, 제2가변 커패시터를 포함하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 제1가변 커패시터와 상기 제2가변 커패시터의 정전용량의 크기를 제어하는 제어 모듈;를 더 포함하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 6 |
6
제5 항에 있어서,상기 제어 모듈은,상기 제1가변 커패시터의 정전용량 크기를 제어하여 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나와 상기 용량 결합형 플라즈마 모듈의 전극에 흐르는 전류의 크기를 제어하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서,상기 제어 모듈은,상기 제2가변 커패시터의 정전용량 크기를 제어하여 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나에 인가되는 전압의 크기를 제어하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 8 |
8
제 5 항에 있어서, 상기 제어 모듈은, 상기 안테나의 입력단과 출력단의 전압이 위상이 서로 반대이고, 전압의 크기가 서로 동일하도록 상기 제2가변 커패시터의 정전용량의 크기를 제어하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치
|
| 9 |
9
용량 결합형 플라즈마 모듈과 유도 결합형 플라즈마 모듈을 포함하는 하이브리드 플라즈마 발생 장치의 제어 방법에 있어서,상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나의 상부와 연결되어 있는 제1가변 커패시터를 이용하여 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈로 흐르는 전류를 제어하는 단계; 및 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈의 안테나의 하부와 연결되어 있는 제2가변 커패시터를 이용하여 상기 유도 결합형 플라즈마 모듈에 인가되는 전압의 크기를 제어하는 단계;를 포함하는 하이브리드 플라즈마 발생 장치의 제어 방법
|
| 10 |
10
제 9 항에 있어서,상기 전압의 크기를 제어하는 단계는,상기 안테나의 입력단과 출력단의 전압이 위상이 서로 반대이고, 전압의 크기가 서로 동일하도록 상기 제2가변 커패시터의 정전용량의 크기를 제어하는 단계를 포함하는, 하이브리드 플라즈마 발생 장치의 제어 방법
|
