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기판;상기 기판 상에 위치하는 아일랜드 형상(isolated shpae)의 금속층;상기 금속층을 덮는 버퍼층;상기 버퍼층 상에 위치하며, 상기 금속층과 중첩하고, 제1채널영역과, 상기 제1채널영역의 일측에 위치한 제1소스영역과, 상기 제1채널영역의 타측에 위치한 제1드레인영역을 포함하는 제1반도체층;상기 제1반도체층의 적어도 일부의 상면과 측면을 덮는 게이트절연층; 및상기 게이트절연층의 상면을 덮고, 상기 게이트절연층의 측면을 덮으며 상기 기판의 상면 방향으로 연장되는, 제1상부 게이트전극;을 구비하는, 디스플레이 장치
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제1항에 있어서,상기 제1반도체층과 중첩하는 금속층과 일체(一體)인 제1하부 게이트전극;을 더 구비하는, 디스플레이 장치
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제2항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극은 상기 제1하부 게이트전극의 상면과 접촉하는, 디스플레이 장치
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제1항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극은, 상기 제1반도체층과 중첩하는 버퍼층의 측면을 덮는, 디스플레이 장치
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제4항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극으로 덮인 버퍼층의 측면과 상기 제1상부 게이트전극으로 덮인 게이트절연층의 측면은 단차를 형성하지 않는, 디스플레이 장치
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제1항에 있어서,상기 제1반도체층의 적어도 일부는 상기 제1채널영역을 포함하는, 디스플레이 장치
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제1항에 있어서,상기 버퍼층 상에 위치하며, 상기 금속층과 중첩하고, 제2채널영역과, 상기 제2채널영역의 일측에 위치한 제2소스영역과, 상기 제2채널영역의 타측에 위치한 제2드레인영역을 포함하는 제2반도체층;을 더 구비하는, 디스플레이 장치
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제7항에 있어서,상기 버퍼층은,상기 제1반도체층과 상기 제2반도체층 중 적어도 하나와 중첩하는 제1버퍼층 및 상기 제1버퍼층을 덮는 제2버퍼층을 포함하는, 디스플레이 장치
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제8항에 있어서,상기 제1버퍼층의 수소 함량은 상기 제2버퍼층의 수소 함량보다 높은, 디스플레이 장치
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제9항에 있어서,상기 제1버퍼층은 실리콘나이트라이드 또는 실리콘옥시나이트라이드를 포함하고,상기 제2버퍼층은 실리콘옥사이드를 포함하는, 디스플레이 장치
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기판 상에 아일랜드 형상(isolated shape)의 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층을 덮는 버퍼층을 형성하는 단계;상기 버퍼층 상에, 상기 금속층과 중첩하고, 제1채널영역과, 상기 제1채널영역의 일측에 위치한 제1소스영역과, 상기 제1채널영역의 타측에 위치한 제1드레인영역을 포함하는 제1반도체층을 형성하는 단계;상기 제1반도체층의 적어도 일부의 상면과 측면을 덮는 게이트절연층을 형성하는 단계; 및상기 게이트절연층의 상면을 덮고, 상기 게이트절연층의 측면을 덮으며 상기 기판의 상면 방향으로 연장되는, 제1상부 게이트전극을 형성하는 단계;를 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
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제11항에 있어서,상기 제1반도체층과 중첩하는 금속층은 제1하부 게이트전극과 일체(一體)인, 디스플레이 장치 제조방법
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제12항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극은 상기 제1하부 게이트전극의 상면과 접촉하는, 디스플레이 장치 제조방법
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제11항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극은, 상기 제1반도체층과 중첩하는 버퍼층의 측면을 덮는, 디스플레이 장치 제조방법
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제14항에 있어서,상기 제1상부 게이트전극으로 덮인 버퍼층의 측면과 상기 제1상부 게이트전극으로 덮인 게이트절연층의 측면은 단차를 형성하지 않는, 디스플레이 장치 제조방법
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제11항에 있어서,상기 제1반도체층의 적어도 일부는 상기 제1채널영역을 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
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제11항에 있어서,상기 버퍼층 상에, 제2채널영역과, 상기 제2채널영역의 일측에 위치한 제2소스영역과, 상기 제2채널영역의 타측에 위치한 제2드레인영역을 포함하는 제2반도체층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
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제17항에 있어서,상기 버퍼층은,상기 제1반도체층과 상기 제2반도체층 중 적어도 하나와 중첩하는 제1버퍼층 및 상기 제1버퍼층을 덮는 제2버퍼층을 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
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제18항에 있어서,상기 제1버퍼층의 수소 함량은 상기 제2버퍼층의 수소 함량보다 높은, 디스플레이 장치 제조방법
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제19항에 있어서,상기 제1버퍼층은 실리콘나이트라이드 또는 실리콘옥시나이트라이드를 포함하고,상기 제2버퍼층은 실리콘옥사이드를 포함하는, 디스플레이 장치 제조방법
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