요약 | 본 발명은 2차원 물질 구조체의 나노포어 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 2차원 물질을 이용한 다양한 구조(단일 구조, 이종접합 구조, 멀티접합 구조 등) 상에 나노포어를 형성함으로써 다층 이차원 물질이 갖는 간접 밴드갭을 직접 밴드갭 구조로 갖도록 하는 방법에 관한 것이다. |
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Int. CL | H01L 21/02 (2006.01.01) H01J 37/317 (2006.01.01) |
CPC | H01L 21/0259(2013.01) H01L 21/02521(2013.01) H01L 21/02664(2013.01) H01J 37/3174(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020200169018 (2020.12.04) |
출원인 | 재단법인대구경북과학기술원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2022-0079340 (2022.06.13) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 국내출원/신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2021.11.19) |
심사청구항수 | 6 |