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50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트

  • 기술번호 : KST2022012253
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트는 검사 대상물인 디스플레이 패널과 상하 높이 방향으로 서로 마주보게 설치되되 검사 대상물인 디스플레이 패널 내에 가해진 전기 신호에 따라 내부 액정 배열이 달라지는 모듈레이터(Modulator)와, 상기 모듈레이터의 내부 액정을 통해 투과된 빛에 대한 촬영 영상을 획득하고 상기 촬영 영상을 영상 처리 후 분석하여 검사 대상물인 디스플레이 패널 상에 존재하는 불량을 검출하는 패널 불량 검사 장치, 및 상기 모듈레이터와 상기 패널 불량 검사 장치 사이에 설치되되 상기 모듈레이터가 고정 설치되고 상기 모듈레이터와 디스플레이 패널 사이의 높이 간격을 일정하게 유지하는 모듈레이터 마운트에 있어서, 상기 모듈레이터 마운트는 공기 압을 이용하여 상기 모듈레이터를 디스플레이 패널로부터 부상시키는 모듈레이터 부상 장치와; 상기 모듈레이터와 디스플레이 패널 사이의 높이 간극을 실시간으로 측정하는 간극 측정 장치; 및 상기 간극 측정 장치를 통해 모듈레이터와 디스플레이 패널 사이의 높이 간극을 실시간으로 측정하면서 상기 모듈레이터 부상 장치를 통해 공기 압을 조정하여 상기 모듈레이터와 디스플레이 패널 사이의 높이 간격이 45um 내지 50um가 되도록 제어하는 제어 장치를 포함한다.
Int. CL G01N 21/956 (2006.01.01) G01N 21/958 (2006.01.01) G01N 21/95 (2006.01.01) G06T 7/00 (2017.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC G01N 21/956(2013.01) G01N 21/958(2013.01) G01N 21/9501(2013.01) G06T 7/0004(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) H01L 22/10(2013.01)
출원번호/일자 1020200179459 (2020.12.21)
출원인 금오공과대학교 산학협력단, (주) 에스엘테크
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0089124 (2022.06.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시
2 (주) 에스엘테크 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정영관 부산광역시 해운대구
2 이재석 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원섭 대한민국 대전광역시 서구 대덕대로 ***, 우림필유****호 이원섭국제특허법률사무소 (월평동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-1386679-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2021.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2021-5015671-50
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번호 청구항
1 1
검사 대상물인 디스플레이 패널(DP)과 상하 높이 방향으로 서로 마주보게 설치되되 검사 대상물인 디스플레이 패널(DP) 내에 가해진 전기 신호에 따라 내부 액정 배열이 달라지는 모듈레이터(M)(Modulator)와, 상기 모듈레이터(M)의 내부 액정을 통해 투과된 빛에 대한 촬영 영상을 획득하고 상기 촬영 영상을 영상 처리 후 분석하여 검사 대상물인 디스플레이 패널(DP) 상에 존재하는 불량을 검출하는 패널 불량 검사 장치(PT), 및 상기 모듈레이터(M)와 상기 패널 불량 검사 장치(PT) 사이에 설치되되 상기 모듈레이터(M)가 고정 설치되고 상기 모듈레이터(M)와 디스플레이 패널(DP) 사이의 높이 간격을 일정하게 유지하는 모듈레이터 마운트(MM)에 있어서,상기 모듈레이터 마운트(MM)는 공기 압을 이용하여 상기 모듈레이터(M)를 디스플레이 패널(DP)로부터 부상시키는 모듈레이터 부상 장치(1)와;상기 모듈레이터(M)와 디스플레이 패널(DP) 사이의 높이 간극을 실시간으로 측정하는 간극 측정 장치(2);및 상기 간극 측정 장치(2)를 통해 모듈레이터(M)와 디스플레이 패널(DP) 사이의 높이 간극을 실시간으로 측정하면서 상기 모듈레이터 부상 장치(1)를 통해 공기 압을 조정하여 상기 모듈레이터(M)와 디스플레이 패널(DP) 사이의 높이 간격이 45um 내지 50um가 되도록 제어하는 제어 장치를 포함하는 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트(MM)
2 2
제1 항에 있어서,상기 모듈레이터 마운트(MM)는 상기 패널 불량 검사 장치(PT)에 고정 설치되되 윗면 중앙에 고정바디측 관통홀(41)이 가공된 고정 바디(4)와,상기 고정 바디(4)의 하부에 상기 고정 바디(4)와 일체로 결합되되 밑면 중앙에 프리 바디측 관통홀(51)이 관통된 프리 바디(5)를 포함하는 것을 특징으로 하는 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트(MM)
3 3
제2 항에 있어서,상기 고정 바디(4) 내부에는 상기 고정 바디(4) 내부에 모듈레이터(M)를 고정 결합시키는 모듈레이터 고정 수단(42)이 장착되는 것을 특징으로 하는 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트(MM)
4 4
제2 항에 있어서,상기 고정 바디(4)의 측부에는 고정 바디(4)에 결합된 모듈레이터(M) 부분의 간극을 유지하기 위한 모듈레이터 간극 유지부(45)가 부가 장착되는 것을 특징으로 하는 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트(MM)
5 5
제1 항에 있어서,상기 모듈레이터 부상 장치(1)는 공기 유량 조정을 통해 공압을 조정하여 모듈레이터(M)와 검사 대상체인 디스플레이 패널(DP) 사이의 간극을 조정하는 공압 조정 수단(11)을 포함하는 것을 특징으로 하는 50um 에어 부상이 가능한 하이갭 모듈레이터 마운트(MM)
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 금오공과대학교산학협력단 산학연협력기술개발(R＆D) 50㎛ High Gap Modulator Mount 개발에 따른 기구설계 및 공압기술 지원