맞춤기술찾기

이전대상기술

마스크 검사 장치

  • 기술번호 : KST2022012264
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크가 일방향을 따라 복수열로 이송될 수 있도록 적어도 2개의 구동 롤러에 의해 회전되는 이송 벨트를 갖는 이송 장치, 상기 이송 장치의 진행 방향 도중에 배치되고, 상기 마스크의 일면에 대하여 촬영 정보를 취득하기 위하여 상기 마스크의 열개수에 대응되는 개수로 배치되는 촬상 장치 및 상기 촬상 장치의 하류 측에 배치되고, 상기 마스크 중 불량 마스크를 선택적으로 흡착하기 위한 흡착 장치를 포함하는, 마스크 검사 장치를 제공한다.
Int. CL G01N 21/89 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) B07C 5/342 (2006.01.01) B07C 5/36 (2006.01.01) B07C 5/38 (2006.01.01)
CPC G01N 21/89(2013.01) G01N 21/8851(2013.01) B07C 5/342(2013.01) B07C 5/362(2013.01) B07C 5/38(2013.01)
출원번호/일자 1020210093012 (2021.07.15)
출원인 주식회사 엘텍, 금오공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2345565-0000 (2021.12.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20211231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.07.15)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘텍 대한민국 경상북도 구미시
2 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이명서 경상북도 구미시
2 이헌철 경상북도 구미시
3 이효진 경상북도 구미시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 프렌즈 대한민국 서울특별시 금천구 서부샛길***, B동****호(가산동, 대성디폴리스지식산업센터)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘텍 경상북도 구미시
2 금오공과대학교 산학협력단 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-0818897-42
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
2021.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-0819354-41
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2021-0823797-03
4 보정요구서
Request for Amendment
2021.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2021-0119908-09
5 [출원서 등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2021.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-0865786-74
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.08.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0173049-71
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0742916-64
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.11.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-1316244-42
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-1316245-98
11 등록결정서
Decision to grant
2021.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1009938-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마스크가 일방향을 따라 복수열로 이송될 수 있도록 적어도 2개의 구동 롤러에 의해 회전되는 이송 벨트를 갖는 이송 장치;상기 이송 장치의 진행 방향 도중에 배치되고, 상기 마스크의 일면에 대하여 촬영 정보를 취득하기 위하여 상기 마스크의 열개수에 대응되는 개수로 배치되는 촬상 장치; 및상기 촬상 장치의 하류 측에 배치되고, 상기 마스크 1개당 마스크의 길이 방향을 따라 2점 지지하여 흡착하기 위한 2개의 흡착구를 구비하고, 상기 흡착구를 이용하여 상기 마스크 중 불량 마스크를 선택적으로 흡착하기 위한 흡착 장치를 포함하고,상기 흡착 장치는 상기 마스크의 길이 방향으로 연장 형성되되, 상기 이송 장치의 폭 방향을 따라 복수로 형성되는 지그 부재를 포함하고, 상기 흡착구는 상기 지그 부재의 길이 방향을 따라 형성되고,상기 복수의 지그 부재 중 상기 이송 장치의 폭 방향을 따라 최외측의 양측에 배치되는 한 쌍의 외측 지그 부재를 연결하여 왕복운동되는 구동 실린더가 구비되고,상기 외측 지그 부재의 내측에 배치되는 복수의 내측 지그 부재는 각각의 폭 방향을 따라 인접하는 지그 부재를 연결하는 안내 부재가 결합되어, 상기 지그 부재의 폭 방향을 따른 선형 이동은 상기 각각의 안내 부재에 의해 안내되는, 마스크 검사 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 이송 장치의 폭 방향을 따라 슬라이딩되는 슬라이더를 포함하고,상기 흡착 장치는 상기 슬라이더에 의해 상기 이송 장치 상측 및 상기 이송 장치의 폭 방향을 따른 외측을 따라 왕복운동되는, 마스크 검사 장치
4 4
삭제
5 5
제3항에 있어서,상기 흡착 장치의 각각의 흡착구는 진공흡입기와 연통되고, 상기 복수의 흡착구 중 불량 마스크가 위치하는 흡착구에 진공흡입이 수행되는, 마스크 검사 장치
6 6
삭제
7 7
제5항에 있어서,불량으로 선별된 마스크가 수용될 수 있도록 공간을 갖는 수용 부재가 상기 이송 장치의 폭 방향 주변에 근접하도록 배치되고, 상기 흡착구에서 낙하되는 불량 마스크는 상기 수용 부재에 포집되는, 마스크 검사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 금오공과대학교산학협력단 산학협력거점형플랫폼사업(R&D) 마스크 In-Line 생산장비의 제품 불량검사용 Multi Vision 시스템개발