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실온 측정이 가능한 수소 가스 센서의 제조 방법에 있어서,수열합성법을 이용하여 금속 산화물 나노구조체를 형성하는 단계;상기 금속 산화물 나노구조체의 표면을 금속 나노파티클로 기능화하는 단계; 및상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체를 전극이 형성된 기판에 분산시키는 단계를 포함하는 수소 가스 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물 나노구조체를 형성하는 단계는,상기 수열합성법을 200 ℃ 이내 범위의 온도에서 적용하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물 나노구조체를 형성하는 단계는,상기 금속 산화물 나노구조체에 첨가되는 알칼리 용액의 농도를 조절하여 상기 금속 산화물 나노구조체의 비표면 특성을 제어하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화하는 단계는,마이크로파 조사를 통해 50 ℃ 내지 200 ℃ 범위의 온도에서 상기 금속 산화물 나노구조체의 표면을 기능화하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
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수소 가스 센서에 있어서,기판;상기 기판에 형성된 전극; 및상기 전극이 형성된 기판에 분산된 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체를 포함하며,상기 금속 산화물 나노구조체는 수열합성법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제5항에 있어서,상기 금속 산화물 나노구조체는 상기 수열합성법을 50 ℃ 내지 200 ℃ 범위의 온도에서 적용하여 형성된 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제5항에 있어서,상기 금속 산화물 나노구조체의 비표면 특성은 상기 금속 산화물 나노구조체에 첨가되는 알칼리 용액의 농도를 조절하여 제어되는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제5항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체는 마이크로파 조사를 통해 50 ℃ 내지 200 ℃ 범위의 온도에서 상기 금속 산화물 나노구조체의 표면이 금속 나노파티클로 기능화된 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제6항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체는 2 분 이내의 마이크로파 조사 시간으로 기능화된 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제6항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체는 300 W 내지 750 W 범위의 마이크로파 세기를 적용하여 기능화된 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제6항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체는 실온에서 10 ppb의 한계 농도로 수소 가스를 검출하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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제6항에 있어서,상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체는 200 초 이내의 반응 시간과 200 초 이내의 회복 시간에서 선택성을 갖고 동작하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
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전원;상기 전원에 연결되며 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체를 포함하고 상기 금속 나노파티클로 기능화한 금속 산화물 나노구조체와 수소 가스가 반응하여 전기 신호를 출력하는 가스 센서; 및상기 가스 센서로부터 출력된 전기 신호의 세기를 측정하여 수소 가스 감지 여부를 출력하는 제어부를 포함하며,상기 금속 산화물 나노구조체는 수열합성법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 감지 장치
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