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반도체 메모리 소자 및 이를 포함한 장치

  • 기술번호 : KST2022015468
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 메모리 소자 및 이를 포함하는 장치를 제공한다. 본 반도체 메모리 소자는, 반도체 기판 상에서 제 1방향으로 연장되는 워드 라인들, 워드 라인들을 가로질러 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 비트 라인 구조체들, 워드 라인들 사이 및 비트 라인 구조체들 사이에 배치되는 콘택 패드 구조체들 및 비트 라인 구조체들과 상기 콘택 패드 구조체들 사이에 배치되며 질화 붕소막을 포함하는 스페이서들을 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/02 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) C30B 29/40 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01)
CPC H01L 21/02271(2013.01) C23C 16/342(2013.01) C23C 16/0227(2013.01) H01L 21/28525(2013.01) H01L 21/02274(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 2924/10325(2013.01) C30B 29/403(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020200054106 (2020.05.06)
출원인 삼성전자주식회사, 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0052163 (2021.05.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020190135755   |   2019.10.29
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신현진 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 이민현 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 이창석 대한민국 서울특별시 중구
4 변경은 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 신현석 울산광역시 울주군
6 홍석모 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-0459564-43
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 기판 상에서 제 1방향으로 연장되는 워드 라인들;상기 워드 라인들을 가로질러 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 비트 라인 구조체들;상기 워드 라인들 사이 및 상기 비트 라인 구조체들 사이에 배치되는 콘택 패드 구조체들; 및 상기 비트 라인 구조체들과 상기 콘택 패드 구조체들 사이에 배치되며, 질화 붕소막을 포함하는 스페이서들;을 포함하는 반도체 메모리 소자
2 2
제 1항에 있어서,상기 스페이서들은 상기 비트 라인 구조체들의 일 측벽을 따라 상기 제2 방향으로 연장되는 반도체 메모리 소자
3 3
제 1항에 있어서,상기 스페이서들은 상기 콘택 패드 구조체들의 적어도 일부를 감싸는 반도체 메모리 소자
4 4
제 3항에 있어서,상기 스페이서들은 상기 콘택 패드 구조체들의 적어도 일부와 직접 접하는 반도체 메모리 소자
5 5
제 1항에 있어서,상기 비트 라인 구조체들은, 상기 기판상에 순차적으로 적층된 폴리실리콘 패턴, 배리어/라이너 패턴, 금속 패턴, 및 하드 마스크 패턴을 포함하고, 상기 스페이서는, 상기 제1 방향을 기준으로 상기 폴리실리콘 패턴, 상기 배리어/라이너 패턴, 상기 금속 패턴과 중첩되는 반도체 메모리 소자
6 6
제 5항에 있어서,상기 스페이서는,상기 폴리실리콘 패턴, 상기 배리어/라이너 패턴, 상기 금속 패턴 중 적어도 하나의 직접 접하는 반도체 메모리 소자
7 7
제 5항에 있어서,상기 스페이서는, 상기 제1 방향을 기준으로 상기 하드 마스크 패턴의 적어도 일부와도 중첩되는 반도체 메모리 소자
8 8
제 1항에 있어서,상기 질화 붕소막은, 100kHz 동작 주파수에서 2
9 9
제 1항에 있어서,상기 질화 붕소막은, 비정질 및 나노 결정 중 적어도 하나를 포함하는 반도체 메모리 소자
10 10
제 1항에 있어서,상기 질화 붕소막은, 비다공성인 반도체 메모리 소자
11 11
제 1항에 있어서,상기 비트 라인 구조체들은, 상기 기판상에 순차적으로 적층된 폴리실리콘 패턴, 배리어/라이너 패턴, 금속 패턴, 및 하드 마스크 패턴을 포함하고, 상기 금속 패턴과 상기 하드 마스크 패턴 사이에 배치되는 캡핑층들;을 더 포함하는 반도체 메모리 소자
12 12
제 11항에 있어서,상기 캡핑층들은 질화 붕소막을 포함하는 반도체 메모리 소자
13 13
제 12항에 있어서,상기 캡핑층에 포함된 상기 질화 붕소막은상기 스페이서에 포함된 상기 질화 붕소막과 물성이 동일한 반도체 메모리 소자
14 14
제 11항에 있어서,상기 캡핑층들의 단부는, 상기 스페이서들에 접하는 반도체 메모리 소자
15 15
제 1항에 있어서,상기 워드 라인들상에 배치되는 게이트 하드 마스크 패턴; 상기 게이트 하드 마스크 패턴상에 배치되는 층간 절연막; 및 상기 층간 절연층 상에 배치되는 절연 패턴;을 더 포함하고, 상기 층간 절연막 및 상기 절연 패턴 중 적어도 하나는 질화 붕소막을 포함하는 반도체 메모리 소자
16 16
제 15항에 있어서,상기 층간 절연막 및 상기 절연 패턴 중 적어도 하나에 포함된 질화 붕소막은, 상기 스페이서에 포함된 질화 붕소막과 물성이 동일한 반도체 메모리 소자
17 17
제 15항에 있어서,상기 절연 패턴이 상기 질화 붕소막을 포함할 때, 상기 절연 패턴과 상기 스페이서는 일체화된 반도체 메모리 소자
18 18
제 15항에 있어서,상기 층간 절연막은 상기 스페이서와 접하는 반도체 메모리 소자
19 19
제 1항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 따른 반도체 메모리 소자를 포함하는 메모리;상기 메모리에 데이터를 저장하거나 독출하는 제어기;를 포함하는 장치
20 20
제 19항에 있어서,상기 장치는,컴퓨터, 휴대용 전자 장치, 디스플레이, 메모리 시스템 중 적어도 하나인 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP03817031 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP03817051 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 KR1020210052162 KR 대한민국 FAMILY
4 KR1020210052172 KR 대한민국 FAMILY
5 US20210123161 US 미국 FAMILY
6 US20210125929 US 미국 FAMILY
7 US20210125930 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR20210052162 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
2 KR20210052172 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.