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흑린-이차원 물질 복합체 및 그 제조방법
- 기술번호 : KST2022015719
- 담당센터 : 부산기술혁신센터
- 전화번호 : 051-606-6561
| 요약 | 흑린-이차원 물질 복합체 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 흑린-이차원 물질 복합체는, 각각 이차원 결정 구조를 가지며, 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되도록 구성된 제1 및 제2 이차원 물질층; 및 상기 제1 및 제2 이차원 물질층 사이에 마련되며 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트;를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/02 (2006.01.01) C01B 25/00 (2006.01.01) C01B 25/02 (2006.01.01) C01B 32/194 (2017.01.01) C01B 21/064 (2006.01.01) H01L 29/26 (2006.01.01) |
| CPC | H01L 21/02521(2013.01) C01B 25/00(2013.01) C01B 25/02(2013.01) C01B 32/194(2013.01) C01B 21/0648(2013.01) H01L 21/02587(2013.01) H01L 21/02612(2013.01) H01L 29/26(2013.01) C01P 2004/24(2013.01) C01P 2002/22(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020200154545 (2020.11.18) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사, 울산과학기술원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2022-0067845 (2022.05.25) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 국내출원/신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 45 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 울산과학기술원 | 대한민국 | 울산광역시 울주군 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 설민수 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 신현석 | 울산광역시 울주군 | |
| 3 | 신현진 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
| 4 | 황현태 | 울산광역시 울주군 | |
| 5 | 이창석 | 대한민국 | 경기도 과천시 관문로 ***, |
| 6 | 윤성인 | 울산광역시 울주군 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 최종권리자 정보가 없습니다 | |||
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2020.11.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-1237391-24 |
| 2 | [출원서 등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2020.11.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-1242035-14 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 각각 이차원 결정 구조를 가지며, 반데르발스 힘(van der Waals force)에 의해 서로 결합되도록 구성된 제1 및 제2 이차원 물질층; 및상기 제1 및 제2 이차원 물질층 사이에 마련되며 복수개의 인(phosphorus) 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트(black phosphorus sheet);를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 상기 흑린 시트와 다른 이종의 물질을 포함하는 흑린- 이차원 물질 복합체 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 서로 동일한 물질 또는 서로 다른 물질을 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 4 |
4 제 2 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각은 그래핀(graphene), h-BN(hexagonal-boron nitride), 또는 TMD(transtion metal dichalcogenide)를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각은 10nm 이하의 두께를 가지는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 흑린 시트는 10nm 이하의 두께를 가지는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 흑린 시트는 1층 ~ 50층을 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각은 상기 흑린 시트와 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되도록 구성된 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 9 |
9 제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각과 상기 흑린 시트 사이의 간격은 0 |
| 10 |
10 기판;이차원 결정 구조를 가지며, 상기 기판과 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되도록 구성된 이차원 물질층; 및상기 기판과 상기 이차원 물질층 사이에 마련되며 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트;를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 11 |
11 제 10 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 상기 흑린 시트와 다른 이종의 물질을 포함하는 흑린- 이차원 물질 복합체 |
| 12 |
12 제 11 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 그래핀, h-BN, 또는 TMD를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 13 |
13 제 10 항에 있어서,상기 흑린 시트는 10nm 이하의 두께를 가지는 흑린-이차원 물질 복합체 |
| 14 |
14 제 10 항에 있어서,상기 이차원 물질층과 상기 흑린 시트 사이의 간격은 0 |
| 15 |
15 기판에 이차원 결정 구조를 가지는 제1 이차원 물질층을 형성하는 단계;상기 제1 이차원 물질층에 흑린 전구체막(black phosphorus precursor film)을 형성하는 단계; 상기 제1 이차원 물질층에 상기 흑린 전구체막을 덮도록 이차원 결정 구조를 가지는 제2 이차원 물질층을 형성하는 단계; 및상기 흑린 전구체막에 열과 압력을 가하여 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트를 형성하는 단계;를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 16 |
16 제 15 항에 있어서,상기 흑린 전구체막 주위의 상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되어 있는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 17 |
17 제 15 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 상기 흑린 시트와 다른 이종의 물질을 포함하는 흑린- 이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 18 |
18 제 15 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 서로 동일한 물질 또는 서로 다른 물질을 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 19 |
19 제 15 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각은 그래핀, h-BN, 또는 TMD를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 20 |
20 제 15 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각은 10nm 이하의 두께를 가지는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 21 |
21 제 15 항에 있어서,상기 흑린 전구체막은 백린(white phosphorus), 적린(red phosphorus), PI3(phosphorus triiodide) 또는 PCl3(phosphorus trichloride)를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 22 |
22 제 15 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 압력은 400Mpa 이하인 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 23 |
23 제 15 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 온도는 700℃ 이하인 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 24 |
24 제 15 항에 있어서,상기 흑린 시트는 10nm 이하의 두께를 가지는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 25 |
25 제 15 항에 있어서,상기 제1 및 제2 이차원 물질층 각각과 상기 흑린 시트 사이의 간격은 0 |
| 26 |
26 제1 및 제2 이차원 물질층 사이에 흑린 전구체막을 마련하는 단계; 및상기 흑린 전구체막에 열과 압력을 가하여 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트를 형성하는 단계;를 포함하는 흑린 시트의 제조방법 |
| 27 |
27 제 26 항에 있어서,상기 흑린 전구체막 주위의 상기 제1 및 제2 이차원 물질층은 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되어 있는 흑린 시트의 제조방법 |
| 28 |
28 제 26 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 압력은 400Mpa 이하이고, 상기 흑린 전구체막에 가해지는 온도는 700℃ 이하인 흑린 시트의 제조방법 |
| 29 |
29 기판에 흑린 전구체막을 형성하는 단계; 상기 기판에 상기 흑린 전구체막을 덮도록 이차원 결정 구조를 가지는 이차원 물질층을 형성하는 단계; 및상기 흑린 전구체막에 열과 압력을 가하여 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트를 형성하는 단계;를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 30 |
30 제 29 항에 있어서,상기 흑린 전구체막은 백린, 적린, PI3 또는 PCl3를 포함하는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 31 |
31 제 29 항에 있어서,상기 흑린 전구체막 주위의 상기 기판과 상기 이차원 물질층은 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되어 있는 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 32 |
32 제 29 항에 있어서,상기 이차원 물질층은 상기 흑린 시트와 다른 이종의 물질을 포함하는 흑린- 이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 33 |
33 제 29 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 압력은 400Mpa 이하인 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 34 |
34 제 29 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 온도는 700℃ 이하인 흑린-이차원 물질 복합체의 제조방법 |
| 35 |
35 기판과 이차원 물질층 사이에 흑린 전구체막을 마련하는 단계; 및상기 흑린 전구체막에 열과 압력을 가하여 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트를 형성하는 단계;를 포함하는 흑린 시트의 제조방법 |
| 36 |
36 제 35 항에 있어서,상기 흑린 전구체막 주위의 상기 기판과 상기 이차원 물질층은 반데르발스 힘에 의해 서로 결합되어 있는 흑린 시트의 제조방법 |
| 37 |
37 제 35 항에 있어서,상기 흑린 전구체막에 가해지는 압력은 400Mpa 이하이고, 상기 흑린 전구체막에 가해지는 온도는 700℃ 이하인 흑린 시트의 제조방법 |
| 38 |
38 복수개의 인 원자들이 공유 결합된 이차원 결정 구조를 가지는 흑린 시트;상기 흑린 시트의 상면에 마련되며 이차원 결정 구조를 가지는 제1 이차원 물질층; 상기 흑린 시트의 양측에 각각 마련되는 제1 및 제2 전극; 및상기 제1 이차원 물질층의 상부에 마련되는 제3 전극;을 포함하는 전자 소자 |
| 39 |
39 제 38 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 상기 흑린 시트의 양단부와 각각 에지 컨택(edge contact)을 형성하도록 마련된 전자 소자 |
| 40 |
40 제 38 항에 있어서,상기 제1 이차원 물질층은 h-BN을 포함하는 전자 소자 |
| 41 |
41 제 38 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 상기 제1 이차원 물질층의 양측과 각각 평면 컨택(planar contact)를 형성하도록 마련된 전자 소자 |
| 42 |
42 제 41 항에 있어서,상기 제1 이차원 물질층은 h-BN을 포함하는 전자 소자 |
| 43 |
43 제 41 항에 있어서,상기 제1 이차원 물질층은 상기 제1 및 제2 전극과 평면 컨택을 형성하는 그래핀과, 상기 제1 및 제2 전극 사이에 마련되는 플루오린화 그래핀(fluorinated graphene)을 포함하는 전자 소자 |
| 44 |
44 제 38 항에 있어서,상기 전자 소자는 상기 흑린 시트의 상면에 마련되며 이차원 결정 구조를 가지는 제2 이차원 물질층을 더 포함하는 전자 소자 |
| 45 |
45 제 44 항에 있어서,상기 제2 이차원 물질층은 상기 제1 이차원 물질층과 동일한 물질 또는 다른 물질을 포함하는 전자 소자 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US20220157947 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 | ||||
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2020.11.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-1237391-24 |
| 2 | [출원서 등 보정]보정서 | 2020.11.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-1242035-14 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345329517 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10Z20130011057 |
| 연구과제명 | META-신소재 기반 융·복합형 에너지 변환 및 저장 기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육부 |
| 연구관리전문기관명 | 울산과학기술원 |
| 연구주관기관명 | 한국연구재단 |
| 성과제출연도 | 2020 |
| 연구기간 | 201309~202008 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | ST(우주항공기술) |
특허성과
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