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유체 박막을 지지하는 하부 전극;상기 하부 전극 상부에 위치하고, 상기 하부 전극으로부터 제1 간격만큼 이격되며, 마스터 패턴이 형성된 상부 전극; 및상기 하부 전극과 상기 상부 전극 사이에 펄스형 직류 고전압을 인가하여 전기장을 형성하는 전원장치를 포함하는, 미세 패턴 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 전극을 고정하는 패턴 스테이지;상기 하부 전극을 고정하는 표본 스테이지;상기 스탬프 스테이지와 상기 표본 스테이지 각각에 연결되고, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극을 고정시키는 진공 펌프; 및상기 표본 스테이지에 부착되고, 상기 제1 간격을 제어하는 Z축 매뉴얼 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 미세 패턴 형성 장치
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3
제1항에 있어서,상기 고전압은 펄스형 직류 고전압인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성 장치
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제3항에 있어서,상기 펄스형 직류 고전압은 100 Hz 이하인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 펄스형 직류 고전압은 0
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제5항에 있어서,상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 흐르는 전류는 1 내지 10 ㎂ 인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성 장치
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7
제5항에 있어서,상기 제1 간격은 1 내지 10 ㎛ 인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성 장치
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유체 박막이 형성된 하부 전극 상부에 마스터 패턴이 형성된 상부 전극을 제1 간격만큼 이격되도록 배치하는 제1 단계; 및 상기 상부 전극과 하부 전극 사이에 펄스형 직류 고전압을 인가하여 전기장을 형성하는 제2 단계를 포함하는,미세 패턴 형성방법
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제8항에 있어서,상기 펄스형 직류 고전압은 펄스형 직류 고전압인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성방법
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10
제8항에 있어서,상기 펄스형 직류 고전압은 100 Hz 이하인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성방법
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11
제8항에 있어서,상기 펄스형 직류 고전압은 0
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12
제11항에 있어서,상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 흐르는 전류는 1 내지 10 ㎂ 인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성방법
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13
제11항에 있어서,상기 제1 간격은 1 내지 10 ㎛ 인 것을 특징으로 하는,미세 패턴 형성방법
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