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원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법에 있어서,(a) 상기 인공 관절을 챔버 내부에 위치시키는 단계와,(b) 세라믹 소재가 함유된 제1 전구체를 상기 챔버 내부로 퍼징하는 단계와,(c) 수분이 함유된 제2 전구체를 상기 챔버 내부로 퍼징하는 단계를 포함하며;상기 원자층 증착 기법에 따라 상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계가 기 설정된 공정 횟수만큼 반복 수행되어 상기 인공 관절의 표면에 상기 세라믹 소재의 박막이 형성되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제1항에 있어서,(d) 상기 (b) 단계의 수행 후 상기 (c) 단계의 수행 전, 상기 (c) 단계의 수행 후 상기 (b) 단계의 수행 전에, 상기 챔버 내부로 비활성 기체를 퍼징하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제2항에 있어서,상기 세라믹 소재는 산화 아연을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제3항에 있어서,상기 제1 전구체는 DEZn((C2H5)2Zn)인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제4항에 있어서,상기 제2 전구체는 증류수인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제4항에 있어서,상기 비활성 기체는 질소 또는 아르곤을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제4항에 있어서,상기 (d) 단계의 수행 시간은 상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계의 수행 시간은 길게 수행되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제7항에 있어서,상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계의 수행 시간은 0
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제4항에 있어서,상기 (a) 단계의 수행 후 상기 챔버 내부의 온도를 기 설정된 예열 온도로 예열하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제9항에 있어서,상기 예열 온도는 100℃ 내지 110℃의 범위 내에서 선택되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제4항에 있어서,상기 (a) 단계의 수행 전에 상기 인공 관절을 표면 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제11항에 있어서,상기 인공 관절을 표면 처리하는 단계는상기 인공 관절의 표면을 폴리싱(Polishing)하는 단계와;폴리싱(Polishing)한 상기 인공 관절을 세척하는 단계와;상기 인공 관절의 표면을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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제1항에 있어서,상기 인공 관절은 베어링 요소인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 기법에 기반한 폴리머 계열의 인공 관절에 박막을 형성하는 방법
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