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케이스;상기 케이스에 내장되어, 유무선 통신을 통해 RF 설비에 전기적으로 연결되거나 분리되며, 전기적으로 연결된 상기 RF 설비에서 기준 데이터와 테스트 데이터를 수집하는 수집 모듈;상기 케이스에 내장되어 상기 수집 모듈로부터 수집된 상기 기준 데이터를 기설정된 기준 프로그램 알고리즘에 적용하고, 이에 대한 결과 값을 상기 테스트와 데이터 비교 분석하여 상기 RF 설비의 상태를 판단하는 프로세서; 및상기 프로세서로부터 상기 RF 설비의 상태를 제공받아 디스플레이하는 디스플레이 모듈;을 포함하는 휴대용 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 프로세서는,상기 RF 설비를 상태를 판단한 진단 결과 값이 기설정된 기준보다 크면, 정상 상태로 판단하고, 작으면 비정상 상태로 판단하는 휴대용 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 기준 데이터 또는 상기 테스트 데이터는,적어도 하나 이상의 파라미터 항목들을 포함하고,상기 적어도 하나 이상의 파라미터 항목들은,Forward Power, Reverse Power, Dissipate Power, PA Voltage, PA Current 등 RF 설비의 입/출력 Power와 유량, 온도의 Raw Data 인 휴대용 진단 장치
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제3 항에 있어서,상기 프로세서는,수집된 상기 기준 데이터와 상기 테스트 데이터를 비교하여, 설정된 오차범위에 포함되면 상기 파라미터 항목에서 제거하는 휴대용 진단 장치
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제3 항에 있어서,상기 RF 설비는,복수의 RF 제너레이터와 적어도 하나의 RF 플라즈마 챔버를 포함하고,상기 복수의 RF 제너레이터와 상기 적어도 하나의 RF 플라즈마 챔버 각각은, 서로 다른 기준 데이터로 설정되는 휴대용 진단 장치
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휴대용 진단 장치를 구동하는 구동 방법에 있어서,휴대용 진단 장치를 현장에 배치되는 적어도 하나의 RF 설비에 전기적으로 연결하여, 상기 적어도 하나의 RF 설비로부터 기준 데이터 또는 테스트 데이터를 수집하는 단계;수집된 상기 기준 데이터 또는 테스트 데이터를 전처리하되, 상기 기준 데이터를 기설정된 기준 프로그램 알고리즘에 적용하는 단계;상기 기준 프로그램 알고리즘에 적용하여 생성된 결과 값을 상기 테스트와 데이터 비교 분석하여 상기 RF 설비의 상태를 판단하는 단계; 및판단된 상기 RF 설비의 상태를 진단하는 단계;를 포함하는 휴대용 진단 장치의 구동 방법
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제6 항에 있어서,상기 판단하는 단계는,상기 RF 설비를 상태를 판단한 진단 결과 값이 기설정된 기준보다 크면, 정상 상태로 판단하고, 작으면 비정상 상태로 판단하는 휴대용 진단 장치의 구동 방법
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제6 항에 있어서,상기 기준 데이터 또는 상기 테스트 데이터는,적어도 하나 이상의 파라미터 항목들을 포함하고,상기 적어도 하나 이상의 파라미터 항목들은,Forward Power, Reverse Power, Dissipate Power, PA Voltage, PA Current 등 RF 설비의 입/출력 Power와 유량, 온도의 Raw Data 인 휴대용 진단 장치의 구동 방법
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제8 항에 있어서,상기 기준 프로그램 알고리즘에 적용하는 단계는,수집된 상기 기준 데이터와 상기 테스트 데이터를 비교하여, 설정된 오차범위에 포함되면 상기 파라미터 항목에서 제거하는 단계를 포함하는 휴대용 진단 장치의 구동 방법
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제1 항에 있어서,상기 판단하는 단계는,상기 파라미터 항목에서 제거되지 않은 항목들을 최소/최대 스케일 정규화(Min/Max Scaled Normalization)를 수행하고,수행된 상기 최소/최대 스케일 정규화에 RF Facility Power 특성을 고려한 가중치를 곱해서 선형 결합 주성분 벡터(Linear combination component)를 산출하는 휴대용 진단 장치의 구동 방법
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