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혈압 산출을 위한 맥박 센싱 모듈에 있어서,맥박에 의한 압전 효과를 발생시키기 위한 압전 물질을 포함하는 압전층 - 상기 압전층의 일면에는 서로 이격되게 배치되는 제1 전극 라인 및 제2 전극 라인이 형성됨 - ;상기 압전층을 지지하되, 상기 압전 물질로 상기 압전층을 형성하는 과정에서 상기 압전 물질이 의도된 방향으로 성장되도록 하는 지지층; 및상기 지지층의 적어도 일부가 백 에칭(back etching)에 의해 제거되어 제공되는 공간에 충진되어 유연성 및 안정성이 확보되도록 하는 폴리머층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,상기 압전층에 도포되어 상기 압전층을 보호하되, 상기 제1 전극 라인의 제1전극 단자 및 상기 제2 전극 라인의 제2 전극 단자가 노출되도록 하는 개구를 구비하는 보호층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,상기 지지층은,기판층, 상기 기판층에 적층되고 상기 백 에칭 공정 시 상기 백 에칭의 한계를 규정하는 산화물층, 및 상기 산화물층에 적층되고 상기 압전 물질로 상기 압전층을 형성하는 과정에서 상기 압전 물질이 의도된 방향으로 성장되도록 하는 결정층을 포함하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제3항에 있어서,상기 기판층은,상기 압전층을 형성하는 과정에서 열적 손상 또는 물리적 손상이 최소화되도록, 실리콘(Si), 실리콘 온 인슐레이터(SOI, silicon on insulator), 석영(Quartz, SiO2), 사파이어(Al2O3), 게르마늄(Ge), 갈륨비소(GaAs) 및 스테인리스 스틸 중 적어도 어느 하나의 소재로 제조되는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제3항에 있어서,상기 기판층은,상기 백 에칭 공정 이전에 상기 백 에칭의 가능 범위 내의 두께가 되도록 폴리싱 공정(polishing)에 의해 두께가 감소되는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,상기 백 에칭에 의해 제거되어 제공되는 공간은,상기 백 에칭 공정 시 가해지는 응력 및 균열을 감소시키도록, 원형 또는 오각 이상의 다각형 형상으로 형성되며,상기 폴리머층은,상기 원형 또는 오각 이상의 다각형 형상으로 제공되는 공간에 충진되는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,제1 전극 라인 및 상기 제2 전극 라인은,상기 백 에칭에 의해 제거되는 제공되는 공간의 일측 내부에 위치하여, 상기 백 에칭 공정 시 발생될 수 있는 균열에 영향을 받지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,상기 폴리머층은,상기 백 에칭에 의해 제거되어 제공되는 공간의 범위 내에 잔존하는 지지층에 의해 복수의 영역으로 구획되는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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제1항에 있어서,상기 압전층에 도포되어 상기 압전층을 보호하되, 상기 제1 전극 라인의 제1전극 단자 및 상기 제2 전극 라인의 제2 전극 단자가 노출되도록 하는 개구를 구비하는 보호층; 및 상기 백 에칭 공정 시 상기 제1 전극 라인, 상기 제2 전극 라인, 상기 압전층, 상기 보호층 및 상기 지지층 중 적어도 하나의 변형이 방지되도록, 상기 제1 전극 라인 및 상기 제2 전극 라인이 포위되도록 상기 보호층의 일면에 부착되는 변형방지부;를 더 포함하며,상기 변형방지부는,상기 폴리머층이 형성된 후, 제거되는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈
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맥박 센싱 모듈을 이용하여 혈압을 산출하기 위한 혈압 산출 시스템에 있어서,제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 맥박 센싱 모듈; 및상기 압전 효과에 의해 발생되는 전압 신호를 이용하여 사용자의 수축기 혈압 및 이완기 혈압을 산출하는 혈압 산출 모듈;을 포함하며,상기 혈압 산출 모듈은,상기 압전 효과에 의해 발생되는 전압 신호의 노이즈를 필터링하는 신호처리부, 및 상기 신호처리부에 의해 필터링된 제1 전압 신호와 혈압계를 통해 얻어지는 기준 수축기 혈압 및 기준 이완기 혈압을 기초로 하여 관계식을 도출하고, 상기 관계식에 의해 제2 전압 신호에 대한 수축기 혈압 및 이완기 혈압을 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈을 이용하여 혈압을 산출하기 위한 시스템
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제10항에 있어서,상기 관계식은,다음의 조건식 1 및 조건식 2를 만족하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈을 이용하여 혈압을 산출하기 위한 시스템
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제11항에 있어서,상기 제어부는,상기 조건식 1 및 상기 조건식 2를 통해 A 및 B를 도출한 후, 다음의 조건식 3 및 조건식 4를 통해 상기 제2 전압 신호에 대한 수축기 혈압(Y3) 및 이완기 혈압(Y4)을 산출하는 것을 특징으로 하는 맥박 센싱 모듈을 이용하여 혈압을 산출하기 위한 시스템
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