| 1 |
1
대구경 반사경(10)의 형상오차 측정시스템에 있어서, 검출기와 광원을 포함하는 간섭계(100);상기 광원의 빛을 선편광으로 변환하는 제 1 파장판(110);상기 선편광이 순차적으로 통과되도록 배열된 제 1 PBS(120), 제 1, 2 영상렌즈(130, 140), 및 제 2 PBS(150);상기 제 2 PBS(150)를 통과한 빛을 원편광으로 변환하는 제 2 파장판(160);상기 원편광을 구면파로 변환하고, 상기 대구경 반사경(10)을 향하는 대물렌즈(170);상기 대구경 반사경(10)에서 반사된 빛이 상기 제 2 PBS(150)에서 반사되어 입사되는 회전프리즘(220);상기 회전프리즘(220)을 일정 각도씩 회전시키는 회전모터(250);상기 회전프리즘(220)을 통과한 빛이 입사되어 확장되는 빔확장부(200);상기 빔확장부(200)를 통과한 빛이 통과하는 조리개(190);상기 조리개(190)를 통과한 빛을 상기 제 1 PBS(120)측으로 반사시키는 제 1 반사경(180);상기 제 1 반사경(180)을 직선방향으로 이동시키는 선형모터(260);를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 2 |
2
대구경 반사경(10)의 형상오차 측정시스템에 있어서, 빛을 조사하는 광원 및 콜리메터(300);상기 빛을 반사하는 제 1 PBS(120);상기 빛을 선편광으로 변환하는 제 1 파장판(110);상기 선편광을 구면파로 변환하고, 상기 대구경 반사경(10)을 향하는 대물렌즈(170);상기 대구경 반사경(10)에서 반사된 빛이 상기 제 1 PBS(120)를 통과하여 입사되는 회전프리즘(220);상기 회전프리즘(220)을 일정 각도씩 회전시키는 회전모터(250);상기 회전프리즘(220)을 통과한 빛이 입사되어 확장되는 빔확장부(200);상기 빔확장부(200)를 통과한 빛이 통과하는 조리개(190);상기 조리개(190)를 통과한 빛이 수광되는 파면센서(310);상기 조리개(190)와 상기 파면센서(310)를 직선방향으로 이동시키는 선형모터(260);를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 3 |
3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 파장판(110)은 λ/4 파장판인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 4 |
4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)은 도브(Dove) 프리즘인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 PBS(150)에서 반사된 빛을 상기 회전프리즘(220)측으로 반사하는 제 2 반사경(210)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 6 |
6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)은 180°를 균등분할하여 분할된 각도씩 회전하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 분할된 각도는 5° ~ 45° 범위에서 선택된 각도인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 8 |
8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 선형모터(260)는 상기 대구경 반사경(10)의 반경만큼 직선방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)을 회전시키면서 그리고, 상기 제 1 반사경(180)을 이동시키면서 상기 검출기가 측정한 상기 대구경 반사경(10)의 부분영상(20)을 정합하여 전체 영상을 생성하는 전체영상 생성수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 10 |
10
제 2 항에 있어서, 상기 회전프리즘(220)을 회전시키면서 그리고, 상기 파면센서(310)와 상기 조리개(190)를 이동시키면서 상기 파면센서(310)가 측정한 상기 대구경 반사경(10)의 부분영상(20)을 정합하여 전체 영상을 생성하는 전체영상 생성수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 파장판(160)은 λ/4 파장판인 것을 특징으로 하는 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
|
