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자외선-오존 처리를 진행하여 신축성 기판의 표면에 친수성 기를 형성하는 단계;상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 형성되고, 적어도 어느 하나의 층에 접착력 향상 물질을 포함하는 적어도 하나 이상의 피식각층을 형성하는 단계;상기 적어도 하나 이상의 피식각층 상에 포토레지스트층을 형성하는 단계;상기 포토레지스트층을 노광하는 단계; 및상기 노광된 포토레지스트층을 이용하여 상기 적어도 하나 이상의 피식각층을 패터닝하는 단계;를 포함하고,상기 접착력 향상 물질에 포함되는 탄소 사슬은 상기 신축성 기판 표면에 형성된 친수성 기와 에테르 결합(ether bonding; R-O-R)을 형성하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 비닐 사슬을 포함하고, 상기 접착력 향상 물질의 비닐 사슬은 상기 신축성 기판의 표면에 형성된 친수성 기와 결합하여 상기 적어도 하나 이상의 피식각층의 표면에 피로리돈 고리(Pyrrolidone ring)가 형성되는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제2항에 있어서, 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 형성되고, 적어도 어느 하나의 층에는 접착력 향상 물질을 포함하는 적어도 하나 이상의 피식각층을 형성하는 단계는,상기 접착력 향상 물질 및 용매를 포함하는 제1 용액을 제조하는 단계; 및상기 제1 용액을 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 코팅하여 제1 피식각층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제3항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 상기 피로리돈 고리(Pyrrolidone ring)에 포함된 산소에 의해 상기 포토레지스트층과 수소 결합을 형성하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 용액의 농도는 5wt% 내지 15wt%인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제3항에 있어서, 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 형성되고, 적어도 어느 하나의 층에는 접착력 향상 물질을 포함하는 적어도 하나 이상의 피식각층을 형성하는 단계는,상기 제1 용액을 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 코팅하여 제1 피식각층을 형성하는 단계를 진행한 다음,상기 제1 피식각층 상에 적어도 하나 이상의 제2 피식각층을 형성하는 단계;를 진행하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제2항에 있어서, 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 형성되고, 적어도 어느 하나의 층에는 접착력 향상 물질을 포함하는 적어도 하나 이상의 피식각층을 형성하는 단계는,금속 나노와이어를 합성하는 동안 접착력 향상 물질을 첨가하여 상기 금속 나노와이어 및 상기 접착력 향상 물질을 포함하는 제2 용액을 제조하는 단계;상기 제2 용액을 상기 친수성 기가 형성된 신축성 기판 상에 코팅하여 제3 피식각층을 형성하는 단계; 및상기 제3 피식각층 상에 금속을 포함하는 제4 피식각층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제7항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 상기 금속 나노와이어의 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제8항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 상기 피로리돈 고리(Pyrrolidone ring)에 포함된 산소에 의해 친수성(hydrophilic)을 띠어 상기 금속막과 접착력이 증가되는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 자외선-오존 처리를 진행하여 신축성 기판의 표면에 친수성 기를 형성하는 단계에서,상기 자외선-오존 처리 시간은 20분 내지 60분인 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 신축성 기판은 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane), 실리콘 러버(Silicon rubber), 폴리 우레탄(polyurethane, PU), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate, PEN) 및 에폭시(Epoxy), 테프론(Teflon) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 폴리비닐피롤리돈(PVP; Polyvinylpyrrolidone)을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 직접 패터닝 방법
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표면에 친수성 기를 포함하는 신축성 기판;상기 표면에 친수성 기를 포함하는 신축성 기판 상에 형성되고, 접착력 향상 물질을 포함하는 제1 전극 패턴;상기 제1 전극 패턴 상에 형성되는 제2 전극 패턴;을 포함하고,상기 접착력 향상 물질에 포함되는 탄소 사슬은 상기 신축성 기판 표면에 형성된 친수성 기와 에테르 결합(ether bind; R-O-R)을 형성하는 것을 특징으로 하는 신축성 전극
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제13항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 비닐 사슬을 포함하고, 상기 접착력 향상 물질의 비닐 사슬은 상기 신축성 기판의 표면에 형성된 친수성 기와 결합하여 표면에 피로리돈 고리(Pyrrolidone ring)가 형성되는 것을 특징으로 하는 신축성 전극
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제13항에 있어서, 상기 접착력 향상 물질은 상기 피로리돈 고리(Pyrrolidone ring)에 포함된 산소에 의해 친수성(hydrophilic)을 띠어 상기 제2 전극 패턴과 접착력이 증가되는 것을 특징으로 하는 신축성 전극
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제13항에 있어서, 상기 제1 전극 패턴은 금속 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 전극
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