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재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자 및 이를 활용한 문턱 전압 제어 방법

  • 기술번호 : KST2022023450
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자는 질화갈륨 채널층을 포함하는 기판; 상기 기판 상에 형성되는 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 질화갈륨 채널층 상에 형성되는 AlGaN 장벽층; 상기 AlGaN 장벽층 상에 배치된 절연층; 상기 절연층 상에 배치되고, 반데르발스 결합을 기반으로 한 층상 구조를 가지며, 1.4 eV 이상의 밴드갭을 가지는 강유전성 반도체층; 및 상기 강유전성 반도체층 상에 배치된 게이트 전극;을 포함한다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/24 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7786(2013.01) H01L 29/66431(2013.01) H01L 29/24(2013.01)
출원번호/일자 1020210072038 (2021.06.03)
출원인 숭실대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0163637 (2022.12.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.06.03)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 숭실대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유건욱 서울특별시 서초구
2 양정용 경기도 군포시 용호*로 ** 주공*단지아파트 *
3 염민재 전라남도 순천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 백두진 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
2 유광철 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층 (양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
3 김정연 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
4 강일신 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층 혜산빌딩(양재동)(시공특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2021-0642536-58
2 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
2021.10.28 수리 (Accepted) 4-1-2021-5282132-58
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0871750-19
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번호 청구항
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질화갈륨 채널층을 포함하는 기판;상기 기판 상에 형성되는 소스 전극 및 드레인 전극;상기 질화갈륨 채널층 상에 형성되는 AlGaN 장벽층;상기 AlGaN 장벽층 상에 배치된 절연층;상기 절연층 상에 배치되고, 반데르발스 결합을 기반으로 한 층상 구조를 가지며, 1
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제 1 항에 있어서,상기 절연층과 상기 강유전성 반도체층 사이에 형성되고, 인듐 옥사이드(InOx) 및 비스무스 옥사이드 중 어느 하나의 물질을 포함하는 중간층;을 더 포함하고,상기 강유전성 반도체층은,상기 중간층의 상면에 접하도록 형성되는 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 2 항에 있어서,상기 강유전성 반도체층은,알파-인듐 셀레나이드(α- In2Se3) 및 비스무스 옥시셀레나이드(Bi2OSe2) 중 선택되는 어느 하나의 물질을 포함하는 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 3 항에 있어서,상기 강유전성 반도체층은,1
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제 4 항에 있어서,상기 중간층은,상기 강유전성 반도체층의 자연산화 과정에서 1 내지 5 nm 범위의 두께로 생성되는 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 5 항에 있어서,상기 게이트 전극에 펄스 전압을 인가하고, 상기 펄스 전압의 지속 시간에 따라 상기 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압을 제어하는 펄스 전압 인가부;를 더 포함하는 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 6 항에 있어서,상기 강유전성 반도체층은,상기 펄스 전압에 의해 상기 강유전성 반도체층 내의 분극 바운드 전하의 정렬 방향이 제어되어 전하 밀도의 고갈효과를 유도하는 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 7 항에 있어서,상기 중간층은,상기 펄스 전압에 의해 상기 강유전성 반도체층 내 분극 바운드 전하와 모바일 전하가 상기 중간층 방향을 향해 정렬될 때, 상기 모바일 전하를 포획하는 전하 트래핑 사이트의 역할을 하여 상기 전하 밀도의 고갈효과를 강화함으로써, 문턱 전압 변조의 강화를 유도하는 재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자
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제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압 제어 방법으로서,펄스 전압 인가부에 의해 상기 게이트 전극에 펄스 전압을 인가하되, 상기 펄스 전압의 지속 시간에 따라 전달 컨덕턴스의 변화량이 전달 컨덕턴스 초기값의 10% 이내로 유지되도록 상기 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압을 제어하는 단계;를 포함하는 재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압 제어 방법
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제 9 항에 있어서,상기 문턱 전압을 제어하는 단계는:목표 문턱 전압에 비례하는 상기 펄스 전압의 지속 시간을 산출하는 단계; 및상기 펄스 전압을 상기 지속 시간 동안 지속시켜 상기 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압을 상기 목표 문턱 전압으로 제어하는 단계;를 포함하는 재구성 가능한 고전자 이동도 트랜지스터 소자의 문턱 전압 제어 방법
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국가 R&D 정보가 없습니다.