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웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사방법

  • 기술번호 : KST2023000891
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 빛을 웨이퍼에 조사하여 웨이퍼를 투과하는 빛을 검출하는 것에 의해 웨이퍼의 표면 또는 내부 결함을 검출할 수 있도록 하는 웨이퍼 검사 장치 및 웨이퍼 검사 방법에 관한 것으로, 상기 웨이퍼 검사장치는, 웨이퍼면에 수직으로 빛을 조사하는 수직광원부; 상기 수직광원부의 측부에 배치되어 상기 웨이퍼의 면에 대하여 경사각을 가지도록 빛을 조사하는 하나 이상의 경사광원부; 및 상기 웨이퍼의 빛 조사면의 배면을 촬영하여 상기 웨이퍼를 투과한 상기 수직광원부의 빛과 상기 경사광원부의 빛을 포함하는 수직광 웨이퍼이미지, 경사광 웨이퍼이미지 또는 수직 및 경사광 웨이퍼이미지 중 하나 이상을 포함하는 웨이퍼 영상 이미지를 생성하는 촬상부;를 포함하여 구성되어, 웨이퍼를 투과하는 빛의 대비를 높여 웨이퍼의 표면 또는 내부 결함을 용이하게 검출할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140147352 (2014.10.28)
출원인 한국교통대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1602733-0000 (2016.03.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160311) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국교통대학교산학협력단 대한민국 충청북도 충주시 대

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경범 대한민국 충청북도 충주시 대

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)피엠피 인천광역시 부평구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1034355-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0040066-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0541469-45
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0946491-36
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0946497-10
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0145491-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2020-5039896-32
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼 면에 수직으로 빛을 조사하는 수직광원부;상기 웨이퍼로 조사되는 빛의 조사각을 가변시킬 수 있도록 회전 가능하게 구성되어 상기 수직광원부의 측부에 배치된 후 상기 웨이퍼의 면에 대하여 경사각을 가지도록 빛을 조사하는 하나 이상의 경사광원부; 상기 웨이퍼의 빛 조사면의 반대면의 위치에서 상기 웨이퍼를 투과한 빛을 촬영영역으로 수렴시키도록 회전 가능하게 배치되는 하나 이상의 반사경을 포함하는 반사경부;상기 웨이퍼의 빛 조사면의 배면을 촬영하여 상기 웨이퍼를 투과한 상기 수직광원부의 빛과 상기 경사광원부의 빛을 포함하는 수직광 웨이퍼이미지, 경사광 웨이퍼이미지 또는 수직 및 경사광 웨이퍼이미지 중 하나 이상을 포함하는 웨이퍼 영상 이미지를 생성하는 촬상부; 및상기 수직광 웨이퍼이미지, 경사광 웨이퍼이미지 또는 수직 및 경사광 웨이퍼이미지 중 하나를 선택하여 결함을 검출하거나 두 개 이상을 합성하여 결함 영역의 대비를 높게 하여 웨이퍼 표면 또는 내부의 결함을 검출하는 결함검출부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치
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3 3
삭제
4 4
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5 5
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수직광원부에 의해 웨이퍼를 조사한 후, 상기 웨이퍼를 투과한 빛을 포함하도록 상기 웨이퍼의 빛 조사면의 후면을 촬영하여 수직광 웨이퍼이미지를 생성하는 수직광웨이퍼촬영과정;경사광원부에 의해 상기 웨이퍼를 조사한 후, 상기 웨이퍼를 투과한 빛을 포함하도록 상기 웨이퍼의 빛 조사면의 후면을 촬영하여 경사광 웨이퍼이미지를 생성하는 경사광웨이퍼촬영과정;상기 수직광원부와 상기 경사광원부에 의해 상기 웨이퍼를 조사한 후, 상기 웨이퍼를 투과한 빛을 포함하도록 상기 웨이퍼의 빛 조사면의 후면을 촬영하여 수직 및 경사광 웨이퍼이미지를 생성하는 수직 및 경사광 웨이퍼촬영과정; 및상기 수직광웨이퍼촬영과정, 경사광웨이퍼촬영과정 또는 수직 및 경사광 웨이퍼촬영과정 중 하나 이상의 수행에 의해 생성된 상기 수직광 웨이퍼 이미지와 상기 경사광 웨이퍼 이미지와 상기 수직 및 경사광 웨이퍼이미지 중 하나를 선택하여 결함을 검출하거나 두 개 이상을 합성한 후 결함을 검출하는 결함검출과정;을 포함하고,상기 수직광 웨이퍼촬영과정, 상기 경사광 웨이퍼촬영과정 또는 수직 및 경사광 웨이퍼촬영과정 중 하나 이상의 과정은, 회전 가능하게 구성되는 하나 이상의 반사경을 포함하여 구성되는 반사경부를 이용하여 상기 웨이퍼를 투과한 빛을 촬상부로 수렴시키는 과정;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법
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청구항 6 있어서,상기 경사광 웨이퍼 촬영과정 또는 상기 수직 및 경사광 웨이퍼 촬영과정 중 하나 이상은, 상기 경사광의 조사각을 가변하여 복수회 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법
8 8
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국교통대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(지역대학우수과학자지원사업) 근적외선 검사광학계기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙의 지능형 검출 및 분류 모듈 개발