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비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법과 이를 포함하는 분석장치 및 이를 실행시키기 위하여 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램

  • 기술번호 : KST2023000410
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법과 이를 포함하는 분석장치 및 컴퓨터 프로그램에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄화규소를 이용한 전력반도체 소자를 비파괴분석법을 이용하여 결정 결함을 구분하고, 밀도를 파악하여 결정 결함의 위치 및 깊이에 대한 정보를 파악하기 위한 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법과 이를 포함하는 분석장치 및 컴퓨터 프로그램에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 탄화규소의 결함 조사방법에 있어서, PL분석법으로 PL 결함이미지를 획득하는 단계; XRT 분석법으로 XRT 결함이미지를 획득하는 단계; 상기 PL결함이미지와 XRT 결함이미지를 비교 분석하고, PL결함이미지와 XRT 결함이미지에서 TED, TSD, BPD 결함을 분류하는 이미지 분석 단계; TED, TSD 결함이 PL 결함이미지에 존재하는지 판단하는 T 단계; 상기 T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하지 않으면 기판의 TED, TSD 결함으로 판단하는 단계; 상기 T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하면, 에피층과 기판의 TED, TSD 결함으로 판단하는 단계; BPD 결함이 PL 결함이미지에 존재하는지 판단하는 B1 단계; 상기 B1 단계에서 BPD 결함이 존재하지 않으면, 기판의 BPD 결함으로 판단하는 단계; 상기 B1 단계에서 BPD 결함이 존재하면, XRT 결함이미지의 BPD 결함과 연속하는지 판단하는 B2 단계; 상기 B2 단계에서 연속하지 않으면 에피층의 BPD 결함으로 판단하는 단계; 상기 B2 단계에서 연속하는 선으로 존재하면 기판에서 에피층으로 전이된 에피층의 BPD 결함으로 판단하는 단계;를 포함하여 이루어져 탄화규소의 결함 위치를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 23/18 (2018.01.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020210120475 (2021.09.09)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0037309 (2023.03.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.04.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나문경 경상남도 창원시 성산구
2 방욱 경상남도 창원시 성산구
3 문정현 경상남도 김해시 율하*로 **, *
4 정현진 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2021.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2021-1046267-81
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2022.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2022-0461301-25
3 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2022.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2022-0461471-78
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2022.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2022.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2022-0006573-85
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-1000707-94
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2023.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2023-0196860-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2023.02.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-0196859-74
9 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2023.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2023-5074556-04
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2023.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0374661-19
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2023.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2023-0534739-33
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2023.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2023-0534738-98
13 등록결정서
Decision to grant		 2023.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2023-0652460-82
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번호 청구항
1 1
탄화규소의 결함 조사방법에 있어서,PL(Photoluminescence)분석법으로 PL 결함이미지를 획득하는 단계;XRT(X-ray topography)분석법으로 XRT 결함이미지를 획득하는 단계;상기 PL결함이미지와 XRT 결함이미지를 비교 분석하고, PL결함이미지와 XRT 결함이미지에서 TED, TSD, BPD 결함을 분류하는 이미지 분석 단계;TED, TSD 결함이 PL 결함이미지에 존재하는지 판단하는 T 단계; 상기 T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하지 않으면 기판의 TED, TSD 결함으로 판단하는 단계;상기 T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하면, 에피층과 기판의 TED, TSD 결함으로 판단하는 단계;BPD 결함이 PL 결함이미지에 존재하는지 판단하는 B1 단계; 상기 B1 단계에서 BPD 결함이 존재하지 않으면, 기판의 BPD 결함으로 판단하는 단계;상기 B1 단계에서 BPD 결함이 존재하면, XRT 결함이미지의 BPD 결함과 연속선이 존재하는지 판단하는 B2 단계;상기 B2 단계에서 연속하지 않으면 에피층의 BPD 결함으로 판단하는 단계;상기 B2 단계에서 연속하는 선으로 존재하면 기판에서 에피층으로 전이된 BPD 결함으로 판단하는 단계;를 포함하여 이루어져탄화규소의 결함 위치를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법
2 2
제1항에 있어서,상기 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법은상기 T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하는 경우, 또는 상기 B1 단계에서 BPD 결함이 존재하지 않는 경우,XRT 결함이미지의 BPD 결함과 겹치는 PL 결함이미지의 TED, TSD 결함이 존재하는지 판단하는 B-T 단계; 상기 B-T 단계에서 TED, TSD 결함이 존재하면 기판의 BPD 결함이 에피층에서 TED, TSD 결함으로 전환되었음을 판단하고, 기판의 BPD 결함, 에피층의 TED, TSD 결함으로 판단하는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법은상기 PL결함이미지, XRT 결함이미지 또는 이들의 합성 이미지의 TED, TSD, BPD 결함에 결함 위치정보를 부가시키는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법
4 4
제1항 또는 제2항의 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법을 수행하는 컴퓨터 프로그램
5 5
제3항의 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석법을 수행하는 컴퓨터 프로그램이 내장된 비파괴분석법을 이용한 탄화규소 결정 결함위치 분석장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 한국전기연구원연구운영비지원(R＆D)(운영경비) 전력반도체소자용 실리콘카바이드 고속 PL 검사장비 개발