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물;디아민 단량체; 디안하이드라이드 단량체; 및적어도 하나 이상의 광경화성 작용기를 갖는 유기 염기를 포함하는, 수용액 조성물
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제 1 항에 있어서, 물의 함량은 75 내지 95 중량%인 수용액 조성물
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제 1 항에 있어서, 디아민 단량체 및 디안하이드라이드 단량체의 몰비는 1 : 0
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제 1 항에 있어서, 디안하이드라이드 단량체는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 적어도 하나 이상 포함하고, 디아민 단량체는 하기 화학식 2로 표시되는 화합물을 적어도 하나 이상 포함하는 수용액 조성물:[화학식 1][화학식 2]NH2-Y-NH2상기 화학식 1 및 2에서 X 및 Y는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 4가의 지방족 고리기, 치환 또는 비치환된 4가의 헤테로 지방족 고리기, 치환 또는 비치환된 4가의 방향족 고리기, 또는 치환 또는 비치환된 4가의 헤테로 방향족 고리기이고, 상기 지방족 고리기, 상기 헤테로 지방족 고리기, 상기 방향족 고리기 또는 상기 헤테로 방향족 고리기는 단독으로 존재하거나; 서로 접합되어 축합고리를 형성하거나; 또는단일결합, 치환 또는 비치환된 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 알킬리덴기, 치환 또는 비치환된 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 알키닐렌기, 치환 또는 비치환된 아릴렌기, -O-, -S-, -C(=O)-, -S(=O)2- 및 -Si(Ra)2-로 이루어진 군에서 선택된 2가의 치환기를 하나 이상 포함하는 연결기에 의해 연결되어 있고, 여기서 Ra는 수소 또는 알킬기이다
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제 4 항에 있어서, 상기 X는 페닐, 바이페닐, 또는 지방족 고리기이고,상기 M은 단일 결합, 알킬렌기, 알킬리덴기, -O-, -S-, -C(=O)-, 및 -S(=O)2-를 포함하는 군 중에서 적어도 하나 이상을 포함하며, 상기 M은 불소 및 알킬기를 포함하는 적어도 하나 이상의 치환기로 치환되거나 비치환되는 수용액 조성물
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제 1 항에 있어서, 디아민 단량체 및 유기 염기의 몰비는 1 : 1
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제 1 항에 있어서, 상기 유기 염기의 pKa는 5 내지 20 범위 내인 수용액 조성물
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제 1 항에 있어서, 상기 유기 염기는 하기 화학식 3 또는 4로 표시되는 화합물을 적어도 하나 이상 포함하는 수용액 조성물:[화학식 3][화학식 4]상기 화학식 3 및 4에서, A1 내지 A5는 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기이고,Z는 산소 또는 N(Rb)를 나타내며,B는 산소, 카보닐기, 아릴렌기, 알킬렌기 및 알킬리덴기로부터 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 치환기를 포함하는 2가의 연결기이고, Rb는 수소 또는 알킬기이다
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하기 화학식 5로 표시되는 반복 단위를 포함하는 폴리아믹산 염:[화학식 5]상기 화학식 5에서 X 및 Y는 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 4가의 지방족 고리기, 치환 또는 비치환된 4가의 헤테로 지방족 고리기, 치환 또는 비치환된 4가의 방향족 고리기, 또는 치환 또는 비치환된 4가의 헤테로 방향족 고리기이고, 상기 지방족 고리기, 상기 헤테로 지방족 고리기, 상기 방향족 고리기 또는 상기 헤테로 방향족 고리기는 단독으로 존재하거나; 서로 접합되어 축합고리를 형성하거나; 또는단일결합, 치환 또는 비치환된 알킬렌기, 치환 또는 비치환된 알킬리덴기, 치환 또는 비치환된 알케닐렌기, 치환 또는 비치환된 알키닐렌기, 치환 또는 비치환된 아릴렌기, -O-, -S-, -C(=O)-, -S(=O)2- 및 -Si(Ra)2-로 이루어진 군에서 선택된 2가의 치환기를 하나 이상 포함하는 연결기에 의해 연결되어 있고, 여기서 Ra는 수소 또는 알킬기이며,Q는 적어도 하나 이상의 광경화성 작용기를 갖는 유기 염기를 나타낸다
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제 9 항에 있어서, 상기 유기 염기의 pKa는 5 내지 20 범위 내인 폴리아믹산 염
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제 9 항에 있어서, 상기 유기 염기는 하기 화학식 3 또는 4로 표시되는 화합물인 폴리아믹산 염:[화학식 3][화학식 4]상기 화학식 3 및 4에서, A1 내지 A5는 각각 독립적으로 수소 또는 알킬기이고,Z는 산소 또는 N(Rb)를 나타내며,B는 산소, 카보닐기, 아릴렌기, 알킬렌기 및 알킬리덴기로부터 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 치환기를 포함하는 2가의 연결기이고,Rb는 수소 또는 알킬기이다
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제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 폴리아믹산 염; 및물을 포함하는 수용성 감광성 조성물
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제 12 항에 있어서, 가교제 또는 광 개시제를 추가로 포함하는 수용성 감광성 조성물
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제 13 항에 있어서, 상기 가교제는 아크릴아마이드계 가교제, 아크릴레이트계 가교제 또는 티올계 가교제인 수용성 감광성 조성물
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제 14 항에 있어서, 상기 티올계 가교제는 수용성이고, 적어도 2개 이상의 티올기(-SH)를 포함하는 수용해성 티올계 가교제인 수용성 감광성 조성물
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제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 폴리아믹산 염의 광 경화물
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제 12 항의 수용성 감광성 조성물을 기판 상에 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계; 및패턴화된 마스크를 통하여 상기 코팅층에 광을 조사하여 패턴화된 폴리아믹산 염의 광 경화물 층을 형성하는 단계;현상액을 사용하여 상기 패턴화된 폴리아믹산 염의 광 경화물층 이외의 부분을 제거하는 현상 단계; 및상기 패턴화된 폴리아믹산 염의 광 경화물을 이미드화 하는 단계를 포함하는 패턴화된 폴리이미드 박막의 제조방법
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제 17 항의 제조 방법에 따라 제조된 패턴화된 폴리이미드 박막
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