| 1 |
1
기판 상의 박막 내에 여기된 캐리어를 형성할 수 있도록 레이저광을 박막에 입사하는 단계;박막 내 여기된 캐리어가 재결합하는 동안 박막에 전자기파를 조사하는 단계;박막 내 여기된 캐리어와 반응하는 전자기파의 특성 정보를 측정하는 단계; 및측정된 전자기파의 특성 정보를 포함하는 파라미터를 이용하여 기판 상의 위치에 따른 박막의 조성 균일도 또는 박막의 결함 분포를 판별하는 단계;를 포함하는,박막 모니터링 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,전자기파의 특성 정보는 전자기파의 투과율 또는 반사율을 포함하는,박막 모니터링 방법
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,측정된 전자기파의 특성 정보를 포함하는 파라미터는 시간에 따른 전자기파의 투과율 감쇠 변화량인,박막 모니터링 방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,측정된 전자기파의 특성 정보를 포함하는 파라미터는 시간에 따른 전자기파의 투과율 감쇠 함수에 대하여 라플라스 역변환 연산을 통해 산출된 캐리어 재결합 시상수인,박막 모니터링 방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,캐리어 재결합 시상수는, 박막 내 결함의 유형 별로 분리될 수 있으며, 박막 내 결함 밀도와 반비례하는,박막 모니터링 방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,캐리어 재결합 시상수는 박막 내 제1 유형의 결함에 따른 제1 캐리어 재결합 시상수 및 박막 내 제2 유형의 결함에 따른 제2 캐리어 재결합 시상수로 분리될 수 있는,박막 모니터링 방법
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,제1 캐리어 재결합 시상수는 제1 유형의 결함에 따른 제1 결함 밀도와 반비례하고, 제2 캐리어 재결합 시상수는 제2 유형의 결함에 따른 제2 결함 밀도와 반비례하되, 제1 캐리어 재결합 시상수와 제2 캐리어 재결합 시상수의 대소 관계는 박막 내 제1 결함 밀도와 제2 결함 밀도의 대소 관계와 서로 반대인,박막 모니터링 방법
|
| 8 |
8
제 4 항에 있어서,시간에 따른 전자기파의 투과율 감쇠 함수는 하기의 수학식 1에 의하여 모사될 수 있는,박막 모니터링 방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,레이저광은 펨토초 레이저광을 포함하고, 전자기파는 테라헤르츠 파를 포함하는,박막 모니터링 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,박막 내 여기된 캐리어는 박막 내 여기된 자유전자 또는 정공을 포함하는,박막 모니터링 방법
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,기판 상의 위치는 기판의 중앙부 및 에지부를 포함하는,박막 모니터링 방법
|
| 12 |
12
기판 상의 박막 내에 여기된 캐리어를 형성할 수 있도록 박막에 입사하는 광을 생성하는 발광부;박막 내 여기된 캐리어가 재결합하는 동안 박막에 전자기파를 조사하는 전자기파 조사부;박막을 투과하거나 반사된 전자기파를 수신하는 전자기파 수신부;전자기파 수신부로 수신된 전자기파의 특성 정보를 측정하는 측정부; 및측정된 전자기파의 특성 정보를 포함하는 파라미터를 이용하여 기판 상의 위치에 따른 박막의 조성 균일도 또는 박막의 결함 분포를 판별하는 연산제어부;를 포함하는,박막 모니터링 장치
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서,전자기파 조사부는 기판의 상방에 위치하고, 전자기파 수신부는 박막을 투과한 전자기파를 수신하기 위하여 기판의 하방에 위치하는,박막 모니터링 장치
|
| 14 |
14
제 12 항에 있어서,전자기파 조사부는 기판의 상방에 위치하고, 전자기파 수신부는 박막에서 반사된 전자기파를 수신하기 위하여 기판의 상방에 위치하는,박막 모니터링 장치
|
| 15 |
15
제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,기판 상의 박막의 위치에 따른 전자기파의 특성 정보를 측정하기 위하여, 전자기파 조사부와 전자기파 수신부는 서로 대응되는 복수의 쌍으로 배열되는,박막 모니터링 장치
|
| 16 |
16
제 12 항에 있어서,기판이 안착될 수 있는 서셉터;를 더 포함하되,서셉터는 기판 상의 박막의 위치에 따른 전자기파의 특성 정보를 측정하기 위하여 기판의 상면과 나란한 방향으로 이동할 수 있는,박막 모니터링 장치
|
| 17 |
17
제 12 항에 있어서,측정부는 전자기파의 특성 정보로서 전자기파의 투과율 또는 반사율을 측정하는,박막 모니터링 장치
|
| 18 |
18
제 12 항에 있어서,연산제어부는 측정된 전자기파의 특성 정보를 이용한 결과로서 시간에 따른 전자기파의 투과율 감쇠 함수에 대하여 라플라스 역변환 연산을 통해 캐리어 재결합 시상수를 산출하되, 캐리어 재결합 시상수는, 박막 내 결함의 유형 별로 분리될 수 있으며, 박막 내 결함 밀도와 반비례하는,박막 모니터링 장치
|
| 19 |
19
제 18 항에 있어서,캐리어 재결합 시상수는 박막 내 제1 유형의 결함에 따른 제1 캐리어 재결합 시상수 및 박막 내 제2 유형의 결함에 따른 제2 캐리어 재결합 시상수로 분리될 수 있으며, 제1 캐리어 재결합 시상수는 제1 유형의 결함에 따른 제1 결함 밀도와 반비례하고, 제2 캐리어 재결합 시상수는 제2 유형의 결함에 따른 제2 결함 밀도와 반비례하되, 제1 캐리어 재결합 시상수와 제2 캐리어 재결합 시상수의 대소 관계는 박막 내 제1 결함 밀도와 제2 결함 밀도의 대소 관계와 서로 반대인,박막 모니터링 장치
|
| 20 |
20
제 12 항에 있어서,기판 상의 위치에 따른 박막의 조성 균일도 또는 박막의 결함 분포를 시각화하여 표시하는 디스플레이부;를 더 포함하는,박막 모니터링 장치
|
